谐振腔增强的远红外探测器反射镜的制备方法技术

一种谐振腔增强的远红外探测器反射镜的制备方法属于光电探测器领域。方法步骤如下：选取与探测器材料相同的材料作为反射镜的材料；根据菲涅尔系数矩阵和德鲁得模型，通过数值计算得到没有谐振腔时探测器腔体内的光吸收率；用同样的方法计算谐振腔增强的探测器腔体内的光吸收率，并优化底部反射镜的结构和材料参数；根据优化得到的参数，通过分子束外延生长出谐振腔增强的探测器，并测量其反射和透射光谱，验证这种制备的可行性。本发明专利技术制备出的反射镜可以应用在远红外波段，并可以通过ＭＢＥ生长，生长质量得到保证，使得探测器腔体内的光吸收率大大增强，从而提高了探测器的量子效率。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及的是一种远红外探测器的反射镜的制备方法，特别是一种，属于光电探测器领域。
技术介绍
远红外探测器由于其在天体物理、红外物理和新材料探索上的广泛应用成为近些年研究的热点。近年来，新型同质结内发射远红外探测概念的提出和实现极大地丰富和发展了此领域。与传统探测器相比较，此种探测器有着独一无二的优越性，即它的截至波长可以任意调节。目前，砷化镓和硅同质结远红外探测器(HIWIP)已成功实现。量子效率是衡量探测器性能的一个重要指标，已实现的HIWIP在远红外波段的量子效率并不是十分理想，而且在截止波长附近量子效率明显偏小。因此，进一步大幅提高探测器的量子效率已成为当务之急。经文献检索发现，M.S.nlü和S.Strite在J.Appl.Phys.(应用物理杂志)第78卷(1995)607页报道，在光电探测器上施加由一对反射镜(顶部和底部反射镜)构成的谐振腔(RCE)结构能够显著地提高探测器的量子效率。它的原理是谐振腔结构使入射光在腔体中多次反射并经过吸收区域，从而被充分吸收。这种谐振腔结构已经在许多其他类型的光电探测器上得以实现，如肖特基光电二极管，p-i-n光电二极管，以及雪本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种谐振腔增强的远红外探测器反射镜的制备方法，其特征在于方法步骤如下： （１）选取与探测器材料相同的材料作为反射镜的材料；（２）根据菲涅尔系数矩阵和德鲁得模型，通过数值计算得到探测器腔体内的光吸收率；（３）用同样的方法计算有反射镜时的探测器腔体内的光吸收率，并优化底部反射镜的结构和材料参数；（４）根据优化得到的参数，通过分子束外延生长出谐振腔增强的探测器，并测量其反射和透射光谱，验证这种制备的可行性。

【技术特征摘要】
1.一种谐振腔增强的远红外探测器反射镜的制备方法，其特征在于方法步骤如下(1)选取与探测器材料相同的材料作为反射镜的材料；(2)根据菲涅尔系数矩阵和德鲁得模型，通过数值计算得到探测器腔体内的光吸收率；(3)用同样的方法计算有反射镜时的探测器腔体内的光吸收率，并优化底部反射镜的结构和材料参数；(4)根据优化得到的参数，通过分子束外延生长出谐振腔增强的探测器，并测量其反射和透射光谱，验证这种制备的可行性。2.根据权利要求1所述的这种谐振腔增强的远红外探测器反射镜的制备方法，其特征是以下对步骤(1)所作的进一步的限定针对具体的探测器，选取与探测器材料相同的材料作为反射镜的材料，了解有关计算探测器腔体内的光吸收率所必须的材料基本参数。3.根据权利要求1所述的这种谐振腔增强的远红外探测器反射镜的制...

【专利技术属性】
技术研发人员：张月蘅，沈文忠，骆海涛，
申请(专利权)人：上海交通大学，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]