本发明专利技术公开了一种天车提升装置，用于天车组件的升降，包括底座、升降机构和驱动机构，升降机构设置在底座上并带动设置在其上的天车组件升降，驱动机构设置在升降机构上并用于为升降机构的升降提供动力，其中升降机构包括一个升降节组和至少一根升降绳，升降绳在移动过程中，升降节组能实现竖直方向的伸缩。驱动机构包括缠绕轴和单向组件，升降绳的一端固定在缠绕轴上，缠绕轴在沿轴线转动过程中能收卷或放卷升降绳进而实现升降节组的伸缩，单向组件用于限定缠绕轴在转动过程中仅能进行单向旋转。采用纯手动的机械结构，实现天车组件的省力升降操作，结构简单，成本低。成本低。成本低。
【技术实现步骤摘要】
一种天车提升装置
[0001]本专利技术涉及晶圆加工设备
，尤其涉及一种天车提升装置。
技术介绍
[0002]天车（OHT）是晶圆盒搬运的重要设备，天车能夹取晶圆盒并沿着固定在空中的固定导轨移动，以将晶圆盒搬运到不同位置的晶圆加工设备或晶圆装载台上。天车一般在地面上完成组装，当组装完成后，需要把天车提升至半空中并安装在半空中的固定轨道上，或者天车需要维护或修理时，需要把天车从固定轨道上下降至地面。
[0003]目前，很多对天车进行升降的设备为自动化设备，采用自动化的电机或气缸等驱动部件驱动天车升降。但自动化的设备一方面成本较高，维修不便，另一方面自动化设备由于体积和重量较大，通常被固定在指定位置，只适应于指定位置操作，其灵活移动性较低。
技术实现思路
[0004]为克服上述缺点，本专利技术的目的在于提供一种天车提升装置，采用纯手动的机械结构，实现天车组件的省力升降操作，结构简单，成本低。
[0005]为了达到以上目的，本专利技术采用的技术方案是：一种天车提升装置，用于天车组件的升降，包括底座、升降机构和驱动机构，所述升降机构设置在底座上并带动设置在其上的天车组件升降，所述驱动机构设置在升降机构上并用于为升降机构的升降提供动力。
[0006]所述升降机构包括一个升降节组和至少一根升降绳，所述升降绳在移动过程中，升降节组能实现竖直方向的伸缩。所述驱动机构包括缠绕轴和单向组件，所述升降绳的一端固定在缠绕轴上，所述缠绕轴在沿轴线转动过程中能收卷或放卷升降绳进而实现升降节组的伸缩，所述单向组件用于限定缠绕轴在转动过程中仅能进行单向旋转。
[0007]所述单向组件包括至少一个单向限位齿、一个单向施力组和与单向限位齿对应设置齿轮组，所述齿轮组与缠绕轴连接且用于驱动缠绕轴转动，所述单向限位齿能在外力作用下沿自身轴线转动并能限定所述齿轮组的转动方向；所述单向限位齿包括至少两个沿周向分布且间隔设置的限位齿牙组，所述单向限位齿能在外力作用下沿自身轴线转动，来切换其中两个所述限位齿牙组分别与所述齿轮组上两个不同位置处的齿牙啮合，当一个所述限位齿牙组与齿轮组啮合时，所述单向限位齿在单向施力组限定下仅能单向摆动至限位齿牙组脱离齿轮组的齿牙，且所述单向施力组能拉动单向限位齿复位。
[0008]本专利技术的有益效果在于：一方面，升降机构采用升降节组和升降绳，仅需一根升降绳就可实现升降节组的伸缩，实现天车组件的快速升降。另一方面，驱动机构设置一个单向组件，采用齿轮和啮合机构和单向施力组的配合，限定了缠绕轴仅能进行单向转动，避免外力撤销时，缠绕轴突然反转造成天车组件坠落，大大提高了升降安全性。
[0009]进一步来说，所述缠绕轴转动连接在两个立板之间，两个所述立板之间还转动连接有与缠绕轴平行设置的轴杆，所述单向限位齿套接在轴杆上并与轴杆同步转动。所述齿
轮组包括套接在缠绕轴上的大齿轮，所述限位齿牙组能和大齿轮的齿牙啮合，所述缠绕轴上固定有能驱动其转动的手柄，所述单向施力组位于一个立板外侧并能限定轴杆仅能在一个较小范围内往复转动。
