本技术公开了一种通孔电镀挂具，包括底板，所述底板一侧设有两组对称的阴极挂钩板，所述底板远离阴极挂钩板一侧开设有安装槽，所述安装槽外周设有盖板，所述盖板内部设有两组对称的导电片，所述导电片一侧设有导电固定环，两组所述导电固定环之间设有相向...

本技术公开了一种电镀铜柱挂具，包括单面底板，所述单面底板一侧开设有固定槽，所述单面底板远离固定槽一侧顶部开设有安装槽，所述安装槽内部设置有导电片，所述固定槽内侧卡接有晶圆，所述盖板底部设有压环，所述导电片靠近固定槽一侧设有单面导电密封圈...

本实用新型属于半导体技术领域，具体的说是一种晶圆显影预对准装置，包括底座；所述底座中部转动连接有转动柱；所述转动柱上转动连接有承托板；所述承托板底部铰接有多组转动杆；所述转动杆为L状；所述转动柱上转动连接有转盘；所述转盘上滑动连接有多组...

本实用新型属于晶圆固定领域，具体的说是一种激光蚀刻的晶圆固定装置，包括底座，所述底座顶部固接有固定柱，所述固定柱顶部固接有载物台，所述固定柱侧壁滑动连接有连接筒，所述连接筒侧壁固接有多组轴座一；通过将晶圆放置于载物台顶部中央，启动电动伸...

本实用新型属于去胶机技术领域，具体的说是一种晶圆水平式去胶机的固定机构，包括底座；所述底座的顶部固定连接有工作台；所述工作台顶部的两侧均固定连接有挡板；两个所述挡板相对的一侧且位于工作台的顶部开设有工作腔；所述工作腔的内部设有固定组件；...

本实用新型属于晶圆加工技术领域，具体的说是一种晶圆加工去胶装置，包括支撑柱；所述支撑柱的顶部固接有工作台，所述工作台顶部设置有活动组件，所述活动组件固接在工作台的顶部，所述活动组件包括固定座，所述固定座底部固接在工作台的顶部，所述固定座...

本实用新型涉及晶圆加工领域，具体是晶圆可冲洗的晶圆电镀设备，包括柜体，冲洗喷管固接在冲洗槽内侧壁上，冲洗喷头端部面与冲洗槽内侧壁齐平，且冲洗喷头的喷水方向倾斜向下设置；所述执行机构用于将晶圆盘从电镀槽取出，并下放入冲洗槽内；通过执行机构...

本实用新型属于晶圆生产技术领域，具体的说是晶圆承载装置，包括承载座；所述承载座顶部安装有伸缩顶针，所述伸缩顶针在承载座内部设有多组；所述伸缩顶针顶端固接有托盘；所述托盘中部为凹陷设置；通过将伸缩顶针顶部设置有托盘，可增加伸缩顶针对晶圆支...

本实用新型属于晶圆生产技术领域，具体的说是一种晶圆化镀设备多功能机械手，包括机械抓手座；所述机械抓手座底部安装有一对抓臂；所述抓臂滑动连接在机械抓手座底部；所述抓臂相靠近的一侧股固接有稳定块；所述稳定块为靠近抓臂底部设置；所述稳定块侧壁...

本实用新型属于半导体加工技术领域，具体的说是一种半导体显影设备的传输装置，包括放置架；所述放置架内部固接有多组承载台；所述放置架内侧壁固接有稳定板；所述稳定板设置在承载台底部；所述稳定板中部滑动连接有多组工字形板；所述工字形板与稳定板之...

本实用新型公开了一种晶圆化学镀治具，包括底盘，底盘的上端均匀布设有立杆，底盘的每一边均至少开设有一条向对边延展的通槽，底盘的外缘设有侧板，侧板的外侧设有U型架，U型架的下端设有支腿。该治具可以将晶圆放置在底盘上的立杆上，立杆将晶圆顶起，...

本实用新型公开了一种晶圆电镀夹具，包括底座，底座上固定有操作台，操作台上设置有条形孔，条形孔内滑动设置有限位杆，限位杆上固定有与夹座，夹座上粘接有硅胶垫，操作台上设置有与硅胶垫贴合的晶圆本体。通过四个方向的夹座对晶圆本体进行夹持，可保证...

本实用新型公开了一种化镀设备快排清洗槽装置，包括水槽、电机、清洗喷头和排水管，水槽的内端面设置有放置环，水槽的下端面设置有传动室，传动室的上端面设置有第一通孔，传动室的下端面设置有第二通孔和第三通孔，清洗喷头的下端设置有进水管，进水管穿...

本实用新型公开了一种清洗机的清洗刷，包括第一接口，第一接口上转动设置有第二接口，第二接口上固定有出液头，出液头的两侧分别嵌入有第一出液管和第二出液管，出液头上设置有第一内置孔，第一出液管和第二出液管上均设置有第二内置孔，出液头、第一出液...

本实用新型公开了一种晶圆清洗机的清洗篮，包括固定座和固定篮，固定座的上端设置有滑轨，滑轨上设置有把手，滑轨的侧端面设置有滑槽，固定篮的侧端面设置有滑块，固定篮与固定座通过滑块与滑槽配合滑动连接，固定篮为镂空圆盘结构，固定篮内设置有支撑板...

本实用新型公开了一种清洗机，包括由隔板相连接的蚀刻槽、过渡槽和水洗槽，蚀刻槽、过渡槽和水洗槽之间贯穿有滚筒输送线；还包括两个风刀组件，两个风刀组件间隔设于过渡槽内，其中一个风刀组件的位置靠近蚀刻槽，另一个风刀组件的位置靠近水洗槽。本实用...

本实用新型公开了一种电镀烘干装置，包括烘干槽和盖板组件，烘干槽的一端开口，盖板组件包括第一盖板部、第二盖板部和驱动部，驱动部传动连接第一盖板部和第二盖板部，第一盖板部和第二盖板部分别设于烘干槽开口的两侧，以实现烘干槽开口的打开或盖合。本...

本实用新型公开了一种电镀槽，包括槽体、搅拌盘和防窜动部；搅拌盘可移动的设于槽体内，搅拌盘包括一对连接板，一对连接板穿设于槽体且延伸至槽体的外部；防窜动部包括一对限位块，一对限位块对称的设于槽体的外侧壁，且一对连接板穿设于对应设置的限位块...

本实用新型公开了一种摇摆装置，包括摇摆台以及驱动机构，驱动机构包括水平位移组件和竖直位移组件，水平位移组件包括第一驱动部和连杆，第一驱动部驱动连杆带动所述摇摆台在水平方向上做定向移动；竖直位移组件包括第二驱动部和连接臂，第二驱动部驱动连...

本实用新型公开了一种电镀机喷淋机构，包括壳体和喷淋组件，喷淋组件设于壳体内，喷淋组件包括喷淋盘、传动部和移动部，喷淋盘的一端连接传动部，喷淋盘的另一端连接移动部，传动部带动喷淋盘移动，喷淋盘通过移动部做定向移动；移动部包括移动槽、多个移...