【技术实现步骤摘要】
一种吊装腔体盖的吊机
[0001]本专利技术涉及半导体设备
，特别是涉及一种吊装腔体盖的吊机。
技术介绍
[0002]国内半导体技术近两年发展较快，半导体装备制造、翻新、改造的业务也随之发展。在半导体设备中，对于密封真空的腔体盖是必不可少的，这些密封盖因为要有密封的功能，所以在强度上必须要有所保证，这使得这些密封盖的尺寸有些较大，相对来说重量也较重。对于溅射金属薄膜的设备来说目前应用最广的是应用材料公司的ENDURA 5500，以此设备为例，前后各有两个大腔体都需要真空密封，其上的两个密封盖的重量较重，尤其在机器上安装了其他腔体后，密封盖的打开变得相当困难，需要一种简易吊车来起吊。虽然应用材料之前有类似的结构设计，但是结构相对呆板，针对此，重新设计了吊车的机械结构部分、控制部分来满足对于金属密封盖的吊装。
技术实现思路
[0003]本专利技术针对现有技术存在的问题和不足，提供一种吊装腔体盖的吊机。
[0004]本专利技术是通过下述技术方案来解决上述技术问题的：
[0005]本专利技术提供...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种吊装腔体盖的吊机，其特征在于，其包括固定在腔体四周的多个吊车支架，该些吊车支架的顶部固定有吊装台，所述吊装台上安装有两个分别用于吊装对应腔体盖的吊机组件，每一所述吊机组件包括底座，所述底座上安装有控制线接线排、电机正反转模块和蜗轮蜗杆电机，所述控制线接线排与机台的控制系统、蜗轮蜗杆电机、电机正反转模块导线连接，所述电机正反转模块分别与控制手柄和蜗轮蜗杆电机电连接，所述底座的一端固定有安装有第一轴承的第一轴承座、另一端固定有安装有第二轴承的第二轴承座；所述蜗轮蜗杆电机与减速箱传动连接，所述减速箱上穿设固定有传动轴，所述传动轴的一端穿设第一轴承并与第一吊索轮相固定、另一端穿设第二轴承并与第二吊索轮相固定，所述底座上且位于第一吊索轮的两侧分别固定有第一吊索导向轮和第二吊索导向轮，所述底座上且位于第二吊索轮的两侧分别固定有第三吊索导向轮和第四吊索导向轮，所述第一吊索轮上固定有第一吊索和第二吊索的一端，所述第一吊索的另一端穿绕第一吊索导向轮后与对应腔体盖固定，所述第二吊索的另一端穿绕第二吊索导向轮后与对应腔体盖固定，所述第二吊索轮上固定有第三吊索和第四吊索的一端，所述第三吊索的另一端穿绕第三吊索导向轮后与对应腔体盖固定，所述第四吊索的另一端穿绕第四吊索导向轮后与对应腔体盖固定，以使得第一吊索、第二吊索、第三吊索和第四吊索同方向上升或下降；在机台的安全互锁断开时，直流电源通过机台的控制系统输入至任一吊机组件的控制线接线排为其供电；当任一吊机组件需向上运动时，按动控制手柄的上升按钮，吊机组件的电机正反转模块控制蜗轮蜗杆电机被驱动正向旋转，带动减速箱旋转，随即驱动传动轴运动，传动轴带动第一吊索轮和第二吊索轮旋转，从而第一吊索轮带动第一吊索和第二吊索同时向上运动，第二吊索轮带动第三吊索和第四吊索同时向上运动，以此带动对应的整个腔体盖向上运动；当吊机组件需向下运动时，按动控制手柄的下降按钮，吊机组件的电机正反转模块控制蜗轮蜗杆电机被驱动反向旋转，带动减速箱旋转，随即驱动传动轴运动，传动轴带动第一吊索轮和第二吊索轮旋转，从而第一吊索轮带动第一吊索和第二吊索同时向下运动，第...
【专利技术属性】
技术研发人员：张强，盛勇峰，
申请(专利权)人：上海悦匠实业有限公司，
类型：发明
国别省市：
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