本实用新型专利技术公开了一种用于检测机械手位置变化的装置，其包括腔体和腔体盖，腔体盖为透明腔体盖，透明腔体盖的顶部固定有测距传感器、左限位传感器和右限位传感器，测距传感器位于腔体内晶圆的正上方，左限位传感器和右限位传感器分别位于腔体内机械手位于特定位置处的上方左侧和上方右侧，测距传感器、左限位传感器和右限位传感器呈三角形状分布，且测距传感器、左限位传感器和右限位传感器分别位于三角形的三个顶点处，测距传感器、左限位传感器和右限位传感器相串联并与机台控制器电连接，以监测ENDURA 5500机械手在运动过程中逐渐产生的偏差。渐产生的偏差。渐产生的偏差。
【技术实现步骤摘要】
一种用于检测机械手位置变化的装置
[0001]本技术涉及半导体设备
，特别是涉及一种用于检测机械手位置变化的装置。
技术介绍
[0002]随着半导体技术在国内的发展，半导体设备相关产业也在快速发展。在半导体设备的相关技术中，晶圆的传送是必不可少的一项技术，晶圆传送的精度跟机械手的性能密切相关，机械手的故障会导致晶圆在传送过程中出现碎片、碰撞、摩擦，从而对晶圆生产的品质构成威胁。以应用材料ENDURA5500的机械手为例，由于此设备是金属薄膜溅射的关键设备，机械传送精度更是对溅射薄膜的质量有重要影响。长期以来，机械手在运动过程中由于轴承等耗损件的长时间运行，会导致机械手臂出现下垂、运动部件间隙变大、松动等现象，从而导致机械传送位置不准，导致摩擦等问题，进而对产品的工艺产生影响。
技术实现思路
[0003]本技术针对现有技术存在的问题和不足，提供一种用于检测机械手位置变化的装置。
[0004]本技术是通过下述技术方案来解决上述技术问题的：
[0005]本技术提供一种用于检测机械手位置变化的装置，其包括腔体和腔体盖，其特点在于，所述腔体盖为透明腔体盖，所述透明腔体盖的顶部固定有测距传感器、左限位传感器和右限位传感器，所述测距传感器位于腔体内晶圆的正上方，所述左限位传感器和右限位传感器分别位于腔体内机械手位于特定位置处的上方左侧和上方右侧，所述测距传感器、左限位传感器和右限位传感器呈三角形状分布，且测距传感器、左限位传感器和右限位传感器分别位于三角形的三个顶点处，所述测距传感器、左限位传感器和右限位传感器相串联并与机台控制器电连接。
[0006]较佳地，所述透明腔体盖采用透明亚克力盖板。
[0007]较佳地，所述测距传感器采用激光测距传感器。
[0008]较佳地，所述左限位传感器和右限位传感器均采用光电传感器。
[0009]在符合本领域常识的基础上，上述各优选条件，可任意组合，即得本技术各较佳实例。
[0010]本技术的积极进步效果在于：
[0011]为了解决ENDURA 5500机械手在运动过程中逐渐产生的偏差，本技术设计了一套装置来及时报警。为了清楚观察腔体内部情况，将腔体盖由原来的铝盖改为透明的亚克力盖板，可以看到机械手实时运动状况，在特定位置安装有激光测距传感器，可以通过激光测距来测量晶圆到其之间的距离，如果机械手在垂直位置上发生变化时，激光测距传感器可以检测到此微小的差别，通过设置阀值，超过阀值便可报警，在机械手的左右两方同时设置光电传感器，来预防机械手左右运动产生的位置误差，从而可以及时停机检查，避免了
因为机械手的偏差而导致的后续产品的大批量的报废。
附图说明
[0012]图1为本技术较佳实施例的用于检测机械手位置变化的装置的结构示意图。
[0013]图2为本技术较佳实施例的用于检测机械手位置变化的装置的俯视图。
具体实施方式
[0014]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0015]如图1和图2所示，本实施例提供一种用于检测机械手位置变化的装置，其包括腔体1和腔体盖2，所述腔体盖1为透明腔体盖，采用透明亚克力盖板，所述透明腔体盖2的顶部固定有测距传感器3、左限位传感器4和右限位传感器5，所述测距传感器3采用激光测距传感器，所述左限位传感器4和右限位传感器5均采用光电传感器，所述测距传感器3位于腔体1内晶圆6的正上方，所述左限位传感器4和右限位传感器5分别位于腔体1内机械手7位于特定位置处的上方左侧和上方右侧，所述测距传感器3、左限位传感器4和右限位传感器5呈三角形状分布，且测距传感器3、左限位传感器4和右限位传感器5分别位于三角形的三个顶点处，所述测距传感器3、左限位传感器4和右限位传感器5相串联并与机台控制器电连接。
[0016]本申请中，首先将腔体盖2由原来的铝盖更改为透明亚克力盖板，可以清楚观察机械手7运动情况，在特定的位置上方安装有激光测距传感器3，高精度的激光测距传感器3可将误差控制在10微米左右，机械手7因为机械磨损或者故障慢慢产生误差，当激光测距传感器3侦测到距离晶圆6的高度超过设定的阀值时，激光测距传感器3会送出一个异常的信号给机台控制器，同样的，在腔体盖2上还布置有左右两个光电限位传感器，分别位于机械手特定位置的上部左侧和上部右侧，这两组光电传感器(左限位传感器4和右限位传感器5)来监测机械手7的左右位置，当左右的任一位置超出对应传感器的正常感应范围后，也会报警，这3个传感器信号整合串接在一起，任意一个报警都会报警给机台控制器，从而及时停机检查故障，避免造成大量的产品缺陷。
[0017]虽然以上描述了本技术的具体实施方式，但是本领域的技术人员应当理解，这些仅是举例说明，本技术的保护范围是由所附权利要求书限定的。本领域的技术人员在不背离本技术的原理和实质的前提下，可以对这些实施方式做出多种变更或修改，但这些变更和修改均落入本技术的保护范围。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于检测机械手位置变化的装置，其包括腔体和腔体盖，其特征在于，所述腔体盖为透明腔体盖，所述透明腔体盖的顶部固定有测距传感器、左限位传感器和右限位传感器，所述测距传感器位于腔体内晶圆的正上方，所述左限位传感器和右限位传感器分别位于腔体内机械手位于特定位置处的上方左侧和上方右侧，所述测距传感器、左限位传感器和右限位传感器呈三角形状分布，且测距传感器、左限位传感器和右限位传感器分别位于三角形的三...
【专利技术属性】
技术研发人员：张强，
申请(专利权)人：上海悦匠实业有限公司，
类型：新型
国别省市：
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