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本实用新型涉及晶圆几何形貌检测技术领域，具体为一种新型的多功能晶圆几何形貌检测仪，包括机箱以及设置在机箱内部的滑动底座，滑动底座上端通过电动滑轮滑动连接有用于移动晶圆片的移动底座，机箱内滑动底座一侧设置有用于检测晶圆片的第一摄像头、第二摄像...
该专利属于上海谦视智能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海谦视智能科技有限公司授权不得商用。

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