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上海交通大学专利技术
上海交通大学共有42482项专利
透明导电薄膜和减反射薄膜喷涂装置及其方法制造方法及图纸
本发明包括喷涂装置和喷涂方法两部分。喷涂装置:雾化容器套在或半套在隔离容器内,隔离容器的底部设置一超声波振荡器,雾化容器内有配制好的溶液经超声波振荡器雾化后由载气携带定量通过与喷嘴联接定量输出,喷嘴设置在抽气柜内,喷嘴喷出的雾化溶液,均...
X光掩模板制造技术制造技术
一种X光掩模板制造技术,在双面氧化过的硅片上用氢氧化钾溶液从反面刻蚀硅,留下硅膜;在正面光刻图形,刻蚀去其中的二氧化硅;用二氧化硅作为掩膜,进行硅的深层刻蚀,留一定厚度的硅膜作为支撑层,即可获得用硅作为X光阻挡层和支撑层的新型X光掩模板...
太阳能光伏材料碳薄膜的制作方法技术
本发明碳膜沉积源用的靶材是高纯(99.999%)石墨靶,物理溅射沉积薄膜,氩气作溅射气源,或可掺入氢气作氢化,溅射气压在0.05~10Pa范围内,溅射时可选气态掺杂源作为掺杂剂。
上钉扎型钴铜磁自旋阀制造技术
一种上钉扎型钴铜磁自旋阀,采用磁控溅射并结合特殊的磁性层钉扎工艺,制备的磁自旋阀结构为Co/Cu/Co-CoO,制备时保持底层Co层厚度2.0nm固定不变,中间层Cu厚度在0.6~2.0nm之间,上钉扎层Co-CoO的前半段Co层厚度为...
铽镝铁棒材高频感应加热熔铸法制造技术
一种铽镝铁棒材高频感应加热熔铸法,采用一对由高频电源控制的上、下感应加热线圈,坩埚置于上感应线圈中,模具置于下感应线圈中,熔炼时,由高频电源控制上感应线圈对坩埚内的合金液加热熔化,控制下感应线圈对模具进行加热,实现铽镝铁棒材高频感应加热...
光电子多芯片组件中多处理单元的布局及划分方法技术
一种光电子多芯片组件中多处理单元的布局及划分方法,将用户互连网表输入转换为二维布局矩阵并用基因混合法处理,采用二维基因演化法对初始化二维种群进行交叉和变异操作,再对二维种群中的最佳个体进行反变换,生成逻辑布局图输出,实现从用户网表输入到...
数码阵列晶体管焊接电源制造技术
一种数码阵列晶体管焊接电源,主要包括三相降压整流滤波电路、2↑[a]×K晶体管阵列及信号反馈、控制等电路,功率晶体管阵列以2↑[a]×K数码阵列布置,每一个晶体管为一电子开关,各晶体管流过的电流呈几何级数关系,相互之间相位错开,构成不间...
二分旋转全组合材料合成方法技术
本发明涉及一种二分旋转全组合材料合成方法,采用二分、旋转操作制备掩膜组,第一枚掩膜一半通透而另一半遮蔽,称之为二分,第二枚掩膜由第一枚掩膜旋转90度而来,称之为旋转,第三枚掩膜又将第一枚掩膜的通透区和遮蔽区各分为两个相等部分,这两部分中...
大功率高居里温度压电陶瓷制造技术
一种大功率高居里温度压电陶瓷,综合镉铌锆钛酸铅(PCN)三元系和锰铌锆钛酸铅(PMN)三元系的特点,组成镉铌-锰铌-锆-钛酸铅(PCN-PMN-PZ-PT)四元系压电陶瓷,并添加CeO↓[2]进行改性。本发明制备的压电陶瓷具有较高的机械...
用于超声马达的压电陶瓷材料制造技术
一种用于超声马达的压电陶瓷材料,其特征在于采用锑铌-锰铌-锆-钛酸铅(PSN-PMN-PZ-PT)组成四元系压电陶瓷,通过在准同型相界附近调整锆钛比使组成位于四方相区及添加Sr↑[2+]对Pb↑[2+]进行同价取代来提高温度稳定性。本发...
