一种晶圆批量读码机构及设备制造技术

本实用新型专利技术公开一种晶圆批量读码机构和设备，其中，所述机构包括滚轮、读码组件、升降支柱；所述滚轮和所述读码组件可以沿着导轨在晶圆的下方同步运动；两个所述升降支柱相对设置于晶圆的下方，且所述升降支柱可升降晶圆，以使晶圆与所述滚轮处于接触状态或者分离状态；所述读码组件位于两个所述升降支柱之间，且所述读码组件可升降晶圆，以使晶圆与所述升降支柱处于接触状态或者分离状态。通过设置升降支柱与晶圆参考边相抵，实现对晶圆的快速定位，从而对整盒晶圆进行参考边整理，并且可以在滚轮后撤时确保滚轮与晶圆分离，从而保护晶圆不被拉伤。通过读码组件升降晶圆，避免已读码晶圆遮挡待读码晶圆，从而实现晶圆的逐片读码。码。码。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆批量读码机构及设备


[0001]本技术涉及晶圆读码领域，特别是涉及一种晶圆批量读码机构及设备。

技术介绍

[0002]在半导体工艺流程中，通常用专门的刻字号读取模块，对晶圆刻字号进行读取和自动化输入，减少人工记录出现的偏差。应用场景中有单片读取的场景，这类场景通常运用机械手把晶圆从料盒中取出，放到事先设定的读码位置进行刻字号读取。也有一些场景需要对整盒晶圆的刻字号进行逐一读取，这时候用机械手一片片取出然后移动到相应读码站点进行读取，然后再放回，其效率较低，而且晶圆本身还需要确保刻字号都已经事先对好方向，以便于读码设备的定位。
[0003]对此，针对整盒晶圆的逐片刻字号读取，现有设备通过把晶圆盒竖着放，通过旋转滚轮把晶圆的参考边对齐到读码位置，然后通过设置上升和后退结构，进而对每一片晶圆进行刻字号逐一读取。但现有设备无法很好的兼容具有不同尺寸的晶圆，也不能够兼容具有不同参考边的晶圆，例如平边型参考边、缺口型参考边。

