一种晶圆卡塞抓取总成制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆卡塞抓取总成，包括滑轨组件、与滑轨组件滑动连接的滑动组件以及用于驱动滑动组件沿滑轨组件滑移的第一驱动装置，第一驱动装置固定连接在滑轨组件上，滑动组件上连接有第二驱动装置，第二驱动装置的输出端连接有抓取组件，以驱动抓取组件沿滑动组件远离或靠近方向运动，抓取组件用于对晶圆卡塞进行抓取，采用机械对晶圆卡塞进行抓取，解放操作人员双手，极大程度提高了对晶圆卡塞抓取及后续转运效率，解决了目前对晶圆卡塞的抓取和搬运，均通过人工手动操作，极大程度耗费人力，且降低了晶圆卡塞搬运效率问题。题。题。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆卡塞抓取总成


[0001]本技术涉半导体
，特别涉及一种晶圆卡塞抓取总成。

技术介绍

[0002]晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之 IC产品。晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，其纯度高达99.999999999％。
[0003]而晶圆卡塞，则是用于装载晶圆片的载具且卡塞能够起到对晶圆片进行统一整和防护的目的。
[0004]目前对晶圆卡塞的抓取和搬运，均通过人工手动操作，极大程度耗费人力，且降低了晶圆卡塞搬运效率。

