一种新型的多功能晶圆几何形貌检测仪制造技术

本实用新型专利技术涉及晶圆几何形貌检测技术领域，具体为一种新型的多功能晶圆几何形貌检测仪，包括机箱以及设置在机箱内部的滑动底座，滑动底座上端通过电动滑轮滑动连接有用于移动晶圆片的移动底座，机箱内滑动底座一侧设置有用于检测晶圆片的第一摄像头、第二摄像头以及第三摄像头，晶圆片一侧设置有与第二摄像头相对应的用于照明的光源杆，第一摄像头设置在晶圆片正前方，第三摄像头设置在晶圆片右下方。本实用新型专利技术第一摄像头、第二摄像头以及第三摄像头的设置位置不同能够对晶圆片进行全方位的检测同时光源杆能够为摄像头提供更好的检测环境。的检测环境。的检测环境。

【技术实现步骤摘要】
一种新型的多功能晶圆几何形貌检测仪


[0001]本技术涉及晶圆几何形貌检测仪，特别是涉及一种新型的多功能晶圆几何形貌检测仪，属于晶圆几何形貌检测


技术介绍

[0002]晶圆的表面形貌及关键尺寸对后续加工以及成品半导体器件的性能有着重要的影响，而形貌和关键尺寸测量是后续加工前必不可少的步骤，需要对缺口、倒角特征、崩边缺陷进行检测，而如果在对晶圆进行加工时未能对晶圆上的缺口、倒角特征以及缺陷发现在后续制备的高温过程中成为有害沾污物的聚集地并产生颗粒脱落，而现在目前工厂内大多使用的检测设备过于简陋，例如：在对晶圆进行检测时使用的检测设备过少不能对晶圆体进行全方位的检测导致缺陷未能及时的发现从而事故发生。
[0003]因此，亟需对晶圆几何形貌检测仪进行改进，以解决上述存在的问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是提供一种新型的多功能晶圆几何形貌检测仪，第一摄像头、第二摄像头以及第三摄像头的设置位置不同能够对晶圆片进行全方位的检测同时光源杆能够为摄像头提供更好的检测环境。
[0005]为了达到上述目的，本技术采用的主要技术方案包括：一种新型的多功能晶圆几何形貌检测仪，包括机箱以及设置在所述机箱内部的滑动底座，所述滑动底座上端通过电动滑轮滑动连接有用于移动晶圆片的移动底座，所述机箱内所述滑动底座一侧设置有用于检测所述晶圆片的第一摄像头、第二摄像头以及第三摄像头，所述晶圆片一侧设置有与所述第二摄像头相对应的用于照明的光源杆，所述第一摄像头设置在所述晶圆片正前方，所述第三摄像头设置在所述晶圆片右下方。
[0006]优选的，所述机箱内部底部固定设置有固定底座，所述第一摄像头、所述第二摄像头、所述第三摄像头、所述光源杆以及所述滑动底座均固定设置在所述固定底座上端。
[0007]优选的，所述移动底座的一侧通过连接板连接有用于稳固所述移动底座的传送链，所述连接板与所述移动底座固定连接。
[0008]优选的，所述移动底座上端通过电动伸缩杆转动连接有用于所述晶圆片放置的转动吸盘，所述滑动底座远离所述第一摄像头的一端设置有托盘，所述托盘下端通过托盘连接杆与所述固定底座上端固定连接。
[0009]优选的，所述机箱外侧一端固定设置有显示器，所述第一摄像头、所述第二摄像头以及所述第三摄像头均与所述显示器电性连接。
[0010]优选的，所述机箱一侧所述显示器同侧面固定设置有操作台，所述托盘设置在所述操作台上，所述转动吸盘与所述操作台上端滑动连接且靠近所述机箱开口处。
[0011]优选的，所述机箱内部设置有若干个用于提供照明的照明灯，所述第一摄像头、所述第二摄像头、所述第三摄像头、所述显示器、所述电动滑轮、所述电动伸缩杆、所述转动吸
盘、所述照明灯以及所述光源杆均与外部电源电性连接。
[0012]本技术至少具备以下有益效果：
[0013]1、第一摄像头、第二摄像头以及第三摄像头的设置位置不同能够对晶圆片进行全方位的检测同时光源杆能够为摄像头提供更好的检测环境，多个检测设备对晶圆体进行检测能够大大减小缺陷的遗漏更好的为后续工作提供良好的基础。
[0014]2、移动底座上端通过电动伸缩杆转动连接有用于晶圆片放置的转动吸盘，能够用于在检测中对晶圆片的高度进行调节，实现在晶圆片圆心与吸盘圆心未对准的情况下，对晶圆片进行二次定位与放置的功能大大提高了其检测精准度。
附图说明
[0015]此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：
[0016]图1为本技术的外部整体立体示意图；
[0017]图2为本技术的机箱内部晶圆片未放置示意图；
[0018]图3为本技术的机箱内部晶圆片放置示意图；
[0019]图4为本技术的机箱内部晶圆片放置补充示意图；
[0020]图5为本技术的电动滑轮连接示意图；
[0021]图6为本技术的机箱内部照明灯示意图。
[0022]图中，1
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机箱，2
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显示器，3
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操作台，4
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托盘，5
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转动吸盘，6
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固定底座，7
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托盘连接杆，8
