一种晶圆夹具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆夹具，该晶圆夹具包括第一圈体和第二圈体，第一圈体与第二圈体通过转动机构连接，第一圈体和第二圈体中的至少一者可绕着第二圈体的中心转动；第一圈体上设有多个第一枢轴，多个第一枢轴与第二圈体的中心之间的距离相等，第一枢轴上设有摆臂，摆臂与第二圈体之间通过连接结构活动连接；第一圈体或第二圈体转动时驱动摆臂绕着第一枢轴转动以调节摆臂临近第二圈体中心的一端至第二圈体中心的距离。本实用新型专利技术可以有效地避免晶圆的表面受到污染，可以与不同尺寸的晶圆相适配，而且具有结构简单、加工难度小、制造成本低、使用便捷的优点。使用便捷的优点。使用便捷的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆夹具


[0001]本技术涉及半导体集成电路
，具体涉及一种晶圆夹具。

技术介绍

[0002]在半导体制造过程中，一些节点需要对晶圆进行人工目检或者机器自动检测。通常对于晶圆的夹持采用背面吸附方式来进行固定。但实际生产过程中，各环节可能会存在一些交叉污染，导致吸附太长时间使用后会产生残留赃物，二次污染晶圆表面。
[0003]另一种类型的晶圆夹具是避免过大面积的支撑晶圆表面，采取了外围三点式，或者多点，或者环形方式支撑，只接触晶圆外围而保持中间镂空避免对晶圆内产生直接接触，但这种方式针对不同大小的晶圆(比如4寸，6寸，8寸，12寸)就需要设置不同的支点夹具，在切换尺寸时候增加了操作的复杂性，且不能保证夹具的稳定性，因此需要进行改进。

