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上海交通大学专利技术
上海交通大学共有42482项专利
低熔点熔体作密封物质防止氧化铅挥发的方法技术
一种低熔点熔体作密封物质防止氧化铅挥发的方法,采用盐类或氧化物类等难挥发性低熔点物质熔化后形成的熔体来密封整个系统,将密封物质装入煅烧小坩埚外的浅形大坩埚中,并用密封坩埚和密封盖盖在小坩埚上,形成双层密封系统,升温到密封物质完全熔化形成...
三维取向氧化锌薄膜的制备方法技术
一种三维取向氧化锌薄膜的制备方法,首先将锌盐、氨水和铵盐按一定比例溶于去离子水,制备成薄膜生长反应液,然后将处理过的基片浸入制备好的薄膜生长反应液中,在预浸泡30~60分钟后,升温至94~97℃,反应30~60分钟即可获得致密的具有三维...
太阳电池自动精确涂胶机构制造技术
本发明涉及一种太阳电池自动精确涂胶机构,主要包括:X、Y、Z三自由度自动移动装置、电气控制装置、滴胶装置和电池托盘,放置太阳电池的电池托盘放在三自由度自动移动装置的工作台上定位,由电气控制装置控制三自由度自动移动装置的运动轨迹、速度及滴...
基于键合技术的集成光学干涉仪制造技术
一种基于键合技术的集成光学干涉仪,属于微细加工领域。本发明主要包括:微光学透镜、隔离器、超薄薄膜光电二极管,其连接方式为:微光学透镜在最上层,中间为隔离器,下层为超薄薄膜光电二极管,这三层通过键合连接。本发明和其它集成光学干涉仪相比,它...
太阳电池自动封装机构制造技术
本发明涉及一种太阳电池自动封装机构,包括X、Y、Z三自由度自动移动装置、电气控制装置、封装装置和电池托盘。玻璃盖片和涂好胶的太阳电池放在工作台上的电池托盘内定位,在电气控制装置的控制下,Z轴移动单元向下移动,使真空吸盘到达指定的封装位置...
液相外延制备铁电厚膜的方法技术
一种液相外延制备铁电厚膜材料的方法,首先,按照通常铌镁酸铅-钛酸铅或铌锌酸铅-钛酸铅晶体生长采用的组分进行氧化物原料配料;然后,把配好的粉料在玛瑙球磨罐中球磨,并在900℃进行煅烧;最后,将煅烧后的粉料与助熔剂氧化铅混合均匀,经过高温下...
悬空结构射频微电感及其制作工艺制造技术
一种悬空结构射频微电感及其制作工艺。属于微电子技术领域。包括:衬底、金属螺旋线圈、引线、支撑体、连接体、平面波导线,金属螺旋线圈与衬底之间设置有支撑体,支撑体一端与所述的金属螺旋线圈连接,支撑体的另一端与衬底连接,在金属螺旋线圈与引线连...
制备材料芯片的k分分形掩膜方法技术
一种制备材料芯片的k分分形掩膜方法,其特征在于,以所需制成的材料芯片中元素的最大水平数k为依据,首先将基本掩膜分成具有与其相似结构的k个中心对称的区域,即k分分形,其中之一被设为通透状态,将所得掩膜依次向同一方向旋转360°/k,每旋转...
太阳电池少数载流子寿命分析仪制造技术
一种太阳电池少数载流子寿命分析仪,包括脉冲激光系统、微波系统、数据采集及处理系统,其特征在于脉冲激光器发出的激光照射到被测样品上,微波源通过微波波导与波导型隔离器相接,隔离器与波导型衰减器相接,衰减器通过波导同四端口互易元件魔T的一个平...
集成电路光刻设备的磁悬浮精密工件台制造技术
一种集成电路光刻设备的磁悬浮精密工件台,其特征在于采用相互独立的和基于闭环控制的电磁力和洛仑兹电机结构,主要包括由基座框架(1),电磁铁衔铁(2),工作台(3)、工作台与电磁铁衔铁的连接件(4)组成的机械部分,悬浮和驱动工作台的四对电磁...
