本发明专利技术公开了一种天车搬运装置，包括轨道和沿轨道行驶的天车，轨道包括至少两条，两条轨道通过道岔连通，道岔包括入口和出口，还包括通行机构和位置感应机构。通行机构设置于靠近道岔入口的轨道上，用于指示对应位置处的天车的通行状态，通行机构包括第一运动件，第一运动件能朝轨道内侧伸出或收回，天车包括第一传感器，第一传感器用于感应第一运动件的伸出或收回。位置感应机构包括驶入传感器组，驶入传感器组设置于通行机构和道岔入口之间的轨道上，天车还包括与其同步移动的运动组件，驶入传感器组能感应运动组件以判断天车在轨道上的位置。天车搬运装置能在道岔处对天车进行有效的通行导向，避免天车在轨道上发生碰撞或追尾。追尾。追尾。
【技术实现步骤摘要】
天车搬运装置
[0001]本专利技术设计用于晶圆加工的半导体制造物料自动传输系统
，尤其涉及天车搬运装置。
技术介绍
[0002]物料自动传输系统（AMHS）在晶圆加工过程中，用于搬运晶圆盒（FOUP）。AMHS中的核心部分为天车及对应的轨道，由于晶圆盒需要在不同轨道之间运动，因此轨道还会通过道岔连通。天车将晶圆盒从一个基台（Loadport）自动抓取并搬运到另一个基台，全程不需要人工的干预，避免了人体对洁净间的污染、同时大大提高了生产率。天车在行进过程中会经过若干道岔，道岔从功能上可分为“分流”和“合流“两大类，AMHS上有无数天车在同一道岔上合流或分流，如果没有天车的交通管控，容易造成天车之间的拥堵甚至彼此发生碰撞。
技术实现思路
[0003]为克服上述缺点，本专利技术的目的在于提供一种天车搬运装置，能在道岔处对天车进行有效的通行导向，避免天车在轨道上发生碰撞或追尾。
[0004]为了达到以上目的，本专利技术采用的技术方案是：一种天车搬运装置，包括轨道和沿轨道行驶的天车，所述轨道包括至少两条，两条所述轨道通过道岔连通，所述道岔包括入口和出口，还包括通行机构和位置感应机构。
[0005]所述通行机构设置于靠近道岔入口的轨道上，所述通行机构用于指示对应位置处的天车的通行状态，所述通行机构包括第一运动件，所述第一运动件能朝轨道内侧伸出或收回，所述天车包括第一传感器，所述第一传感器用于感应所述第一运动件的伸出或收回。
[0006]所述位置感应机构包括驶入传感器组，所述驶入传感器组设置于通行机构和道岔入口之间的轨道上，所述天车还包括与其同步移动的运动组件，所述驶入传感器组能感应所述运动组件以判断所述天车在轨道上的位置。
[0007]本专利技术的有益效果在于：一方面在轨道上设置有通行机构，可通过第一运动件和天车上的第一传感器的配合实现此位置处的天车行进状态的切换；另一方面，在轨道上设置有位于通行机构和道岔入口之间的驶入传感器组，驶入传感器组和天车上的运动组件配合，感应天车在轨道上的位置。位置感应机构和通行机构配合，在道岔处对天车进行通行导向，避免天车在轨道上发生碰撞或追尾。
[0008]进一步来说，每个驶入传感器组均包括第四传感器和第五传感器，所述第四传感器和第五传感器均为对射传感器，且所述第四传感器和第五传感器在水平面内沿垂直天车行进方向间隔设置，其中所述第四传感器设置在第五传感器靠近天车的一侧。
[0009]所述运动组件包括沿天车行进方向间隔设置且与其同步行进的第二运动件和第三运动件，所述第二运动件仅能遮挡住第四传感器的对射光线，此时所述天车进入驶入传感器组所在的感应区，所述第三运动件能同时遮挡第四传感器和第五传感器的对射光线，此时天车离开驶入传感器组所在的感应区。
[0010]通过间隔设置的第四传感器和第五传感器与不同长度的第二运动件和第三运动件配合，来感应天车是进入还是离开了驶入传感器组所在的感应区，就采集了天车在此处的两种位置信息。当天车仅遮挡靠近天车的一个第四传感器的对射光线时，表示天车前端到达该位置，此时天车进入驶入传感器组所在的感应区；当天车同时遮挡第四传感器和第五传感器的对射光线时，表示天车后端到达该位置，此时天车离开驶入传感器组所在的感应区时。
[0011]进一步来说，所述天车包括能沿轨道行走的行走头，在水平面内垂直所述天车进行的方向上，所述第三运动件延伸出行走头的距离大于第二运动件延伸出行走头的距离，且第三运动件延伸出行走头的端部到第二运动件延伸出行走头的端部，在垂直于天车行进方向上的垂直距离不小于第四传感器和第五传感器之间的间距。以此保证第二运动件仅能遮挡住第四传感器的对射光线，而第三运动件可同时遮挡第四传感器和第五传感器的对射光线。可设置第三运动件的长度大于第二运动件的长度。
[0012]进一步来说，所述驶入传感器组设置有三个，且三个所述驶入传感器组设置在与天车行进方向垂直的同一竖直面内。其中两个驶入传感器组用于采集天车沿轨道直行时，到达道岔所在区域的位置情况，另一个驶入传感器组用于采集天车沿道岔行驶分流时，到达道岔的位置情况。