技术实现思路

[0004]本技术为解决现有技术的不足，提供了一种能够与不同尺寸的晶圆相适配的晶圆夹具。
[0005]为实现上述目的，本技术提供了以下技术方案：
[0006]一种晶圆夹具，该晶圆夹具包括第一圈体和第二圈体，第一圈体与第二圈体通过转动机构连接，第一圈体和第二圈体中的至少一者可绕着第二圈体的中心转动；第一圈体上设有多个第一枢轴，多个第一枢轴与第二圈体的中心之间的距离相等，第一枢轴上设有摆臂，摆臂与第二圈体之间通过连接结构活动连接；第一圈体或第二圈体转动时驱动摆臂绕着第一枢轴转动以调节摆臂临近第二圈体中心的一端至第二圈体中心的距离。
[0007]进一步的，第一圈体内设置有用于放置第二圈体的容纳空间，第二圈体设置在容纳空间内。
[0008]在一些实施例中，连接结构包括与第二圈体固定连接的拨杆和设置在摆臂上的滑道，滑道的长度方向与摆臂的长度方向一致，拨杆与滑道连接，拨杆可沿着滑道的长度方向移动。
[0009]进一步的，滑道包括相互连通的第一槽孔和第二槽孔，第一槽孔设在摆臂临近第二圈体的端面上，第二槽孔设在摆臂远离第二圈体的端面上，第一槽孔的宽度小于第二槽孔的宽度；拨杆包括位于第一槽孔内的连接部和位于第二槽孔内的压紧部，连接部的一端与第二圈体连接，连接部和压紧部均为圆柱体，连接部的轴线与压紧部的轴线共线且与第一枢轴平行，压紧部的直径大于第一槽孔的宽度。
[0010]进一步的，第一枢轴和拨杆均环绕第二圈体的中心等距间隔分布，第一枢轴与第二圈体的中心之间的距离大于拨杆与第二圈体的中心之间的距离。
[0011]在一些实施例中，连接结构包括第二枢轴、第三枢轴和连杆，连杆的一端通过第二枢轴与第二圈体枢接，连杆的另一端通过第三枢轴与摆臂枢接；第三枢轴相比于第一枢轴临近第二圈体的中心。
[0012]进一步的，第一枢轴、第二枢轴和第三枢轴均环绕第二圈体的中心等距间隔分布。
[0013]在一些实施例中，转动机构包括底座和转盘，第一圈体设在底座的上方并与底座固定连接；转盘设置在底座的上方并与底座转动连接，转盘可相对底座转动，第二圈体设在转盘的上方并与转盘固定连接，转盘的中心与第二圈体的中心上下对齐。
[0014]进一步的，底座上设有腔室，腔室内设有第一轴承和中轴，中轴与转盘固定连接，第一轴承的外圈与底座固定连接，第一轴承的内圈与中轴固定连接。
[0015]进一步的，第一圈体与底座之间存在间距，底座上设有位于第一圈体与底座之间的第一支撑件，第一支撑件与第一圈体固定连接；第二圈体与转盘之间存在间距，转盘上设有位于第二圈体与转盘之间的第二支撑件，第二支撑件与第二圈体固定连接。
[0016]进一步的，底座或第一圈体上设有限位件，转盘或第二圈体上设有锁定机构；限位件上设有多个环绕转盘的卡槽，锁定机构包括锁杆，锁杆具有第一位置和第二位置；在第一位置，锁杆卡在卡槽内以阻止转盘转动；在第二位置，锁杆位于卡槽外，转盘可相对底座转动。
[0017]进一步的，限位件设在底座上，锁定机构设在转盘上，锁定机构还包括安装件、滑杆、滑块和第一弹性件；安装件与转盘固定连接；滑杆的一端与安装件连接；滑块套设在滑杆上，滑块可沿着滑杆的长度方向滑动，锁杆与滑块固定连接；第一弹性件设在安装件与滑块之间，第一弹性件压迫滑块以使锁杆常态时保持在第一位置。
[0018]在一些实施例中，转动机构为第二轴承，第二轴承设在第一圈体与第二圈体之间，第二轴承的外圈与第一圈体固定连接，轴承的内圈与第二圈体固定连接。
[0019]进一步的，摆臂临近第二圈体中心的一端设有卡接轮，卡接轮的外周壁上设置有环槽；该晶圆夹具还包括夹紧机构，夹紧机构用于驱使第一圈体或第二圈体转动以使摆臂指向第二圈体的中心。
[0020]进一步的，夹紧机构包括第一固定件、第二固定件和第二弹性件；第一固定件与第一圈体连接，第二固定件与第二圈体连接，第二弹性件的一端与第一固定件连接，第二弹性件的另一端与第二固定件连接。
[0021]进一步的，晶圆夹具还包括限程板和挡块，限程板与第二圈体固定连接，限程板上设有限程槽，限程槽呈弧形且其对应的圆心与第二圈体的中心重合；挡块与第一圈体固定连接，挡块的至少部分位于限程槽内并可相对限程板移动。
[0022]与现有技术相比，本技术应用于晶圆的固定时可以有效地避免晶圆的表面受到污染，而且可以灵活地调节摆臂的位置，从而使该晶圆夹具与不同尺寸的晶圆相适配，而且具有较好的稳定性，使用操作也十分便捷。此外，本技术的结构较为简单，具有加工难度小、制造成本低的优点。
附图说明
[0023]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0024]图1和图2是本技术实施例1的立体图。
[0025]图3是本技术实施例1中将转动机构拆解后的示意图。
[0026]图4是本技术实施例1中锁定机构的示意图。
[0027]图5是本技术实施例1的剖视图。
[0028]图6是图1至图5中的摆臂转动至另一位置时的局部示意图。
[0029]图7和图8是本技术实施例2的立体图。
[0030]图9是本技术实施例2的俯视图。
[0031]图10是本技术实施例2的仰视图。
[0032]图11是图9中沿A
‑
A线的剖视图。
[0033]图12是图11中B处的局部放大视图。
[0034]图13是本技术实施例2固定晶圆时的示意图。
[0035]图14是本技术实施例3的立体图。
[0036]图15是本技术实施例3的俯视图。
[0037]图16图15中沿C
‑
C线的剖视图。
[0038]图17是图14中的第一圈体转动一定角度之后的示意图。
[0039]附图标记说明如下：
[0040]图中：1、第一圈体；101、容本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆夹具，其特征在于：包括第一圈体和第二圈体，所述第一圈体与所述第二圈体通过转动机构连接，所述第一圈体和所述第二圈体中的至少一者可绕着所述第二圈体的中心转动；所述第一圈体上设有多个第一枢轴，多个所述的第一枢轴与所述第二圈体的中心之间的距离相等，所述第一枢轴上设有摆臂，所述摆臂与所述第二圈体之间通过连接结构活动连接；所述第一圈体或所述第二圈体转动时驱动所述摆臂绕着所述第一枢轴转动以调节所述摆臂临近所述第二圈体中心的一端至所述第二圈体中心的距离。2.根据权利要求1所述的晶圆夹具，其特征在于：所述第一圈体内设置有用于放置所述第二圈体的容纳空间，所述第二圈体设置在所述容纳空间内。3.根据权利要求2所述的晶圆夹具，其特征在于：所述连接结构包括与所述第二圈体固定连接的拨杆和设置在所述摆臂上的滑道，所述滑道的长度方向与所述摆臂的长度方向一致，所述拨杆与所述滑道连接，所述拨杆可沿着所述滑道的长度方向移动。4.根据权利要求3所述的晶圆夹具，其特征在于：所述滑道包括相互连通的第一槽孔和第二槽孔，所述第一槽孔设在所述摆臂临近所述第二圈体的端面上，所述第二槽孔设在所述摆臂远离所述第二圈体的端面上，所述第一槽孔的宽度小于所述第二槽孔的宽度；所述拨杆包括位于所述第一槽孔内的连接部和位于所述第二槽孔内的压紧部，所述连接部的一端与所述第二圈体固定连接，所述连接部和所述压紧部均为圆柱体，所述连接部的轴线与所述压紧部的轴线共线且与所述第一枢轴平行，所述压紧部的直径大于所述第一槽孔的宽度。5.根据权利要求4所述的晶圆夹具，其特征在于：所述第一枢轴和所述拨杆均环绕所述第二圈体的中心等距间隔分布，所述第一枢轴与所述第二圈体的中心之间的距离大于所述拨杆与所述第二圈体的中心之间的距离。6.根据权利要求2所述的晶圆夹具，其特征在于：所述连接结构包括第二枢轴、第三枢轴和连杆，所述连杆的一端通过所述第二枢轴与所述第二圈体枢接，所述连杆的另一端通过所述第三枢轴与所述摆臂枢接。7.根据权利要求6所述的晶圆夹具，其特征在于：所述第一枢轴、所述第二枢轴和所述第三枢轴均环绕所述第二圈体的中心等距间隔分布。8.根据权利要求1至7任一项所述的晶圆夹具，其特征在于，所述转动机构包括：底座，所述第一圈体设在所述底座的上方并与所述底座固定连接；转盘，所述转盘设置在所述底座的上方并与所述底座转动连接，所述转盘可相对所述底座转动，所述第二圈体设在所述转盘的上方并与所述转盘固定连接，所述转盘的中心与所述第二圈体的中心上下对齐。9.根据权利要求8所述的晶圆夹具，其特征在于：所述底座上设...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄英俊，
申请(专利权)人：上海谦视智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：