用于投影机的多光源照明系统技术方案
一种用于投影机的多光源照明系统,其特征在于由一个发光二极管(1)、一个准直镜(2)、一个第一蝇眼透镜(3)以及一个第二蝇眼透镜(4)构成一个照明单元,准直镜(2)位于发光二极管(1)与第一蝇眼透镜(3)之间,第一蝇眼透镜(3)由多个矩形...
超薄型空间太阳电池片涂胶封装一体化机器人制造技术
一种超薄型空间太阳电池片涂胶封装一体化机器人,机座(1)安装在工作平台(7)上,X轴移动单元(2)的轨道安装在机座(1)上,Y轴移动单元(3)的轨道安装在X轴移动单元(2)的滑台上,Z轴移动单元(4)的轨道安装在Y轴移动单元(3)的滑台...
光伏半导体薄膜渡液及光伏半导体薄膜的制备方法技术
一种光伏半导体薄膜镀液及其制备方法,用于液相生长半导体薄膜技术领域。镀液为:CdCl↓[2]0.07-5%,NH↓[4]NO↓[3]0.1-4%,KOH1-6%,CS(NH↓[2])↓[2]0.3-15%,聚乙二醇为0.1-1%,其余为...
气浮XY两坐标平面运动平台制造技术
本发明涉及一种气浮XY两坐标平面运动平台,由两个垂直放置的直线电机、三个可作相对运动的平台、两组限位光耦和原点光耦、两组光栅尺组成,工作平台,中间平台,下平台叠放并与基座相连,平台之间用气浮导轨连接起来,下平台与中间平台之间沿X方向相对...
基于双目机器视觉的球栅阵列半导体器件品质检测系统技术方案
一种基于双目机器视觉的球栅阵列半导体器件品质检测系统,由光学成像和图像采集两部分组成,被测球栅阵列半导体器件放置在载物台上,两个CCD摄像机分别设置在光学显微镜的正上方和被测器件侧面,每一个CCD摄像机配置一套光源,两个CCD摄像机多角...
利用种膜作籽晶液相外延生长铁电厚膜的方法技术
一种利用种膜作籽晶液相外延生长铁电厚膜的方法,首先按照通常铌镁酸铅-钛酸铅(PMNT)或铌锌酸铅-钛酸铅(PZNT)晶体生长采用的组分进行氧化物原料配料,然后把配好的粉料在玛瑙球磨罐中球磨并进行煅烧,最后将煅烧后的粉料与助熔剂氧化铅混合...
基于旋涂和键合实现微纳米图案转移的方法技术
一种基于旋涂和键合实现微纳米图案转移的方法,用于纳米技术领域。本发明首先加工母板及对母板表面进行处理,然后采用旋涂的方法在母板表面旋涂聚合物预聚体并固化,接着在固化的聚合物上键合基片并剥离母板,最后采用反应离子刻蚀除去凹处残留的聚合物便...
硅薄膜异质结太阳电池的制备方法技术
一种用于半导体技术领域的硅薄膜异质结太阳电池的制备方法,衬底清洗:采用半导体清洗工艺进行衬底的表面初清洗,再将衬底放在去离子水中用超声波清洗,用去离子水冲洗数次,氮气吹干;制备本征非晶硅层:用热丝化学汽相沉积技术制备本征非晶硅层,钨丝温...
芯片封装中的磁性材料底部填充方法技术
一种芯片封装中的磁性材料底部填充方法,采用的填充材料中,以磁性微粉材料部分代替SiO↓[2],在电磁扫描机构的一个扫描轴上安装一个电磁激励头,并将电磁激励头置于芯片的上方或者基底的下方,在滴胶填充过程中施加外部电磁力,激励电磁激励头始终...
倒装芯片凸点的选择性激光回流制备方法技术
一种倒装芯片凸点的选择性激光回流制备方法,将模板印刷法与选择性激光回流技术相结合制备倒装芯片的凸点,将金属模板置于芯片之上,将焊膏填入金属模板上的所有开孔,激光聚焦在金属模板开孔内,焊膏在激光作用下回流成金属凸点。在逐点制备倒装芯片上所...
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