本发明涉及一种太阳电池自动布贴系统，导向定位机构由三自由度导轨组成，布贴机构固定在导向定位机构的支撑梁上，由执行气缸、传感器、摆动气缸、连接体、基体、吸盘底座及吸盘组成，两执行气缸下方的传感器固定在连接体上，摆动气缸的输出轴通过连接体与...

一种基于纳米材料排布的纳米刻蚀方法，用于电子器件制造领域。本发明包括如下步骤：ａ．将单分散的无机纳米材料均匀排布在基底表面，形成纳米点、纳米线、纳米网状图形排列；ｂ．以上述纳米阵列和图形作为掩膜，采用反应离子刻蚀和离子束刻蚀工艺，进行纳...

一种测量控制领域的快插式防护型高响应热电偶，包括：铠装热电偶丝，热电偶本体，接线柱，防护套，密封胶、防护罩，铠装热电偶丝末端焊在接线柱上，铠装热电偶丝通过密封胶封固在热电偶本体上，其头部有防护罩保护，防护套套在热电偶本体上。所述的铠装热...

一种制备大面积、高度有序纳米硅量子点阵列的方法，用于半导体材料制备领域。首先利用电化学方法制备氧化铝模板，然后将这种具有高度有序孔洞结构的模板移植到半导体基片上，利用ＰＥＣＶＤ将钠米硅自然量子点通过模板的孔道生长在半导体基片上，最后利用...

一种提高ＣｏＳｉ↓［２］薄膜热稳定性的方法，用于材料制备技术领域。本发明通过共溅射制备具有ＣｏＳｉ↓［２］成分的非晶薄膜，并且通过共溅射在薄膜中添加元素Ｚｒ，利用Ｚｒ不溶于ＣｏＳｉ↓［２］薄膜的特点，采用退火使非晶薄膜晶化，非晶态薄膜结...

一种纳米技术与生物医学的交叉领域的荧光光谱可调的量子点纳米复合粒子的制备方法，在油包水型微乳体系中，将两种或两种以上荧光颜色可区分的量子点纳米粒子同时包埋到二氧化硅纳米粒子中，形成一种粒度在１０～１００ｎｍ之间的荧光光谱可调的量子点纳米...

一种真空负压纳米压印装置。用于纳米加工技术技术领域。本发明主体是一个真空负压工作室，真空负压工作室底部密封，顶部有圆形石英片窗口，而圆形石英片窗口与真空负压工作室通过两个小法兰、一个大法兰、环形橡胶柔性绞链圆片、环形橡胶柔性衬垫圆片密封...

一种用于纳米加工技术技术领域的真空负压纳米压印方法。具体步骤如下：（１）真空负压发生方法，通过真空负压工作室产生真空负压；（２）真空负压传递方法，真空负压工作室的真空达到负压；（３）真空负压柔性传递方法，通过柔性绞链密封连接；（４）压强...

一种用ｘ射线曝光制造不同深宽比的微机械构件的方法，用于微细加工技术领域，本发明由于ｘ射线的光强分布是呈高斯分布的，即ｘ射线束浓度是位置的函数，并且ｘ射线的剂量通过开普敦窗口的大小来精确控制，用ＰＭＭＡ作为光刻胶，用ｘ射线曝光，在相同的曝...

一种电脑散热用液体循环制冷系，用于制冷技术领域。本发明包括：微型泵，蒸发器，气液分离器，冷凝器，风扇和一个三通阀。微型泵通过管路和蒸发器的进液口相连，蒸发器的出口和气液分离器的进口连接在一起；气液分离器有两个出口，分离后的液体由下端的出...

一种光激活纳米氧化物半导体气敏传感器，由光激发器、微结构气敏芯片和定位台组成，其中光激发器由照明光源、会聚镜、单色仪和聚焦透镜组构成，以提供频率和强度可调的激发光束，照明光源发射出的光束经会聚镜聚焦，再通过单色仪成为频率可调的单色光，经...

一种微机电系统技术领域的基于微机电系统的力敏器件的制作方法。方法如下：双面氧化过的硅衬底基片的表面清洗处理；双面甩正胶、曝光与显影及刻蚀ＳｉＯ↓［２］；去光刻胶、单面刻蚀Ｓｉ；溅射ＦｅＣｕＮｂＳｉＢ薄膜；溅射Ｃｕ底层；甩正胶、曝光、显影...

一种属于传感器技术领域的基于微机电系统的巨磁阻抗效应磁敏器件，本发明由带ＳｉＯ↓［２］层的硅衬底、引脚、曲折状三明治结构软磁多层膜和偏置永磁体组成，引脚从多层膜两端的铜层引出，并设置在衬底上，整个曲折状三明治结构软磁多层膜位于带ＳｉＯ↓...

一种基于软磁多层膜巨磁阻抗效应的磁敏器件的制作方法，属于传感器技术领域。本发明采用薄膜技术和微机电系统（ＭＥＭＳ）技术，对双面氧化的硅片进行处理，得到双面套刻对准符号；采用薄膜技术和ＭＥＭＳ技术制备纳米晶成分的曲折状三明治结构软磁多层膜...

一种基于微机电系统的巨磁阻抗效应磁敏器件的制作方法。属于传感器技术领域。本发明采用微机电系统（ＭＥＭＳ）技术，对双面氧化的硅片进行处理，得到双面套刻对准符号，以便曝光时提高对准精度；采用准－ＬＩＧＡ光刻技术和微电镀技术制备曲折状三明治结...

一种基于软磁多层膜巨磁阻抗效应的磁敏器件，属于传感器技术领域。本发明由带ＳｉＯ↓［２］层的硅衬底、引脚、曲折状三明治结构软磁多层膜和偏置永磁体组成，引脚从多层膜两端的铜层引出，并设置在衬底上，整个曲折状三明治结构软磁多层膜位于带ＳｉＯ↓...

一种基于微机电系统的力敏器件。本发明由硅衬底、引脚、曲折状三明治结构软磁多层膜力敏器件和硅悬臂梁组成，引脚从力敏器件两端的铜层引出，并设置在带ＳｉＯ↓［２］层的硅悬臂梁上，曲折状三明治结构软磁多层膜力敏器件位于硅悬臂梁上，硅悬臂梁与硅衬...

一种用于电子器件制造技术领域的碳纳米管构成多沟道场效应晶体管的方法，具体步骤如下：将碳纳米管进行表面活化处理，对碳纳米管进行表面功能分子化学修饰或ＤＮＡ修饰以制成稳定分散的碳纳米管悬浮液，在表面含有绝缘层的硅片上采用光刻技术制作出电极对...

一种属于半导体光伏器件材料制备技术领域的半导体光伏器件级纳米硅薄膜的制备方法，本发明采用物理的方法－即溅射系统来制备光伏器件级纳米硅薄膜，靶材选用硅片，工作气体可以有氢气、氩气无毒且安全的气体，在低温条件下沉积硅薄膜，此外，通过更换不同...

一种基于回流技术减少纳米压印复制品表面粗糙度的方法，属于微纳米聚合物结构和器件、微机电技术领域。本发明通过增加回流工艺来改善聚合物表面光洁度，首先加工母板及对母板表面进行处理，然后用母板对聚合物实施热压或纳米压印得到聚合物复制品，最后用...