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移动底座，9
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连接板，10
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传送链，11
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滑动底座，12
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第一摄像头，13
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第二摄像头，14
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第三摄像头，15
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光源杆，16
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晶圆片，17
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电动滑轮，18
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电动伸缩杆，19
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照明灯。
具体实施方式
[0023]以下将配合附图及实施例来详细说明本申请的实施方式，借此对本申请如何应用技术手段来解决技术问题并达成技术功效的实现过程能充分理解并据以实施。
[0024]如图1
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图6所示，本实施例提供的新型的多功能晶圆几何形貌检测仪，机箱1以及设置在机箱1内部的滑动底座11，滑动底座11上端通过电动滑轮17滑动连接有用于移动晶圆片16的移动底座8，通过电动滑轮17能够将移动底座8进行横向位置移动，机箱1内滑动底座11一侧设置有用于检测晶圆片16的第一摄像头12、第二摄像头13以及第三摄像头14，晶圆片16一侧设置有与第二摄像头13相对应的用于照明的光源杆15，第一摄像头12设置在晶圆片16正前方，第三摄像头14设置在晶圆片16右下方，通过电动滑轮17将晶圆片16进行移动使得晶圆片16能够移动至摄像头检测范围内进行检测，第一摄像头12、第二摄像头13以及第三摄像头14的设置位置不同能够对晶圆片16进行全方位的检测同时光源杆15能够为摄像头提供更好的检测环境，机箱1内部底部固定设置有固定底座6，第一摄像头12、第二摄像头13、第三摄像头14、光源杆15以及滑动底座11均固定设置在固定底座6上端，移动底座8的一侧通过连接板9连接有用于稳固移动底座8的传送链10，连接板9与移动底座8固定连接，通过传送链10能够为移动底座8在进行移动时提供稳定作用避免移动时晃动幅度过大导致晶圆片掉落损坏，移动底座8上端通过电动伸缩杆18转动连接有用于晶圆片16放置的转动吸盘5，能够用于在检测中对晶圆片16的高度进行调节，实现在晶圆片16圆心与吸盘圆
心未对准的情况下，对晶圆片16进行二次定位与放置的功能大大提高了其检测精准度，同时可使转动吸盘5进行转动能够使摄像头对晶圆片16进行转动检测，滑动底座11远离第一摄像头12的一端设置有托盘4，托盘4下端通过托盘连接杆7与固定底座6上端固定连接，托盘4能够将晶圆片16稳固在转动吸盘5上避免掉落损坏，机箱1外侧一端固定设置有显示器2，第一摄像头12、第二摄像头13以及第三摄像头14均本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型的多功能晶圆几何形貌检测仪，其特征在于，包括机箱(1)以及设置在所述机箱(1)内部的滑动底座(11)；所述滑动底座(11)上端通过电动滑轮(17)滑动连接有用于移动晶圆片(16)的移动底座(8)，所述机箱(1)内所述滑动底座(11)一侧设置有用于检测所述晶圆片(16)的第一摄像头(12)、第二摄像头(13)以及第三摄像头(14)，所述晶圆片(16)一侧设置有与所述第二摄像头(13)相对应的用于照明的光源杆(15)，所述第一摄像头(12)以及所述第三摄像头(14)分别设置在所述晶圆片(16)正前方以及右下方。2.根据权利要求1所述的一种新型的多功能晶圆几何形貌检测仪，其特征在于：所述机箱(1)内部底部固定设置有固定底座(6)，所述第一摄像头(12)、所述第二摄像头(13)、所述第三摄像头(14)、所述光源杆(15)以及所述滑动底座(11)均固定设置在所述固定底座(6)上端。3.根据权利要求1所述的一种新型的多功能晶圆几何形貌检测仪，其特征在于：所述移动底座(8)的一侧通过连接板(9)连接有用于稳固所述移动底座(8)的传送链(10)，所述连接板(9)与所述移动底座(8)固定连接。4.根据权利要求2所述的一种新型...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄英俊，张富照，汪江林，
申请(专利权)人：上海谦视智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：