一种晶圆水平式去胶机的固定机构制造技术

本实用新型专利技术属于去胶机技术领域，具体的说是一种晶圆水平式去胶机的固定机构，包括底座；所述底座的顶部固定连接有工作台；所述工作台顶部的两侧均固定连接有挡板；两个所述挡板相对的一侧且位于工作台的顶部开设有工作腔；所述工作腔的内部设有固定组件；所述固定组件包括放置台；所述放置台的底部固定连接有支撑柱；所述支撑柱的底端与工作台的顶部固定连接；所述放置台顶部的两侧均固定连接有安装柱；通过上卡环、下卡环与挤压圆块的结构设计，实现了固定的功能，解决了需要往复将固定后的物品放入去胶机，操作步骤繁琐，费时费力，相应的去胶效率还有待提升的问题，方便调整去胶位置，提高了在去胶时固定的效率。提高了在去胶时固定的效率。提高了在去胶时固定的效率。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆水平式去胶机的固定机构


[0001]本技术涉及去胶机
，具体是一种晶圆水平式去胶机的固定机构。

技术介绍

[0002]去胶机是一种用于物理学、电子与通信
的计量仪器，主要原理是利用微波等离子将氧气或者其他反应气体进行电离，形成化学活性的自由基，然后与光刻胶反应，生成可挥发的物质，被真空泵抽离腔体，从而实现光刻胶刻蚀和去除的功能。
[0003]目前晶圆水平式去胶机在进行去胶时，对于需要去胶的物品进行固定，现有的固定方式，大多是操作人员通过虎口钳将去胶物品进行夹紧固定，随后在将虎口钳一起放入晶圆水平式去胶机，待到完成去胶之后，再将虎口钳取出，调整好位置之后再次夹紧之后再次去胶，直到完全去胶完毕之后再更换去胶物品重复以上操作。
[0004]然而对于现有的晶圆水平式去胶机在固定的时候，由于需要多次调整去胶位置，且需要往复将固定后的物品放入去胶机，操作步骤繁琐，费时费力，相应的去胶效率还有待提升；因此，针对上述问题提出一种晶圆水平式去胶机的固定机构。

