天车搬运系统、搬运方法和可存储介质技术方案

本发明专利技术公开了天车搬运系统、搬运方法和可存储介质，其中搬运方法用于在岔道控制区控制天车行驶，通过获取的第一主路径和第二主路径上的天车驶入各自的入口采集位置时的驶入信号、驶出信号离开汇流路径的到达信号，来切换对应的第一主路径和第二主路径在入口采集位置处的通行状态，天车根据通行状态和行车命令在对应入口采集位置处停止或行进。通过高效的控制方法，在岔道控制区控制天车通行状态，避免天车在此处发生堵塞或碰撞。免天车在此处发生堵塞或碰撞。免天车在此处发生堵塞或碰撞。

【技术实现步骤摘要】
天车搬运系统、搬运方法和可存储介质


[0001]本专利技术涉及晶圆加工设备
，尤其涉及天车搬运系统、搬运方法和可存储介质。

技术介绍

[0002]晶圆在加工过程中，通常会使用到自动物料搬送系统（AMHS），自动物料搬送系统包括轨道和沿轨道行驶的天车，晶圆装载在晶圆盒内，晶圆盒由天车夹持以到达不同位置进行加工。因晶圆生产工艺的不同，自动物料搬送系统不仅需要在相似工艺的区域进行搬送，也需要在不同的工艺区域之间进行搬送，这使得轨道相互交错，产生复杂的交通控制问题。
[0003]轨道具有一个岔道控制区，岔道控制区的轨道会产生交叉，天车可在交叉处汇流或分流，为了天车在此处不会产生碰撞或追尾，天车需要在此处遵循一定的行进规则和等待逻辑。而天车之间的行进规则和等待逻辑，也就是天车的搬运方法，决定着交错轨道上的天车是否会发生堵塞或碰撞，以及AMHS的整体搬送效率。