[0010]此时单向限位齿和大齿轮直接啮合，限定大齿轮的转动方向，进而限定缠绕轴的转动方向。直接驱动手柄，转动缠绕轴，实现升降绳的收卷和放卷。
[0011]进一步来说，所述缠绕轴转动连接在两个立板之间，两个所述立板之间还转动连接有与缠绕轴平行设置的轴杆，所述单向限位齿套接在轴杆上并与轴杆同步转动。所述齿轮组包括直径不同的大齿轮和小齿轮，所述大齿轮套接在缠绕轴与其同步转动，所述小齿轮位于大齿轮和单向限位齿之间，所述限位齿牙组能和小齿轮的齿牙啮合，所述小齿轮套接在转动连接在两个立板之间的驱动轴上，所述驱动轴上固定有能驱动其转动的手柄，所述单向施力组位于一个立板外侧并能限定轴杆仅能在一个较小范围内往复转动。
[0012]此时，手柄驱动驱动轴转动，小齿轮同步转动，通过小齿轮带动大齿轮转动（也就是缠绕轴转动），通过大齿轮和小齿轮的传动比，更加省力，而单向限位齿通过限定小齿轮的转动方向，进而限定大齿轮的转动方向（也就是缠绕轴的转动方向）。
[0013]进一步来说，所述单向施力组包括弹簧，所述弹簧的一端与立板转动连接，另一端偏心连接在轴杆上并与轴杆同步转动，弹簧与轴杆的连接处偏心设置在轴杆上，所述弹簧在限位齿牙组和齿轮组上的齿牙啮合时仅能进行持续拉伸，以使此时的所述轴杆仅能单向转动。利用弹簧的弹力，限定摆片的摆动范围，也就是单向限位齿的转动角度。
[0014]进一步来说，所述单向施力组还包括摆片和吸附件，所述摆片固定在轴杆的一个端部且能和轴杆同步转动，所述吸附件固定在立板上且能吸附摆片，所述吸附件固定在立板上且能吸附摆片，所述弹簧的一端套接在与摆片固定连接的固定杆一上且能绕固定杆一转动，所述固定杆一固定在轴杆上且固定杆一的轴线与轴杆的轴线不共线，另一端套接在与所述立板固定连接的固定杆二上且能绕固定杆二转动，所述轴杆位于固定杆二和吸附件之间。所述弹簧为拉伸弹簧，当所述摆片摆动到固定杆二和吸附件之间时，所述弹簧由于自身的压缩状态限定了摆片的摆动方向；当所述固定杆一、固定杆二和吸附件的轴线位于同一个面上时，所述摆片正处于吸附件的端部的一侧且被吸附件吸住，此时所述弹簧处于拉伸状态。
[0015]进一步来说，所述固定杆一位于轴杆的轴线的一侧，且所述固定杆一和轴杆的轴线均经过摆片的对称中心线，所述固定杆二、轴杆和吸附件的轴线位于同一个面上。当外力驱动轴杆转动，直至单向限位齿的一个单限位齿牙组与小齿轮轴线偏上的齿啮合，撤销外力，此时固定杆二的轴线与轴杆轴线的轴线之间的垂直连线、固定杆一的轴线与轴杆轴线的轴线之间的垂直连线和弹簧的轴线（也就是固定杆二的轴线和固定杆一的轴线之间的垂直连线）之间构成一个三角形，此时弹簧由最大拉伸状态变为自然状态或小幅拉伸状态，由于弹簧的限定，此时单向限位齿无法再逆时针旋转或只能逆时针旋转一个微小的幅度。
[0016]进一步来说，所述弹簧为拉伸弹簧，当所述固定杆一、固定杆二和吸附件的轴线位于同一个面上时，所述摆片正处于吸附件的端部的一侧且被吸附件吸住，此时所述弹簧处于拉伸状态。此时单向限位齿的两个限位齿牙组基本保持竖直状态，两侧限位齿牙组与小齿轮均不接触，弹簧拉伸至最大，此状态为死点状态，此时小齿轮可以在顺时针和逆时针方向随意转动，也就是缠绕轴可以进行正转和反转。
[0017]进一步来说，所述驱动机构还包括一个能限定手柄转动的限位组件，所述限位组件包括一个固定座、一个摆杆、限位件和与手柄对应设置的限位辊，所述固定座位于立板下方且和固定节固定连接，所述摆杆能沿固定座上下摆动，所述限位件用于固定摆杆和固定座，限位辊与摆杆同步摆动并能摆动到和手柄抵靠的位置。限位组件提高安全性，防止单向限位齿和齿轮组之间打滑造成天车组件坠落，也减少对单向限位齿和齿轮组的损坏。