[0013]进一步来说，所述位置感应机构还包括沿天车行进方向位于出口前方的驶出传感器组，所述驶出传感器组设置有三个且三个所述驶出传感器组设置在与天车行进方向垂直的同一竖直面内，所述驶出传感器组与驶入传感器组结构相同。其中两个驶出传感器组用于采集天车沿轨道直行时，驶出道岔所在区域的位置情况，另一个驶出传感组用于采集天车沿道岔行驶分流时，驶出道岔的位置情况。
[0014]进一步来说，所述第一运动件包括一个沿天车行驶方向延伸的遮光部，在所述遮光部遮挡第一传感器开始直至天车完全停止这一过程中，所述第一运动件始终遮挡第一传感器的对射光线。也就是遮光部的长度要满足在天车从开始刹车到完全停止这一过程中，遮光部始终位于第一传感器感应范围内。遮光部的长度限制，保证天车在停车的整个过程中，遮光部始终和第一传感器配合产生停车信号，避免天车没有完全停止前就发生了停车信号中断的情况。
[0015]进一步来说，所述第一运动件能在驱动组件驱动下沿直线移动。所述驱动组件包括驱动件、偏心件和转接板，所述驱动件固定在轨道上，所述驱动件能驱动偏心件偏心旋转，所述转接板套接在偏心件外并在偏心件推动下沿直线往复移动，所述转接板的一端与第一运动件固定连接。驱动组件通过偏心结构驱动第一运动件往复移动，第一运动件的移动距离由偏心件的偏心距离决定，无需额外限位，第一运动件在一个范围内往复移动。
[0016]进一步来说，所述偏心件为偏心轮，所述转接板上开设有一个与偏心件对应的导向槽，所述偏心件嵌设在导向槽内，并在转动过程中能与所述导向槽的侧壁抵靠以推动转接板移动。
[0017]进一步来说，所述导向槽为腰型槽，沿所述天车的行进方向延伸，所述偏心件能与导向槽的两个长边抵靠，且在转动过程中始终不会与所述导向槽的两个圆弧边抵靠。这样就保证偏心件转动过程中，就只与导向槽的长边抵靠，推动转接板仅沿一个方向做直线运动。
[0018]进一步来说，所述驱动组件还包括至少一个导向件，所述导向件为固定在轨道上的直线轴承和沿直线轴承滑动的导杆，所述导杆沿第一运动件的移动方向延伸，所述导杆和第一运动件固定连接。由于第一运动件具有一定的长度，仅仅依靠一个驱动组件驱动，稳定性差，因此设置导向件对第一运动件的移动提供导向。
[0019]进一步来说，所述通行机构还包括反馈组件，所述反馈组件用于检测第一运动件的伸出和收回状态。所述反馈组件包括沿第一运动件移动方向间隔设置的第二传感器、第三传感器和一个遮光片，所述第二传感器和第三传感器均固定在立架上，所述遮光片固定在转接板上并与转接板同步移动。
[0020]当转接板移动到第二传感器和第三传感器对应的位置时，产生反馈信号，表明通行机构已处于可通行或不可通行状态。
[0021]进一步来说，所述第一传感器设置有两个，两个所述第一传感器在水平面内垂直于所述天车的行进方向间隔设置。天车沿前后方向行进，两个第本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种天车搬运装置，包括轨道和沿轨道行驶的天车，所述轨道包括至少两条，两条所述轨道通过道岔连通，所述道岔包括入口和出口，其特征在于：还包括通行机构和位置感应机构；所述通行机构设置于靠近道岔入口的轨道上，所述通行机构用于指示对应位置处的天车的通行状态，所述通行机构包括第一运动件，所述第一运动件能朝轨道内侧伸出或收回，所述天车包括第一传感器，所述第一传感器用于感应所述第一运动件的伸出或收回；所述位置感应机构包括驶入传感器组，所述驶入传感器组设置于通行机构和道岔入口之间的轨道上，所述天车还包括与其同步行进的运动组件，所述驶入传感器组能感应所述运动组件以判断所述天车在轨道上的位置。2.根据权利要求1所述的天车搬运装置，其特征在于：每个驶入传感器组均包括第四传感器和第五传感器，所述第四传感器和第五传感器均为对射传感器，且所述第四传感器和第五传感器在水平面内沿垂直天车行进方向间隔设置，其中所述第四传感器设置在第五传感器靠近天车的一侧；所述运动组件包括沿天车行进方向间隔设置的第二运动件和第三运动件，所述第二运动件仅能遮挡住第四传感器的对射光线，所述第三运动件能同时遮挡第四传感器和第五传感器的对射光线。3.根据权利要求2所述的天车搬运装置，其特征在于：所述天车包括能沿轨道行走的行走头，在水平面内垂直所述天车行进的方向上，所述第三运动件延伸出行走头的距离大于第二运动件延伸出行走头的距离，且第三运动件延伸出行走头的端部到第二运动件延伸出行走头的端部，在垂直于天车行进方向上的垂直距离不小于第四传感器和第五传感器之间的间距。4.根据权利要求1所述的天车搬运装置，其特征在于：所述驶入传感器组设置有三个，且三个所述驶入传感器组设置在与天车行进方向垂直的同一竖直面内。5.根据权利要求1所述的天车搬运装置，其特征在于：所述位置感应机构还包括沿天车行进方向位于出口前方的驶出传感器组，所述驶出传感器组设置有三个且三个所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：周道，张庆，周磊，梁烁，叶莹，
申请(专利权)人：上海果纳半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。