技术实现思路

[0005]基于此，本技术的目的是提供一种晶圆卡塞抓取总成，旨在解决现有技术中目前对晶圆卡塞的抓取和搬运，均通过人工手动操作，极大程度耗费人力，且降低了晶圆卡塞搬运效率的问题。
[0006]本技术实施例提出的一种晶圆卡塞抓取总成，包括滑轨组件、与所述滑轨组件滑动连接的滑动组件以及用于驱动所述滑动组件沿所述滑轨组件滑移的第一驱动装置，所述第一驱动装置固定连接在所述滑轨组件上，所述滑动组件上连接有第二驱动装置，所述第二驱动装置的输出端连接有抓取组件，以驱动所述抓取组件沿所述滑动组件远离或靠近方向运动，所述抓取组件用于对晶圆卡塞进行抓取。
[0007]上述，操作人员可根据晶圆卡塞所处位置，驱动第一驱动装置带动滑动组件在滑轨组件上进行位置调整，使得带动滑动组件上的第二驱动装置及抓取组件移动至与晶圆卡塞竖直对齐处，之后通过第二驱动装置带动抓取组件朝晶圆卡塞位置竖直活动，同时可通过驱动抓取组件对晶圆卡塞进行抓取，采用机械对晶圆卡塞进行抓取，解放操作人员双手，极大程度提高了对晶圆卡塞抓取及后续转运效率，解决了目前对晶圆卡塞的抓取和搬运，均通过人工手动操作，极大程度耗费人力，且降低了晶圆卡塞搬运效率问题。
[0008]另外，根据本技术实施例提出的晶圆卡塞抓取总成，还可以具有如下的附加技术特征：
[0009]进一步的，所述滑轨组件包括固定部、沿所述固定部两端分别向外延伸出的侧翼部、固定在所述固定部上的支撑板、固定在所述支撑板上下两侧的滑轨，以及固定连接在所述支撑板上靠近所述侧翼部两侧的限位栓。
[0010]进一步的，所述滑动组件包括固定板、沿所述固定板一侧顶部向外延伸出与所述第一驱动装置的输出端连接的连接部，以及所述固定板上靠近所述滑轨组件一侧的至少一滑块，所述滑块套设与所述滑轨上。
[0011]进一步的，所述第一驱动装置可以是第一气缸，所述第二驱动装置可以是第二气缸。
[0012]进一步的，所述抓取组件包括与所述第二驱动装置连接的双向驱动装置、分别嵌于所述双向驱动装置两端的活塞杆，以及沿所述活塞杆远离所述双向驱动装置一端设置的夹持板，所述夹持板底部固定连接有抓取板。
[0013]进一步的，所述抓取板外形为L字型，所述抓取板包括与所述夹持板固定连接的安装面以及沿所述安装面底部朝所述双向驱动装置方向延伸出与所述晶圆卡塞扣接的抓取面。
[0014]进一步的，所述抓取面远离所述安装面一侧向外延伸出与所述晶圆卡塞接触的防护部。
[0015]进一步的，所述安装面一侧朝所述晶圆卡塞方向延伸出嵌于所述晶圆卡塞内的至少一定位导杆。
[0016]进一步的，所述固定部底部开设有矩形槽，所述矩形槽内嵌有限位柱。
[0017]进一步的，所述固定板中部开设有用于容置所述限位柱的限位槽，以使所述限位柱沿所述矩形槽至所述限位槽方向穿出，用于限制所述滑动组件活动范围。
附图说明
[0018]图1为本技术实施例中提出的一种晶圆卡塞抓取总成及晶圆卡塞的结构示意图；
[0019]图2为本技术实施例中提出的一种晶圆卡塞抓取总成中滑轨组件的结构示意图；
[0020]图3为本技术实施例中提出的一种晶圆卡塞抓取总成中第一驱动装置和滑动组件的结构示意图；
[0021]图4为本技术实施例中提出的一种晶圆卡塞抓取总成中抓取组件的结构示意图；
[0022]图5为本技术实施例中提出的一种晶圆卡塞抓取总成中抓取组件的部分结构示意图；
[0023]图6为本技术实施例中提出晶圆卡塞的结构示意图。
[0024]主要元件符号说明：
[0025]滑轨组件1限位槽34固定部11第二驱动装置4侧翼部12抓取组件5支撑板13双向驱动装置51滑轨14活塞杆52限位栓15夹持板53限位柱16抓取板54第一驱动装置2安装面541滑动组件3抓取面542固定板31防护部543
连接部32定位导杆55滑块33晶圆卡塞6
[0026]如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本技术。
具体实施方式
[0027]为了便于理解本技术，下面将参照相关附图对本技术进行更全面的描述。附图中给出了本技术的若干实施例。但是，本技术可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本技术的公开内容更加透彻全面。
[0028]需要说明的是，当元件被称为“固设于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。
[0029]除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本技术。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
[0030]请参阅图1至图6，所示为本技术实施例中的晶圆卡塞抓取总成，该晶圆卡塞抓取总成包括滑轨组件1、与滑轨组件1滑动连接的滑动组件3以及用于驱动滑动组件3沿滑轨组件1滑移的第一驱动装置2，第一驱动装置2固定连接在滑轨组件1上，滑动组件3上连接有第二驱动装置4，第二驱动装置4的输出端连接有抓取组件5，以驱动抓取组件5沿滑动组件3远离或靠近方向运动，抓取组件5用于对晶圆卡塞6进行抓取，滑轨组件1包括固定部11、沿固定部11 两端分别向外延伸出的侧翼部12、固定在固定部11上的支撑板13、固定在支撑板13上下两侧的滑轨14，以及固定连接在支撑板13上靠近侧翼部12两侧的限位栓15。
[0031]其中，在一些可选实施例当中，晶圆卡塞抓取总成可以是固定安装在晶圆卡塞6抓取处，还可以是安装于机械臂上通过机械臂(其中，机械臂为常见驱动结构，在此不做阐述)驱动晶圆卡塞抓取总成对晶圆卡塞6进行抓取，以提高晶圆卡塞抓取总成的适用范围。
[0032]另外，为了便于操作人员对晶圆卡塞抓取总成进行控制，本装置还本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆卡塞抓取总成，其特征在于，包括滑轨组件、与所述滑轨组件滑动连接的滑动组件以及用于驱动所述滑动组件沿所述滑轨组件滑移的第一驱动装置，所述第一驱动装置固定连接在所述滑轨组件上，所述滑动组件上连接有第二驱动装置，所述第二驱动装置的输出端连接有抓取组件，以驱动所述抓取组件沿所述滑动组件远离或靠近方向运动，所述抓取组件用于对晶圆卡塞进行抓取。2.根据权利要求1所述的晶圆卡塞抓取总成，其特征在于，所述滑轨组件包括固定部、沿所述固定部两端分别向外延伸出的侧翼部、固定在所述固定部上的支撑板、固定在所述支撑板上下两侧的滑轨，以及固定连接在所述支撑板上靠近所述侧翼部两侧的限位栓。3.根据权利要求2所述的晶圆卡塞抓取总成，其特征在于，所述滑动组件包括固定板、沿所述固定板一侧顶部向外延伸出与所述第一驱动装置的输出端连接的连接部，以及所述固定板上靠近所述滑轨组件一侧的至少一滑块，所述滑块套设与所述滑轨上。4.根据权利要求1所述的晶圆卡塞抓取总成，其特征在于，所述第一驱动装置是第一气缸，所述第二驱动装置是第二气缸。5.根据权利要求1所述的晶圆卡塞...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔思远，黄知文，吴琼琼，金从龙，
申请(专利权)人：江西兆驰半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：