[0018]进一步来说，所述升降节组包括一个固定节和多个能上下移动的升降节，所述固定节固定在底座上，且所述驱动机构设置在固定节远离升降节的一侧，所述天车组件固定在远离固定节的一个本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种天车提升装置，用于天车组件的升降，包括底座、升降机构和驱动机构，所述升降机构设置在底座上并带动设置在其上的天车组件升降，所述驱动机构设置在升降机构上并用于为升降机构的升降提供动力，其特征在于：其中所述升降机构包括一个升降节组和至少一根升降绳，所述升降绳在移动过程中，所述升降节组能实现竖直方向的伸缩；所述驱动机构包括缠绕轴和单向组件，所述升降绳的一端固定在缠绕轴上，所述缠绕轴在沿轴线转动过程中能收卷或放卷升降绳进而实现升降节组的伸缩，所述单向组件用于限定缠绕轴在转动过程中仅能进行单向旋转；所述单向组件包括至少一个单向限位齿、一个单向施力组和与单向限位齿对应设置齿轮组，所述齿轮组与缠绕轴连接且用于驱动缠绕轴转动，所述单向限位齿能在外力作用下沿自身轴线转动并能限定所述齿轮组的转动方向；所述单向限位齿包括至少两个沿周向分布且间隔设置的限位齿牙组，所述单向限位齿能在外力作用下沿自身轴线转动，来切换其中两个所述限位齿牙组分别与所述齿轮组上两个不同位置处的齿牙啮合，当一个所述限位齿牙组与齿轮组啮合时，所述单向限位齿在单向施力组限定下仅能单向摆动至限位齿牙组脱离齿轮组的齿牙，且所述单向施力组能拉动单向限位齿复位。2.根据权利要求1所述的天车提升装置，其特征在于：所述缠绕轴转动连接在两个立板之间，两个所述立板之间还转动连接有与缠绕轴平行设置的轴杆，所述单向限位齿套接在轴杆上并与轴杆同步转动；所述齿轮组包括套接在缠绕轴上的大齿轮，所述限位齿牙组能和大齿轮的齿牙啮合，所述缠绕轴上固定有能驱动其转动的手柄，所述单向施力组位于一个立板外侧并能限定轴杆仅能往复转动。3.根据权利要求1所述的天车提升装置，其特征在于：所述缠绕轴转动连接在两个立板之间，两个所述立板之间还转动连接有与缠绕轴平行设置的轴杆，所述单向限位齿套接在轴杆上并与轴杆同步转动；所述齿轮组包括直径不同的大齿轮和小齿轮，所述大齿轮套接在缠绕轴与其同步转动，所述小齿轮位于大齿轮和单向限位齿之间，所述限位齿牙组能和小齿轮的齿牙啮合，所述小齿轮套接在转动连接在两个立板之间的驱动轴上，所述驱动轴上固定有能驱动其转动的手柄，所述单向施力组位于一个立板外侧并能限定轴杆仅能往复转动。4.根据权利要求2或3所述的天车提升装置，其特征在于：所述单向施力组包括弹簧，所述弹簧的一端与立板转动连接，另一端能绕轴杆转动且所述弹簧能在轴杆带动下摆动，所述弹簧与轴杆的连接处偏心设置在轴杆上，所述弹簧在限位齿牙组和齿轮组上的齿牙啮合时仅能进行持续拉伸，以使此时的所述轴杆仅能单向转动。5.根据权利要求4所述的天车提升装置，其特征在于：所述单向施力组还包括摆片和吸附件，所述摆片固定在轴杆的一个端部且能沿轴杆的轴线摆动，所述吸附件固定在立板上且能吸附摆片，所述弹簧的一端套接...
【专利技术属性】
技术研发人员：王飞，周道，张庆，梁烁，周磊，叶莹，
申请(专利权)人：上海果纳半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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