晶圆盒夹持装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种晶圆盒夹持装置，包括沿第一方向相对设置在天车上的两个夹持机构，每个夹持机构均包括在传动机构作用下能同步收叠或展开的第一限位部、第二限位部；当第一限位部、第二限位部展开时，第一限位部能沿第一方向对晶圆盒限位，第二限位部能沿第二方向对晶圆盒限位，且第一方向、第二方向沿水平方向垂直布设，第一方向为晶圆盒长度方向；其中，第一限位部包括与传动机构连接的联动部，联动部能在传动机构作用下收叠或展开；联动部上设有能沿第一方向浮动的浮动机构，浮动机构上设有能抵接到晶圆盒上的限位件，以实现第一方向上对晶圆盒进行缓冲。本发明专利技术的晶圆盒夹持装置能有效抑制晶圆盒在搬运过程中的晃动，提高晶圆盒搬运的稳定性。盒搬运的稳定性。盒搬运的稳定性。

【技术实现步骤摘要】
晶圆盒夹持装置


[0001]本专利技术涉及半导体传输系统
，尤其涉及一种晶圆盒夹持装置。

技术介绍

[0002]半导体制造过程中通常通过天车搬运系统来传输晶圆盒，采用晶圆盒运载晶圆的方式能高效完成晶圆的传输、加工和处理。现有技术中，在天车取放晶圆盒的过程中，首先天车沿轨道行进到一个工位上，通过天车的抓取机构抓取住该工位上的晶圆盒（抓取位置为晶圆盒顶端的凸台处），然后抓取机构向上提升以将晶圆盒自该工位处取出；接着天车沿着轨道将晶圆盒搬运至下一个工位的上方，抓取机构下降并将晶圆盒释放至下一个工位上，至此天车完成对晶圆盒的搬运动作。而由于抓取机构仅抓取住晶圆盒的顶端，晶圆盒的其他部位处于悬空状态，因此，在提升、搬运、下降的过程中，晶圆盒极易出现晃动甚至摇摆的现象，进而导致晶圆盒内的晶圆受损。