技术实现思路

[0004]为克服上述缺点，本专利技术的目的在于提供一种天车搬运方法，在岔道控制区控制天车通行状态，避免天车在此处发生堵塞或碰撞。
[0005]为了达到以上目的，本专利技术采用的技术方案是：一种天车搬运方法，用于在岔道控制区控制天车行驶，所述岔道控制区包括第一主路径、第二主路径和汇流路径，所述汇流路径具有一个入口和一个出口，与所述入口连接的第一主路径上的天车可以通过汇流路径进入与出口连接的第二主路径，所述第一主路径和第二主路径进入入口前的位置为入口采集位置，所述第二主路径离开出口后的位置为出口采集位置。包括如下步骤:步骤一、获取所述第一主路径和第二主路径上的天车驶入各自的入口采集位置时的驶入信号，此时所述第一主路径和第二主路径在入口采集位置均为可通行状态；步骤二、根据获取的所述第一主路径和第二主路径上驶入信号的先后情况，切换第一主路径和第二主路径在入口采集位置处的通行状态；步骤三、接收所述第一主路径和第二主路径在入口采集位置处的通行状态和行车命令，并根据所述通行状态和行车命令控制对应入口采集位置处的天车的停止或行进；步骤四、获取所述第一主路径和第二主路径上的天车驶出各自的入口采集位置时的驶出信号，当接收到一个所述驶出信号时，切换对应第一主路径或第二主路径在入口采集位置为不可通行状态；步骤五、获取所述天车在到达第二主路径上的出口采集位置时的到达信号；步骤六、根据所述到达信号，控制所述第一主路径和第二主路径在入口采集位置处均切换为可通行状态。本专利技术的有益效果在于：本专利技术中，基于天车在第一主路径和第二主路径上驶入
入口采集位置的先后顺序，控制对应位置处的通行状态，以避免第一路径和第二路径上的天车在汇流是发生碰撞。同时根据天车在驶出入口采集位置处的驶出信号，控制对应的路径上的入口采集位置为不可通行状态，避免同一主路径上的车辆发生追尾。避免了天车在岔道控制区的堵塞和碰撞，提高了天车的搬运效率。
[0006]进一步来说，步骤二具体包括：当先接收到第一主路径或第二主路径上一个驶入信号时，保持其对应的第一主路径或第二主路径在入口采集位置为通行状态，并切换第一主路径或第二主路径中的另一个在入口采集位置为不可通行状态。也就是先到先行，后到等待，避免天车发生碰撞，同时减少了天车整体的等待时间，提高了天车搬运效率。
[0007]当同时接收到第一主路径和第二主路径上的驶入信号时，控制所述第二主路径的入口采集位置维持在可通行状态，控制所述第一主路径上的入口采集位置切换为不可通行状态。遵循“直行优先原则”，以防第一主路径上的天车通过汇流路径进入第二主路径与第二主路径上的天车发生碰撞。进一步来说，步骤三具体包括：当接收到第一主路径在入口采集位置处为可通行状态时，所述天车在第一主路径的入口采集位置处继续行进。
[0008]当接收到所述第一主路径在入口采集位置处为不可通行状态时，若所述第一主路径的入口采集位置处的天车接收到直行的行车命令，则所述天车继续沿第一主路径直行，若所述第一主路径的入口采集位置处的天车接收到转弯的行车命令，则所述天车在此处停止。因为当第一主路径在入口采集位置处为不可通行状态时，表明第二主路径在入口采集位置处为可通行状态，若第一主路径上的天车分流转向时，会与对第二主路径上的天车造成干扰，因此当第一主路径上的天车接收到的是转弯的行车命令时，天车在此处停止，等待第二主路径上的天车通行，避免碰撞。若第一主路径上的天车是直行时，不会对第二主路径上的天车汇流，因此可以直接继续行进。
[0009]进一步来说，所述步骤三还包括：当接收到所述第二主路径在入口采集位置处为可通行状态时，所述天车在第二主路径的入口采集位置处继续行进。当接收到所述第二主路径在入口采集位置处为不可通行状态时，所述天车在第二主路径的入口采集位置处停止。
[0010]因为第二主路径上的天车只能直行，因此天车在第二主路径在入口采集位置处根据通行状态停止或行进。
[0011]进一步来说，步骤六完成后，若再次同时接收到第一主路径和第二主路径上的驶入信号，则控制上次在入口采集位置处，没有天车通过的第一主路径或第二主路径上的天车通行。即依照“交替通行”原则，当天车再次同时到达第一主路径和第二主路径的入口采集位置处时，第一主路径和第二主路径上的天车交替通行，避免拥堵，保证通行效率。
[0012]进一步来说，当接收到天车优先通行指令时，遵循紧急天车先行原则，仅根据所述优先通行指令切换第一主路径和第二主路径在入口采集位置处的通行状态。
[0013]本专利技术还公开了一种天车搬运系统，采用上述的天车搬运方法，包括位置采集模块、岔道控制模块和天车控制模块。