技术实现思路

[0004]本技术的主要目的在于提出一种晶圆批量读码机构及设备，旨在解决现有设备无法很好的兼容具有不同尺寸的晶圆，也不能够兼容具有不同参考边的晶圆中的至少一个技术问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提出一种晶圆批量读码机构，包括滚轮、读码组件、升降支柱；所述滚轮和所述读码组件可以沿着导轨在晶圆的下方同步运动；两个所述升降支柱相对设置于晶圆的下方，且所述升降支柱可升降晶圆，以使晶圆与所述滚轮处于接触状态或者分离状态；所述读码组件位于两个所述升降支柱之间，且所述读码组件可升降晶圆，以使晶圆与所述升降支柱处于接触状态或者分离状态；在读码过程中，所述读码组件带动已读码晶圆上升，使得已读码晶圆与所述升降支柱处于分离状态，以便所述读码组件的相机读码模块对待读码晶圆进行读码。
[0006]其中，所述读码组件包括棱镜支撑柱、设置于所述棱镜支撑柱上的棱镜和相机读码模块；在读码过程中，所述棱镜与待读码晶圆相对，并将待读码晶圆的刻字面影像映射到所述相机读码模块上。
[0007]其中，所述升降支柱包括分别设于晶圆下方的第一支柱和第二支柱；当所述第一支柱和所述第二支柱均处于高位时，所述第一支柱的顶部和所述第二支柱的顶部位于所述滚轮的顶部切线上方，且所述第一支柱的顶部和所述第二支柱的顶部等高设置；当所述第一支柱和所述第二支柱均处于低位时，所述第一支柱的顶部与所述滚轮的顶部切线等高设置，所述第二支柱的顶部位于所述滚轮的顶部切线下方。
[0008]其中，所述第一支柱与所述第二支柱之间的距离可调节设置。
[0009]其中，所述第一支柱、所述第二支柱和所述滚轮分别由动力装置提供动力。
[0010]其中，所述动力装置为电机或气缸或液压缸。
[0011]本技术还提出了一种晶圆批量读码设备，包括前述的晶圆批量读码机构。
[0012]相较于现有技术，本技术的有益效果为：
[0013]本技术通过设置升降支柱与晶圆参考边相抵，实现对晶圆的快速定位，从而对整盒晶圆进行参考边整理，并且可以在滚轮后撤时确保滚轮与晶圆分离，从而保护晶圆不会被拉伤。通过读码组件升降晶圆，避免在读码过程中已读码晶圆遮挡待读码晶圆，从而保证读码组件有效地完成晶圆的逐片读码。并且本申请可以方便的兼容具有不同尺寸或具有不同类型参考边的晶圆，在晶圆批量读码过程中，不需要经常更换设备，经济实用。
附图说明
[0014]图1至图2为本技术实施例中所述晶圆批量读码机构的理参考边过程示意图(具有平边型参考边的晶圆)；
[0015]图3为本技术实施例中所述晶圆批量读码机构在读码完成后将晶圆的平边型参考边转到顶部的过程示意图；
[0016]图4至图5为本技术实施例中所述晶圆批量读码机构的理参考边过程示意图(具有缺口型参考边的晶圆)；
[0017]图6为本技术实施例中所述晶圆批量读码机构在读码完成后将晶圆的缺口型参考边转到顶部的过程示意图；
[0018]图7为本技术实施例中所述晶圆批量读码机构的剖视图(理参考边完成后的状态)；
[0019]图8为本技术实施例中所述晶圆批量读码机构的剖视图(读码过程的状态)。
具体实施方式
[0020]下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制，基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]由于现有设备无法很好的兼容具有不同尺寸的晶圆，也不能够兼容具有不同参考边的晶圆。为解决上述至少一个技术问题，本技术实施例提出一种晶圆批量读码机构，包括滚轮1、读码组件2、升降支柱3；所述滚轮1和所述读码组件2可以沿着导轨4在晶圆A的下方同步运动；两个所述升降支柱3相对设置于晶圆A的下方，且所述升降支柱可升降晶圆A，以使晶圆A与所述滚轮1处于接触状态或者分离状态；所述读码组件2位于两个所述升降支柱3之间，且所述读码组件2可升降晶圆A，以使晶圆A与所述升降支柱3处于接触状态或者分离状态；在读码过程中，所述读码组件2带动已读码晶圆A2上升，使得已读码晶圆A2与所述升降支柱3处于分离状态，此时，所述读码组件2的相机读码模块对待读码晶圆A1进行读码。
[0022]在一些实施例中，所述读码组件2包括棱镜支撑柱(图中未示出)、设置于所述棱镜支撑柱上的棱镜(图中未示出)和相机读码模块(图中未示出)；在读码过程中，所述棱镜与待读码晶圆A1相对，并将待读码晶圆A1的刻字面影像映射到所述相机读码模块上。
[0023]在一些实施例中，所述升降支柱3包括分别设于晶圆A下方的第一支柱31和第二支柱32；当所述第一支柱31和所述第二支柱32均处于高位时，所述第一支柱31的顶部和所述第二支柱32的顶部位于所述滚轮1的顶部切线c上方，且所述第一支柱31的顶部和所述第二支柱32的顶部等高设置；当所述第一支柱31和所述第二支柱32均处于低位时，所述第一支柱31的顶部与所述滚轮1的顶部切线c等高设置，所述第二支柱32的顶部位于所述滚轮1的顶部切线c下方。
[0024]在一些实施例中，所述第一支柱31与所述第二支柱32之间的距离可调节设置，以便于更好的适应具有不同尺寸或不同类型参考边的晶圆A。
[0025]在一些实施例中，所述第一支柱31、所述第二支柱32和所述滚轮1分别由动力装置(图中未示出)提供动力。
[0026]在一些实施例中，所述动力装置为电机或气缸或液压缸。
[0027]本技术实施例还提出一种晶圆批量读码设备，其包括以上晶圆批量读码机构。
[0028]实施例
[0029]实施例1：对于具有平边型参考边51的晶圆。
[0030]理参考边步骤：参照本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆批量读码机构，其特征在于，包括滚轮、读码组件、升降支柱；所述滚轮和所述读码组件可以沿着导轨在晶圆的下方同步运动；两个所述升降支柱相对设置于晶圆的下方，且所述升降支柱可升降晶圆，以使晶圆与所述滚轮处于接触状态或者分离状态；所述读码组件位于两个所述升降支柱之间，且所述读码组件可升降晶圆，以使晶圆与所述升降支柱处于接触状态或者分离状态；在读码过程中，所述读码组件带动已读码晶圆上升，使得已读码晶圆与所述升降支柱处于分离状态，以便所述读码组件的相机读码模块对待读码晶圆进行读码。2.根据权利要求1所述的晶圆批量读码机构，其特征在于，所述读码组件包括棱镜支撑柱、设置于所述棱镜支撑柱上的棱镜和相机读码模块；在读码过程中，所述棱镜与待读码晶圆相对，并将待读码晶圆的刻字面影像映射到所述相机读码模块上。3.根据权利要求1所述的晶圆批量读码机构，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：张春雨，黄英俊，
申请(专利权)人：上海谦视智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：