技术实现思路

[0003]为克服上述缺点，本专利技术的目的在于提供一种晶圆盒夹持装置，能有效抑制晶圆盒在搬运过程中的晃动，提高晶圆盒搬运的稳定性。
[0004]为了达到以上目的，本专利技术采用的技术方案是：一种晶圆盒夹持装置，包括沿第一方向相对设置在天车上的两个夹持机构，每个夹持机构均包括在传动机构作用下能同步收叠或展开的第一限位部、第二限位部；当第一限位部、第二限位部展开时，第一限位部能沿第一方向对晶圆盒限位，第二限位部能沿第二方向对晶圆盒限位，且第一方向、第二方向沿水平方向垂直布设，第一方向为晶圆盒长度方向；其中，第一限位部包括与传动机构连接的联动部，联动部能在传动机构作用下收叠或展开；且联动部上设有能沿第一方向浮动的浮动机构，浮动机构上设有能抵接到晶圆盒上的限位件，以实现第一方向上对晶圆盒进行缓冲。
[0005]本专利技术的有益效果在于：1、通过第一限位部、第二限位部的配合能对晶圆盒进行水平方向的双向限位，进而能有效抑制晶圆盒水平方向的晃动，提高晶圆盒在搬运过程中的稳定性；通过传动机构实现第一限位部、第二限位部的同步动作，在节约驱动源的同时能提高双向限位的同步性；2、将第一限位部、第二限位部设计为收叠、展开的状态，能适应天车行进过程中对晶圆盒的取放：当天车未夹持晶圆盒时，第一限位部、第二限位部呈收叠状态，以为天车向晶圆盒方向的行进提供让位空间，避免天车行进过程中第一限位部、第二限位部直接碰撞到晶圆盒导致的天车行进受阻的问题；而当天车行进至夹持晶圆盒的位置时，再将第一限位部、第二限位部展开，以对晶圆盒进行限位，保证后续搬运过程中的稳定性；3、在第一限位部中，通过联动部的设置能将传动机构的传动力传递给第一限位部，以实现第一限位部的收叠或展开；而在联动部上设置沿第一方向浮动的浮动机构使得限位件能浮动抵接在晶圆盒上，以缓冲晶圆盒搬运过程中沿第一方向的晃动。
[0006]进一步来说，传动机构包括沿第二方向相对设置在基板上的两组锥齿轮组件，两组锥齿轮组件通过联动部连接，且其中一组锥齿轮组件与驱动其运行的驱动件连接。通过联动部与两组锥齿轮组件的连接实现了两组锥齿轮组件的同步传动。
[0007]进一步来说，联动部包括联动板、两个摆杆，两个摆杆与联动板共同形成连杆机构；联动板的两端分别与两个摆杆铰接，且摆杆与锥齿轮组件一一对应设置，摆杆与对应的锥齿轮组件固接并能在对应的锥齿轮组件的作用下摆动。
[0008]当驱动件驱动对应的一组锥齿轮组件运行时，锥齿轮组件能带动对应的摆杆摆动，摆杆随即对联动板施力，而由于联动板的两端分别与两个摆杆铰接，因而在一个摆杆对联动板的一端施力时，联动板的另一端能对另一个摆杆施力，进而使得与另一个摆杆连接的另一个锥齿轮组件运行。通过两个摆杆与两个锥齿轮组件的配合、以及两个摆杆与联动板的配合形成连杆机构，从而实现了联动部的收叠和展开动作。
[0009]进一步来说，其中一个摆杆与基板之间设有角度限位机构，角度限位机构包括遮光片和两个对射传感器，遮光片固接在摆杆上并能随摆杆同步转动；两个对射传感器沿遮光片转动方向上间隔设置；在遮光片转动的过程中，遮光片能遮挡住任一对射传感器的对射光线。
[0010]通过角度限位机构与传动机构的配合能对第一限位部及第二限位部的展开位置进行限定。在设置时，可将遮光片遮挡住两个对射传感器对射光线的位置分别限定为第一限位部处于收叠或展开状态。即当第一限位部处于收叠状态时，遮光片能遮挡住一个对射传感器的对射光线；当第一限位部在传动机构作用下移动至展开状态时，遮光片能随即向另一个对射传感器的方向移动，直至遮光片移动至遮挡住另一个对射传感器的对射光线。由此，通过遮光片对两个对射传感器的对射信号的遮挡能为驱动件提供启动或停止的信号，进而使得第一限位部及第二限位部能移动至预设的展开位置或收叠位置。
[0011]进一步来说，两个对射传感器呈90
°
垂直布设，以限定摆杆的最大摆动角度为90
°
，对应的第二限位部的最大展开角度也为90
°
。
[0012]进一步来说，基板上设有垫高板，垫高板的上端安装有对射传感器。垫高板与基板之间限定形成用以容置摆杆转动的让位间隙。通过垫高板将对射传感器垫高，并通过让位间隙的设置能为摆杆的转动进行让位，避免摆杆在转动过程中触碰到对射传感器。
[0013]进一步来说，浮动机构包括固定板、导向杆、滑块、弹簧，固定板固接在联动板上，导向杆沿第一方向穿设在固定板上，其靠近晶圆盒的一端设有能沿联动板移动的滑块，滑块上设有限位件；弹簧套装在导向杆上，其两端分别抵接在固定板、滑块上；当第一限位部展开时，弹簧处于压缩状态。
[0014]当第一限位部处于收叠状态时，弹簧处于自然状态；第一限位部展开的过程中（摆杆的摆动角度小于90
°
，即第一限位部未完全展开），限位件能接触到晶圆盒的侧面；当第一限位部继续展开时，因晶圆盒的限位，限位件能带动滑块向靠近固定板的方向移动，弹簧被压缩，直至摆杆转动角度达到90
°
，此时，第一限位部完全展开，限位件能在弹簧作用下压紧在晶圆盒上，以保证对晶圆盒的夹持。
[0015]进一步来说，限位件包括安装在滑块上的滚轮，滚轮靠近晶圆盒的一端凸出滑块。由于在限位件抵接到晶圆盒上至限位件压紧在晶圆盒上的过程中，限位件始终与晶圆盒接触并会在晶圆盒上移动，因此，通过滚轮与晶圆盒的限位抵接能减少限位件移动导致的对
晶圆盒表面的摩擦损伤。
[0016]进一步来说，锥齿轮组件包括安装基座、主动锥齿轮、从动锥齿轮；主动锥齿轮、从动锥齿轮垂直布设并啮合传动；基板上设有与主动锥齿轮同轴连接的第一输出轴；安装基座固接在基板上，其上设有与从动锥齿轮同轴连接的第二输出轴；第一输出轴、第二输出轴分别与第一限位部、第二限位部连接。
[0017]当主动锥齿轮在驱动件的作用下转动时，第一输出轴能同步转动，进而带动第一限位部运行；且由于主动锥齿轮与从动锥齿轮的啮合传动，从动锥齿轮随即转动，进而带动第二输出轴转动，并带动第二限位部运行；通过锥齿轮组件的设置实现了两个方向上的第一输出轴、第二输出轴的同步转动，进而带动两个方向上的第一限位部、本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆盒夹持装置，其特征在于：包括沿第一方向相对设置在天车上的两个夹持机构，每个所述夹持机构均包括在传动机构作用下能同步收叠或展开的第一限位部、第二限位部；当所述第一限位部、第二限位部展开时，所述第一限位部能沿第一方向对晶圆盒限位，所述第二限位部能沿第二方向对晶圆盒限位，且所述第一方向、第二方向沿水平方向垂直布设，所述第一方向为晶圆盒长度方向；其中，所述第一限位部包括与传动机构连接的联动部，所述联动部能在传动机构作用下收叠或展开；且所述联动部上设有能沿第一方向浮动的浮动机构，所述浮动机构上设有能抵接到所述晶圆盒上的限位件，以实现第一方向上对晶圆盒进行缓冲。2.根据权利要求1所述的晶圆盒夹持装置，其特征在于：所述传动机构包括沿第二方向相对设置在基板上的两组锥齿轮组件，两组所述锥齿轮组件通过所述联动部连接，且其中一组所述锥齿轮组件与驱动其运行的驱动件连接。3.根据权利要求2所述的晶圆盒夹持装置，其特征在于：所述联动部包括联动板、两个摆杆，两个所述摆杆与所述联动板共同形成连杆机构；所述联动板的两端分别与两个所述摆杆铰接，且所述摆杆与所述锥齿轮组件一一对应设置，所述摆杆与对应的所述锥齿轮组件固接并能在对应的所述锥齿轮组件的作用下摆动。4.根据权利要求3所述的晶圆盒夹持装置，其特征在于：其中一个所述摆杆与所述基板之间设有角度限位机构，所述角度限位机构包括遮光片和两个对射传感器，所述遮光片固接在所述摆杆上并能随所述摆杆同步转动；两个所述对射传感器沿所述遮光片转动方向上间隔设置；在所述遮光片转动的过程中，所述遮光片能遮挡住任一所述对射传感器的对射光线。5.根据权利要求4所述的晶圆盒夹持装置，其特征在于：两个所述对射传感器呈90
°
垂直布设。6.根据权利要求4...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁烁，张庆，周磊，周道，叶莹，
申请(专利权)人：上海果纳半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：