技术实现思路

[0005]为了弥补现有技术的不足，需要多次调整去胶位置，且需要往复将固定后的物品放入去胶机，操作步骤繁琐，费时费力，相应的去胶效率还有待提升的问题，本技术提出一种晶圆水平式去胶机的固定机构。
[0006]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：本技术所述的一种晶圆水平式去胶机的固定机构，包括底座；所述底座的顶部固定连接有工作台；所述工作台顶部的两侧均固定连接有挡板；两个所述挡板相对的一侧且位于工作台的顶部开设有工作腔；所述工作腔的内部设有固定组件；
[0007]所述固定组件包括放置台；所述放置台的底部固定连接有支撑柱；所述支撑柱的底端与工作台的顶部固定连接；所述放置台顶部的两侧均固定连接有安装柱；所述安装柱的顶部固定连接有下卡环；所述下卡环的顶部设有上卡环；所述上卡环的表面螺纹连接有螺栓；所述螺栓的一端贯穿上卡环与下卡环并延伸至下卡环的底部；所述螺栓位于下卡环底部的一端螺纹连接有螺帽。
[0008]优选的，所述上卡环的一侧设有挤压圆块；所述挤压圆块的一侧固定连接有螺纹杆。
[0009]优选的，所述螺纹杆远离挤压圆块的一端贯穿挡板并延伸至挡板的一侧；所述螺纹杆位于挡板一侧的一端固定连接有花形把手。
[0010]优选的，所述底座的顶部且位于工作台的一侧固定连接有转动架；所述转动架的表面转动连接有转动轴。
[0011]优选的，所述转动轴的表面转动连接有转动台；所述转动台的一侧固定连接有支撑把手。
[0012]优选的，所述转动台底部的一侧固定连接有去胶装置；所述去胶装置的表面设有控制面板。
[0013]优选的，所述控制面板的表面设有控制按钮；所述挡板的顶部固定连接有与转动台适配的支撑板。
[0014]优选的，所述螺纹杆的数量设为两个；所述上卡环与下卡环的数量均设为两个；所述螺纹杆与上卡环、下卡环均于放置台两侧对称布置。
[0015]本技术的有益之处在于：
[0016]1.本技术通过上卡环、下卡环与挤压圆块的结构设计，实现了固定的功能，解决了需要往复将固定后的物品放入去胶机，操作步骤繁琐，费时费力，相应的去胶效率还有待提升的问题，方便调整去胶位置，提高了在去胶时固定的效率；
[0017]2.本技术通过转动架的结构设计，实现了可对转动台进行转动的功能，方便调整转动台的位置之后再进行去胶，提高了晶圆水平式去胶机在进行去胶工作的适应性。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0019]图1为本技术的第一立体图；
[0020]图2为本技术的第二立体图；
[0021]图3为本技术部分结构的示意图；
[0022]图4为本技术正视结构的示意图；
[0023]图5为本技术部分零件结构的示意图。
[0024]图中：1、底座；2、工作台；3、挡板；4、工作腔；5、放置台；6、支撑柱；7、安装柱；8、下卡环；9、上卡环；10、螺栓；11、螺帽；12、挤压圆块；13、螺纹杆；14、花形把手；15、转动架；16、转动轴；17、转动台；18、支撑把手；19、去胶装置；20、控制面板；21、支撑板。
具体实施方式
[0025]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0026]请参阅图1
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图5所示，一种晶圆水平式去胶机的固定机构，包括底座1；所述底座1的顶部固定连接有工作台2；所述工作台2顶部的两侧均固定连接有挡板3；两个所述挡板3相对的一侧且位于工作台2的顶部开设有工作腔4；所述工作腔4的内部设有固定组件；
[0027]所述固定组件包括放置台5；所述放置台5的底部固定连接有支撑柱6；所述支撑柱6的底端与工作台2的顶部固定连接；所述放置台5顶部的两侧均固定连接有安装柱7；所述安装柱7的顶部固定连接有下卡环8；所述下卡环8的顶部设有上卡环9；所述上卡环9的表面螺纹连接有螺栓10；所述螺栓10的一端贯穿上卡环9与下卡环8并延伸至下卡环8的底部；所
述螺栓10位于下卡环8底部的一端螺纹连接有螺帽11；
[0028]工作时，底座1支撑工作台2，放置台5用于放置去胶物品，支撑柱6与工作台2和放置台5固定并对放置台5进行支撑，安装柱7与下卡环8和工作台2固定并对下卡环8进行支撑，通过上卡环9对去胶物品进行夹紧，之后配合螺栓10和螺帽11将上卡环9和下卡环8进行固定。
[0029]进一步的，所述上卡环9的一侧设有挤压圆块12；所述挤压圆块12的一侧固定连接有螺纹杆13；
[0030]工作时，挡板3对螺纹杆13进行支撑，螺纹杆13转动带动挤压圆块12左右移动。
[0031]进一步的，所述螺纹杆13远离挤压圆块12的一端贯穿挡板3并延伸至挡板3的一侧；所述螺纹杆13位于挡板3一侧的一端固定连接有花形把手14；
[0032]工作时，螺纹杆13在挡板3的表面转动，通过花形把手14方便控制螺纹杆13转动。
[0033]进一步的，所述底座1的顶部且位于工作台2的一侧固定连接有转动架15；所述转动架15的表面转动连接有转动轴16；
[0034]工作时，转动架15与底座1和工作台2进行固定连接，转动轴16在转动架15的表面转动。
[0035]进一步的，所述转动轴16的表面转动连接有转动台17；所述转动本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆水平式去胶机的固定机构，其特征在于：包括底座(1)；所述底座(1)的顶部固定连接有工作台(2)；所述工作台(2)顶部的两侧均固定连接有挡板(3)；两个所述挡板(3)相对的一侧且位于工作台(2)的顶部开设有工作腔(4)；所述工作腔(4)的内部设有固定组件；所述固定组件包括放置台(5)；所述放置台(5)的底部固定连接有支撑柱(6)；所述支撑柱(6)的底端与工作台(2)的顶部固定连接；所述放置台(5)顶部的两侧均固定连接有安装柱(7)；所述安装柱(7)的顶部固定连接有下卡环(8)；所述下卡环(8)的顶部设有上卡环(9)；所述上卡环(9)的表面螺纹连接有螺栓(10)；所述螺栓(10)的一端贯穿上卡环(9)与下卡环(8)并延伸至下卡环(8)的底部；所述螺栓(10)位于下卡环(8)底部的一端螺纹连接有螺帽(11)。2.根据权利要求1所述的一种晶圆水平式去胶机的固定机构，其特征在于：所述上卡环(9)的一侧设有挤压圆块(12)；所述挤压圆块(12)的一侧固定连接有螺纹杆(13)。3.根据权利要求2所述的一种晶圆水平式去胶机的固定机构，其特征在于：所述螺纹杆(13)远离挤压圆块(12)的一端贯穿挡板(3)并延伸至挡板(...

【专利技术属性】
技术研发人员：倪裕林，徐新志，尹旺，尹康，
申请(专利权)人：昆山蕴鼎自动化科技有限公司，
类型：新型
国别省市：