本发明公开了一种透明半透明晶圆瑕疵检测设备，包括支架、入射光源、反光镜组件以及相机组件，晶圆放置在支架上，反光镜组件位于入射光源的末端，用于将入射光源的光线反射到晶圆的表面，支架为镂空支架，所述镂空支架的正下方设有相机组件，相机组件接收...

本发明公开了一种晶圆内部和外部瑕疵检测区分装置，包括平行光源组件、晶圆支架、垂直光源组件以及检测组件，所述晶圆置于所述晶圆支架上，所述平行光源组件设于所述晶圆支架的侧方，所述检测组件设于所述晶圆的中轴线上，所述平行光源组件产生的光线包括...

本技术公开了一种新型的晶圆平坦度检测仪器，包括支撑载台，所述支撑载台用于放置晶圆；阵列传感器，所述阵列传感器用于对所述支撑载台上的晶圆进行扫描，所述阵列传感器包括两组，分别为设于所述支撑载台上方的上阵列传感器和设于所述支撑载台下方的下阵...

本实用新型公开了一种透明及半透明晶圆瑕疵检测装置，包括上表面装置以及下表面装置；上表面装置包括上光源

本实用新型公开了一种新型晶圆平坦度检测仪器，包括运输装置，将待测晶圆进行垂直固定，并运输至指定位置；以及检测装置，对指定位置的待测晶圆进行检测；所述检测装置包括多阵列扫描结构，对待测晶圆进行整面扫描，本实用新型通过引入新型的检测装置和晶...

本发明提出一种晶圆内部瑕疵检测方法及装置，其中，所述方法包括以下步骤，以一光源发生单元产生光束；以一光耦合单元将所述光束耦合后从晶圆侧面入射到晶圆内部；以一光感应单元获取晶圆内部光束反射的数据；以一成像单元根据所述晶圆内部光束反射的数据...

本实用新型公开一种晶圆批量读码机构和设备，其中，所述机构包括滚轮、读码组件、升降支柱；所述滚轮和所述读码组件可以沿着导轨在晶圆的下方同步运动；两个所述升降支柱相对设置于晶圆的下方，且所述升降支柱可升降晶圆，以使晶圆与所述滚轮处于接触状态...

本实用新型公开了一种晶圆平整度检测仪器，该晶圆平整度检测仪器包括旋转底座、安装架、第一线性模组、连接组件和传感器。旋转底座用于放置晶圆并驱使晶圆转动；安装架设在旋转底座一侧；第一线性模组与安装架连接；连接组件与第一线性模组连接；多个传感...

本实用新型公开了一种晶圆夹具，该晶圆夹具包括第一圈体和第二圈体，第一圈体与第二圈体通过转动机构连接，第一圈体和第二圈体中的至少一者可绕着第二圈体的中心转动；第一圈体上设有多个第一枢轴，多个第一枢轴与第二圈体的中心之间的距离相等，第一枢轴...

本发明实施例公开了一种碳化硅包裹物检测装置及检测方法，检测装置包括上检测机组和下检测机组。上检测机组包括灯光光源A和光电传感器A，所述光电传感器A设置在灯光光源A的上方。下检测机组包括灯光光源B和光电传感器B，光电传感器B设置在灯光光源...

本实用新型涉及晶圆几何形貌检测技术领域，具体为一种新型的多功能晶圆几何形貌检测仪，包括机箱以及设置在机箱内部的滑动底座，滑动底座上端通过电动滑轮滑动连接有用于移动晶圆片的移动底座，机箱内滑动底座一侧设置有用于检测晶圆片的第一摄像头、第二...

本发明提供一种晶圆检测实时对焦装置及方法，其中，该装置包括：镜头模块、控制器和距离检测模块；其中，镜头模块和距离检测模块相对设置，镜头模块与距离检测模块之间留有放置晶圆的间隙；镜头模块用于拍摄晶圆检测表面的图像；距离检测模块用于检测晶圆...

本实用新型实施例公开了一种碳化硅包裹物检测装置，检测装置包括上检测机组和下检测机组。上检测机组包括灯光光源A和光电传感器A，所述光电传感器A设置在灯光光源A的上方。下检测机组包括灯光光源B和光电传感器B，光电传感器B设置在灯光光源B的下...

本实用新型公开了一种高精度表面平整度测量仪，以解决现有技术对于大尺寸部件表面平整度的高精度测量成本较高、实施困难等问题。该高精度表面平整度测量仪包括固定台面、第一测距传感器、运动模块、运动模块垂直位移检测装置和计算机，固定台面用于放置待...

本实用新型实施例公开了一种碳化硅晶体位错增强检测设备，包括图像采集器、上光源以及下光源，所述上光源设置在下光源的上方，且上光源和下光源之间形成供碳化硅晶体水平放置的区域，所述图像采集器设置在上光源的上方，并采集上光源于碳化硅晶体上的反射...

本实用新型公开了一种砷化镓外延检测设备，所述砷化镓外延检测设备包括：光源、半反射镜和相机，光源发出照射光束，通过半反射镜将光束偏折照射被测物，利用相机捕捉不同角度下被测物的瑕疵。本实用新型解决了现有砷化镓外延瑕疵难以准确检测，并且检测效...

本发明实施例公开了一种物镜自动对焦方法与装置，属于光学检测技术领域，其技术方案如下，包括支撑架，支撑架上滑动设置有第一相机，第一相机的照射端设有第一镜筒，第一镜筒的端部设有物镜，支撑架上设有第二相机，第二相机上设有第二镜筒，第一镜筒的侧...

本发明实施例公开了一种碳化硅瑕疵检测设备，属于半导体检测技术领域，其技术方案如下，包括支撑架，所述支撑架上设置有载物台与成像装置，成像装置位于载物台上方，所述载物台上设置有通孔，所述支撑架位于成像装置与载物台之间的位置设置有照向载物台的...

本实用新型实施例公开了一种碳化硅瑕疵检测设备，属于半导体检测技术领域，其技术方案如下，包括支撑架，所述支撑架上设置有载物台与成像装置，成像装置位于载物台上方，所述载物台上设置有通孔，所述支撑架位于成像装置与载物台之间的位置设置有照向载物...

本实用新型实施例公开了一种物镜自动对焦装置，属于光学检测技术领域，其技术方案如下，包括支撑架，支撑架上滑动设置有第一相机，第一相机的照射端设有第一镜筒，第一镜筒的端部设有物镜，支撑架上设有第二相机，第二相机上设有第二镜筒，第一镜筒的侧壁...