本发明公开了一种可检测不同尺寸晶圆的检测机构，包括至少两个检测部件、切换装置和驱动装置。每个检测部件包括一对对射传感器，对射传感器用于检测晶圆，且每个检测部件对应检测不同尺寸的晶圆。驱动装置与切换装置连接，驱动装置在动作的不同的行程范围...

本发明公开了一种晶圆装载系统，包括门板解锁机构，门板解锁机构包括开门装置、映射装置、升降装置和横移装置，映射装置、开门装置和横移装置能在一个升降装置作用下同步上下移动。开门装置和映射装置在横移装置驱动下分别沿水平方向靠近或远离机架，开门...

本发明公开了机械手清洗装置、清洗方法及半导体设备，其中清洗装置包括壳体，壳体的腔体自上而下设置有采集区、检测区和清洁区，壳体上设置有分别与采集区、检测区和清洁区连通的开口。采集区设置有采集装置，采集装置用于采集机械手的形状轮廓。检测区设...

本发明公开了机械手的示教治具和示教方法，其中示教治具包括放置壳体和传感器装置，放置壳体内具有供晶圆放置的示教空间，机械手可带动晶圆从放置壳体外部伸入示教空间内。传感器装置固定在放置壳体上，传感器装置能对示教空间内的晶圆在水平面和垂直面上...

本发明公开了一种多规格晶圆盒转换装置，设置在装载平台上，装载平台上设有用以感应晶圆盒是否装载到位的感应机构。转换装置包括放置在装载平台上的底板，底板远离装载平台的一侧设有晶圆盒定位机构，底板朝向装载平台的一侧设有感应触发机构；当晶圆盒放...

本发明公开了一种晶圆装载装置，其包括用于与待对接的客户机台连接的安装板，与安装板连接的安装座，晶圆匣被放置于安装座上。安装座包括用于承载晶圆匣的安装底板，在安装底板的靠近晶圆匣的一侧还设置有相对设置的前挡块和后挡块、左挡块和右挡块、至少...

本发明公开了一种晶圆盒，包括盒体、门板及门板启闭机构，盒体的一侧设有开口，门板能在门板启闭机构的驱动下关闭或打开开口；盒体包括位于其侧面的环形侧板，环形侧板由侧板本体、过渡板及开口板围绕而成，侧板本体外侧壁横截面所在的圆与开口板外侧壁横...

本发明公开了晶圆传输盒，包括一侧开口的盒体，盒体限定形成一个主腔体。主腔体内部设置有用于晶圆存放的栅架，栅架将主腔体分隔成多个用于单个晶圆存放的晶圆插槽。盒体的开口处设置有固定在盒体上的开口板组，开口板组上开设有若干连通主腔体和外部空间...

本发明提供了一种晶圆传输系统及半导体设备，该晶圆传输系统包括缓存台，设置于缓存台上方的若干用于检测晶圆重量的压力检测单元，光电检测单元，以及拾取单元；拾取单元包括两个平行设置的转动式抓取板，转动式抓取板沿其延伸方向的至少一条侧边形成承托...

本实用新型公开了用于晶片载入台的晶片扫描机构，包括底板和与底板固定连接的水平导板，水平导板上滑动连接有两个水平滑板，水平滑板通过连杆组件与沿竖直面伸缩的驱动件连接，驱动件的输出轴伸出或收回时推动两个水平滑板相对或相向运动。两个水平滑板上...

本发明公开了一种用于晶圆装载机的晶圆装载盒解锁开门的系统，包括晶圆装载机的机架，在机架上开设交接口，且设置开门装置，开门装置包括取放组件、解锁组件和交接板，取放组件与交接板固定连接，交接板与交接口对应设置，同时交接板与晶圆装载盒的密封门...

本发明公开了一种气浮平台动态水平度检测方法，应用于晶圆传输系统，通过matlab分析第一片晶圆与第n+1片晶圆的坐标信息，根据第一片晶圆的位置与气浮平台达到动态稳定后的第n+1片晶圆的位置之间的偏移量α，抽象出几何模型，通过公式计算出气...

本发明公开了一种用于晶圆自动装载设备的晶圆检测装置，安装在机架背面，机架上开设有晶圆进出口；还包括对称设置在晶圆进出口两侧的竖向导轨，竖向导轨上滑动设置有伸摆组件，伸摆组件包括在竖向导条的导向下能伸入到晶圆进出口内以对晶圆进行检测的对射...

本发明公开了一种晶圆检测系统及检测方法，包括检测单元、位移单元、分析单元和计算单元，所述检测单元包括分别设置在所述晶圆第一方向两侧的信号发射模块和信号接收模块，所述检测单元将信号信息传递至计算单元，所述位移单元带动所述检测单元沿第二方向...

一种用于传送晶圆的机械手臂和传送装置，其中所述机械手臂包括用于放置晶圆的末端，所述末端为圆环状。由于末端呈圆环状，当晶圆放置在末端上时，使得末端与晶圆底部一圈能均匀的接触，增大晶圆的受力面积，使得晶圆的受力较为均匀，防止晶圆破片。防止晶...

本发明公开了一种机械臂水平度动态调节方法，适用于回转式机械臂，回转式机械臂包括底座，底座的上端设有多个首尾相连的且能独立转动的关节臂，关节臂远离其转动轴心线的一端为工作端。包括底座调平、关节臂调平；其中，关节臂调平包括：S21、将水平仪...

一种晶圆盒，包括：盒体、门体和气体保压装置，其中所述盒体的一侧具有开口，所述盒体内具有容纳空腔，所述容纳空腔中用于放置晶圆并容纳保护气体；所述门体用于封闭所述盒体的开口；所述气体保压装置位于所述盒体的外侧表面，用于在所述门体将所述盒体密...

本发明提供了一种半导体设备的载入装置以及半导体设备，该半导体设备的载入装置包括：载台，用于承载配置有第一活动开口的电子元件存储盒；与电子元件存储盒相吸附的片库接口板，片库接口板配置有与第一活动开口相对的第二活动开口；以及，布置于半导体设...

本发明提供了一种半导体设备，包括：半导体设备前端模块，真空传送装置，以及至少一个反应腔体；所述半导体设备前端模块堆叠设置于真空传送装置的上方并形成在垂直方向上的晶圆输送通道，且真空传送装置横向连接所述反应腔体。在本发明中，将半导体设备前...

本发明公开了一种搬运机器人，包括依次转动连接的底座、下臂和上臂，在上臂上转动设置执行机构，执行机构的驱动模组内部设置线束，同时线束能分别延伸至下手腕和上手腕的内部空间，并通过线束分别连接下末端执行器和上末端执行器的电子元器件。通过驱动模...