下载一种网格化设计的磁控溅射防腐镀膜用托盘的技术资料

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本申请涉及一种网格化设计的磁控溅射防腐镀膜用托盘,涉及镀膜设备技术领域,为了解决待镀膜工件的尺寸不一,普通托板不易对不同尺寸的待镀膜工件进行固定的问题,其包括框型基座
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该专利属于北京北方华创真空技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京北方华创真空技术有限公司授权不得商用。

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