[0014]所述位置采集模块包括入口采集单元和出口采集单元，其中所述入口采集单元用
于采集第一主路径和第二主路径上的天车驶入和驶出各自的入口采集位置处的位置信息，并产生驶入信号和驶出信号；所述出口采集单元用于采集天车在到达第二主路径上的出口采集位置时的位置信息，并产生到达信号。
[0015]所述岔道控制模块用于接收所述驶入信号、驶出信号和到达信号，并用于控制第一主路径或第二主路径在入口采集位置处的通行状态。
[0016]其中所述岔道控制模块根据获取的第一主路径和第二主路径上驶入信号的先后情况，切换第一主路径和第二主路径在入口采集位置处的通行状态；当岔道控制模块接收到驶出信号时，切换产生驶出信号的对应的第一主路径或第二主路径在入口采集位置为不可通行状态；当岔道控制模块接收到到达信号时，切换第一主路径和第二主路径在入口采集位置处为可通行状态。
[0017]天车控制模块，所述天车控制模块用于接收第一主路径和第二主路径在入口采集位置的通行状态和行车命令，并根据通行状态和行车命令控制天车停止或行进。
[0018]本专利技术中，基于位置采集模块采集的天车在第一主路径和第二主路径上驶入入口采集位置的先后顺序，控制对应位置处的通行状态，以避免第一路径和第二路径上的天车在汇流时发生碰撞。同时根据天车在驶出入口采集位置处的驶出信号，控制对应的路径上的入口采集位置为不可通行状态，避免同一主路径上的天车发本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种天车搬运方法，用于在岔道控制区控制天车行驶，所述岔道控制区包括第一主路径、第二主路径和汇流路径，所述汇流路径具有一个入口和一个出口，与所述入口连接的第一主路径上的天车可以通过汇流路径进入与出口连接的第二主路径，所述第一主路径和第二主路径进入入口前的位置为入口采集位置，所述第二主路径离开出口后的位置为出口采集位置，其特征在于：包括如下步骤:获取所述第一主路径和第二主路径上的天车驶入各自的入口采集位置时的驶入信号，此时所述第一主路径和第二主路径在入口采集位置均为可通行状态；根据获取的所述第一主路径和第二主路径上驶入信号的先后情况，切换第一主路径和第二主路径在入口采集位置处的通行状态；接收所述第一主路径和第二主路径在入口采集位置处的通行状态和行车命令，并根据所述通行状态和行车命令控制对应入口采集位置处的天车的停止或行进；获取所述第一主路径和第二主路径上的天车驶出各自的入口采集位置时的驶出信号，当接收到一个所述驶出信号时，切换对应第一主路径或第二主路径在入口采集位置为不可通行状态；获取所述天车在到达第二主路径上的出口采集位置时的到达信号；根据所述到达信号，控制所述第一主路径和第二主路径在入口采集位置处均切换为可通行状态。2.根据权利要求1所述的天车搬运方法，其特征在于：所述根据获取的第一主路径和第二主路径上驶入信号的先后情况，切换第一主路径和第二主路径在入口采集位置处的通行状态具体包括：当先接收到第一主路径或第二主路径上一个驶入信号时，保持其对应的第一主路径或第二主路径在入口采集位置为通行状态，并切换第一主路径或第二主路径中的另一个在入口采集位置为不可通行状态；当同时接收到第一主路径和第二主路径上的驶入信号时，控制所述第二主路径的入口采集位置维持在可通行状态，控制所述第一主路径上的入口采集位置切换为不可通行状态。3.根据权利要求1所述的天车搬运方法，其特征在于：接收所述第一主路径和第二主路径在入口采集位置处的通行状态和行车命令，并根据通行状态和行车命令控制对应入口采集位置处的天车的停止或行进具体包括：当接收到第一主路径在入口采集位置处为可通行状态时，所述天车在第一主路径的入口采集位置处继续行进；当接收到所述第一主路径在入口采集位置处为不可通行状态时，若所述第一主路径的入口采集位置处的天车接收到直行的行车命令，则所述天车继续沿第一主路径直行，若所述第一主路径的入口采集位置处的天车接收到转弯的行车命令，则所述天车在此处停止。4.根据权利要求1所述的天车搬运方法，其特征在于：接收所述第一主路径和第二主路径在入口采集位置处的通行状态和行车命令，并根据通行状态和行车命令控制对应入口采集位置处的天车的停止或行进还包括：当接收到所述第二主路径在入口采集位置处为可通行状态时，所述天车在第二主路径的入口采集位置处继续行进；
当接收到所述第二主路径在入口采集位置处为不可通行状态时，所述天车在第二主路径的入口采集位...

【专利技术属性】
技术研发人员：周道，张庆，周磊，宋宜兵，叶莹，
申请(专利权)人：上海果纳半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：