纳米金属氧化线单电子晶体管制造技术
一种纳米金属氧化线单电子晶体管,采用超薄纳米金属氧化线作为单电子晶体管的沟道区,其厚度为3nm,宽度为1个电子局域长度ξ,长度为2~5个ξ,源、漏、栅的电极由Au膜或Al膜引出。在侧栅型结构中,栅电极位于沟道区的一侧,与沟道区之间的气隙...
纳米金属氧化线单电子存贮单元制造技术
一种纳米金属氧化线单电子存贮单元,采用超薄纳米金属氧化线作为单电子存贮单元的有源区,其厚度为3nm、宽度为1个电子局域长度ξ、长度为2~5个ξ,有源区与上层写线之间有SiO↓[2]绝缘层,源线和数据线位于有源区及SiO↓[2]绝缘层的两...
等离子体滤波器氮化铟半导体薄膜制造技术
一种等离子体滤波器氮化铟半导体薄膜属于半导体材料领域。本发明提供一种磁控溅射法生长的半导体氮化铟薄膜作为等离子体滤波器材料,薄膜中In元素和N元素的原子百分比为1∶1,具有较好的晶体质量,不需掺杂就能达到等离子体滤波器所需要的高电子浓度...
谐振腔增强的n型砷化镓远红外探测器的反射镜制造技术
一种谐振腔增强的n型砷化镓远红外探测器的反射镜属于光电探测器领域。本发明提供了一种采用分子束外延生长制备的远红外探测器的反射镜。顶部反射镜由探测器与空气形成的界面形成。底部反射镜由底部电极层和它下面的多周期的非掺杂/掺杂的砷化镓层共同组...
谐振腔增强的远红外探测器反射镜的制备方法技术
一种谐振腔增强的远红外探测器反射镜的制备方法属于光电探测器领域。方法步骤如下:选取与探测器材料相同的材料作为反射镜的材料;根据菲涅尔系数矩阵和德鲁得模型,通过数值计算得到没有谐振腔时探测器腔体内的光吸收率;用同样的方法计算谐振腔增强的探...
纳米碳基薄膜场发射压力传感器制造技术
一种纳米碳基薄膜场发射压力传感器属于微细加工和传感器技术领域。主要包括:电子发射阴极、阳极、绝缘隔离层、发射腔体、电极引线。电子发射阴极材料采用纳米碳基薄膜,电子发射阴极和阳极通过绝缘隔离层相连,在高真空环境下进行键合封装,在电子发射阴...
太阳电池封装胶层厚度可控的连续滴胶方法技术
一种太阳电池封装胶层厚度可控的连续滴胶方法,针对一定形状和尺寸的太阳电池,应用计算机进行机器人的滴胶轨迹编程,确定两行轨迹之间的距离及轨迹与电池的边距,然后将轨迹文件下载到三自由度直角坐标机器人的控制器内,同时结合上述参数范围针对不同的...
太阳电池片与抗辐照玻璃盖片的自动封装方法技术
一种太阳电池片与抗辐照玻璃盖片的自动封装方法,针对一定形状和尺寸的太阳电池,通过实验来选择玻璃盖片与太阳电池片之间封装的倾斜角度,应用计算机进行封装单元的运动轨迹编程,确定吸附抗辐照玻璃盖片的吸盘姿态,然后将运动轨迹文件和控制命令下载到...
一种晶体硅太阳电池的制作方法技术
一种高效低成本大面积晶体硅太阳电池工艺属于太阳能应用领域。本发明制备晶体硅太阳电池工艺按工艺线的生产顺序分为如下六个步骤:前道化学预处理;半导体PN结制作;电感偶合等离子刻蚀周边;淀积氮化硅薄膜;丝网印刷正、背面电极;正、背面电极金属化...
多层纳米透明导电膜及其制备方法技术
一种多层纳米透明导电膜及其制备方法属于纳米薄膜材料领域。本发明薄膜是电介质与金属层交替结构,两层电介质中间是金属层,其中电介质层是对称结构,或者非对称结构。本发明方法首先根据多层膜的特征矩阵计算公式、金属连续膜内的电子输运和等离子体共振...
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