本实用新型公开了一种张紧机构及机械手传动装置，张紧机构设置在传动件的两个自由端之间，包括安装板，安装板上设有分别与传动件的两个自由端连接的第一连接组件

本发明公开了一种晶圆状态检测方法

本发明公开了一种晶圆状态检测机构

本发明公开了一种天车轨道和天车搬运系统，轨道包括换向轨道，换向轨道设置有一个，包括内轨道和环绕内轨道设置的外轨道，天车在沿着换向轨道行驶时能转换行进方向

本发明公开了一种晶圆检测机构、检测方法以及晶圆传输装置，检测机构包括对射传感器，对射传感器用于检测旋转平台上是否有晶圆；探测传感器和背光源，对中装置，对中装置用于在晶圆中心位置偏移时将其位置对中；检测相机，检测相机用于拍摄旋转的晶圆边缘...

本实用新型公开了一种轨道装载机构，其中轨道装载治具用于轨道的装载，装载机构包括多个装载治具，每个装载治具均与轨道本体可拆卸连接，装载治具用于限定轨道本体和引导条的位置，每个装载治具均包括至少一对竖直端面，一对竖直端面分别与两个轨道本体的...

本发明公开了一种天车示教方法和示教系统，其中示教方法通过一个基准机台，验证所有天车的自身参数，得到第一示教参数。再以一台天车，验证所有工艺机台的参数差异，得到矫正参数集。再把其他天车的第一示教参数与矫正参数集相结合，达到所有天车与所有工...

本实用新型公开了一种线缆穿设机构，属于晶圆加工设备领域，套接在转轴上并能与转轴同步转动，线缆穿设机构上固定有线缆，线缆能从转轴中穿出，转轴转动时带动线缆穿设机构转动，以实现线缆的收卷和放卷。包括成圆筒形状的绕卷部和固定部，绕卷部和固定部...

本实用新型公开了一种天车轨道测量装置，包括夹紧组件和测量组件，夹紧组件可与天车轨道夹紧固定，测量组件与天车引导条处于同一水平面，通过测量组件测量天车轨道与天车引导条在水平方向上的距离；还包括固定座和微调组件，固定座用于安装测量组件，通过...

本发明公开了一种晶圆存储检测方法，在晶圆盒内的每一层支撑结构上安装对应的湿度传感器和压力传感器，在晶圆盒的排气口部位安装湿度传感器；先通过晶圆盒内每层支撑结构上对应的压力传感器检测该层支撑结构中晶圆的放置情况，再根据每层支撑结构中的晶圆...

本发明公开了天车搬运系统、搬运方法和可存储介质，其中搬运方法用于在岔道控制区控制天车行驶，通过获取的第一主路径和第二主路径上的天车驶入各自的入口采集位置时的驶入信号、驶出信号离开汇流路径的到达信号，来切换对应的第一主路径和第二主路径在入...

本发明公开了一种天车搬运装置，包括轨道和沿轨道行驶的天车，轨道包括至少两条，两条轨道通过道岔连通，道岔包括入口和出口，还包括通行机构和位置感应机构。通行机构设置于靠近道岔入口的轨道上，用于指示对应位置处的天车的通行状态，通行机构包括第一...

本发明公开了一种晶圆盒夹持装置，包括沿第一方向相对设置在天车上的两个夹持机构，每个夹持机构均包括在传动机构作用下能同步收叠或展开的第一限位部、第二限位部；当第一限位部、第二限位部展开时，第一限位部能沿第一方向对晶圆盒限位，第二限位部能沿...

本发明公开了一种轨道状态指示单元和天车行进装置，包括调光部、反射部和一个位置检测部，位置检测部包括位于调光部同一侧的发射部件和接收部件，反射部位于调光部远离位置检测部的一侧，其中调光部具有透光和遮光两种状态。当调光部为透光状态时，接收部...

本发明公开了一种天车提升装置，用于天车组件的升降，包括底座、升降机构和驱动机构，升降机构设置在底座上并带动设置在其上的天车组件升降，驱动机构设置在升降机构上并用于为升降机构的升降提供动力，其中升降机构包括一个升降节组和至少一根升降绳，升...

本发明公开了一种天车升降装置，实现天车本体和固定固定轨道对接。包括升降机构和对接机构，升降机构用于驱动对接机构升降，其中对接机构包括升降轨道，升降轨道与升降机构固定连接且能在升降机构带动下升降。限位组件，限位组件设置在升降轨道上，限位组...

本发明公开了一种晶圆检测机构及晶圆装载装置，所述晶圆检测机构用于检测晶圆盒内的晶圆，所述晶圆检测机构包括检测组件，所述检测组件包括第一对射传感器和第二对射传感器，所述第一对射传感器用于检测晶圆单片、晶圆左右倾斜和缺片的情况，所述第二对射...

本发明公开了一种天车示教装置和示教方法，用于天车释放晶圆盒位置的示教，其中示教装置包括示教板，示教板可拆卸连接在晶圆装载装置的装载平台上，示教板具有一个供晶圆盒放置的放置面，放置面上设置有可拆卸连接的定位组件，定位组件用于晶圆盒的定位。...

本发明公开了天车升降装置，用于天车本体与固定在空中的固定轨道的装配，包括固定框架；升降框架，其能沿固定框架上下移动。升降机构，被设置在固定框架内且能驱动升降框架移动，升降机构包括升降驱动组件和升降皮带，每个升降皮带均与升降框架形成一个闭...

本实用新型公开了一种片状物料分拣机，包括至少一个第一装载机构、至少一个第二装载机构和一个传输搬运部，其中第一装载机构和第二装载机构用于装载不同的片状物料盒，传输搬运部用于在第一装载机构和第二装载机构内取放和传输片状物料。第一装载机构上装...