一种片状物料分拣机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种片状物料分拣机，包括至少一个第一装载机构、至少一个第二装载机构和一个传输搬运部，其中第一装载机构和第二装载机构用于装载不同的片状物料盒，传输搬运部用于在第一装载机构和第二装载机构内取放和传输片状物料。第一装载机构上装载第一片状物料盒，第一装载机构对其上的第一片状物料盒进行翻转，将第一片状物料盒和其内的片状物料从竖直状态翻转至水平状态以便于实现片状物料的搬运。第二装载机构上装载第二片状物料盒，第二装载机构用于打开其上的第二片状物料盒的侧盖以便于实现片状物料的搬运。本实用新型专利技术中的分拣机能实现Frame wafer这种片状物料的自动分拣和装载。的自动分拣和装载。的自动分拣和装载。

【技术实现步骤摘要】
一种片状物料分拣机


[0001]本技术涉及半导体加工设备
，尤其涉及一种片状物料分拣机。

技术介绍

[0002]Sorter叫做晶圆分拣机或晶圆倒片机，其分拣的是晶圆。但晶圆在加工过程中，会将晶圆分割成一个个的芯片单体，为下一步芯片封装做准备。参见附图1所示，此时的晶圆背部会覆有一层薄膜，薄膜由一个我们称之为“Frame”的晶圆框架支撑，形成一个整体的片状物料(Frame wafer)，多片片状物料通常装载在一个片状物料盒(Frame box)中，片状物料盒作为转运的载具，为了满足生产需要，片状物料盒通常也有多种，有的片状物料盒内水平放置片状物料，有的片状物料盒内竖直放置片状物料。但现有的分拣机大多针对晶圆，而片状物料往往通过人工分拣，缺乏自动化程度高的分拣机，大大影响了加工效率。

技术实现思路

[0003]为克服上述缺点，本技术的目的在于提供一种片状物料分拣机，能实现Frame wafer这种片状物料的自动分拣和装载。
[0004]为了达到以上目的，本技术采用的技术方案是：一种片状物料分拣机，包括至少一个第一装载机构、至少一个第二装载机构和一个传输搬运部，其中所述第一装载机构和第二装载机构用于装载不同的片状物料盒，所述传输搬运部用于在第一装载机构和第二装载机构内取放和传输片状物料。所述第一装载机构上装载第一片状物料盒，所述第一装载机构对其上的第一片状物料盒进行翻转，将所述第一片状物料盒和其内的片状物料从竖直状态翻转至水平状态以便于实现片状物料的搬运。所述第二装载机构上装载第二片状物料盒，所述第二装载机构用于打开其上的第二片状物料盒的侧盖以便于实现片状物料的搬运。
[0005]本技术的有益效果是，分拣机设置有功能不同的第一装载机构和第二装载机构，能对不同的片状物料盒进行装载，通过传输搬运部进行传输，满足片状物料的分拣需求，实现自动分拣。
[0006]进一步来说，所述第一装载机构包括第一立架、升降架、固定架和夹持装置，所述第一立架上开设有一个与装载端口对应的第一窗口，所述第一立架上设置有能沿其上下移动的升降架；所述固定架用于第一片状物料盒的放置，所述固定架能在翻转驱动件驱动下相对升降架上下翻转，以将固定架内的片状物料在竖直状态和水平状态之间切换；所述夹持装置设置在第一立架上，所述夹持装置用于夹持水平状态的片状物料，并带动片状物料朝向远离第一片状物料盒的底壁的一侧移动。
[0007]对于需要翻转的第一片状物料盒，将第一片状物料盒固定在固定架上后，由工作人员将第一片状物料盒的上盖取下。此时,第一片状物料盒内插接的片状物料为竖直状态。为方便传输搬运部取放片，需要将第一片状物料盒翻转90度，使片状物料处于水平状态，此时第一片状物料盒的开口朝向第一窗口。固定架在翻转过程中，能保证片状物料和第一片
状物料盒不会产生相对移动，即片状物料不会滑出第一片状物料盒。当第一片状物料盒翻转90度后，片状物料处于水平状态，夹持装置夹取水平状态的片状物料，并带动片状物料朝向远离第一片状物料盒的底壁的一侧移动，以便于传输搬运部插入第一片状物料盒内取出片状物料。
[0008]进一步来说，所述第二装载机构包括第二立架、开门驱动装置和门封，所述第二立架上开设有一个第二窗口，所述第二立架上设置有一个位于第二窗口一侧且供第二片状物料盒放置的放置平台，所述开门驱动装置固定在第二立架上且输出端与门封连接，所述开门驱动装置能驱动门封沿L形路线移动，所述门封能与侧盖卡接。
[0009]第二片状物料盒的侧盖位于其侧面，盖有侧盖的第二片状物料盒需要打开侧盖后，才能通过传输搬运部搬运其内的片状物料。因此将第二片状物料盒固定在放置平台上，门封在开门驱动装置驱动下到达侧盖位置，然后门封与侧盖卡接，接着开门驱动装置驱动门封在水平方向远离第二片状物料盒一段距离，接着向下移动彻底打开侧盖。
[0010]进一步来说，还包括对中机构，所述对中机构位于传输搬运部的一侧，所述传输搬运部能将片状物料在对中机构、第一装载机构和第二装载机构之间来回搬运，所述对中机构对片状物料进行对中。
[0011]进一步来说，所述传输搬运部和对中机构设置在一个机架内，所述第一装载机构和第二装载机构设置在机架的一侧且沿机架的长度方向设置，所述对中机构设置在机架长度方向的端部，所述机架上开设有与第一装载机构和第二装载机构对应的装载端口。传输搬运部从装载端口装载片状物料。
[0012]进一步来说，所述对中机构包括一个物料入口，所述对中机构的物料入口与机架的长度方向垂直布置或对中机构的物料入口相对机架的长度方向倾斜设置。机架的内部空间有限，考虑到传输搬运部的安装位置及传输搬运部的伸展路径，把对中机构倾斜放置，传输搬运部运动路径更能提高传输速度和效率。
[0013]进一步来说，所述对中机构包括控制盒和对中装置，所述片状物料逐片放置在控制盒上，所述对中装置位于控制盒内并对放置在控制盒上的片状物料进行对中。对中装置设置在控制盒内，节约空间，让结构更加紧凑。
[0014]进一步来说，所述对中机构还包括用于读取片状物料的编码的读码器，所述读码器设置有两个且上下间隔设置，控制盒的一端固定有一个框架，框架成门型架构，两个所述读码器分别固定在框架的横板上和横板正下方的控制盒上，所述片状物料从两个读码器之间放置到控制盒上。在片状物料的上下两侧分别安装一个读码器，不管片状物料是编码朝上放置还是朝下放置，都可以进行读取。
[0015]进一步来说，所述控制盒包括盒体，所述盒体内限定形成供对中装置放置的腔体，所述盒体上固定有突出盒体上表面的多个支撑柱，所述片状物料与支撑柱抵接。支撑柱至少设置有三个，减少与偏转物料的接触面积，在对中装置对中时，可以减少摩擦。
[0016]进一步来说，所述对中装置包括对中驱动件、连接爪和拨片杆，所述连接爪设置有两个且相对对中驱动件对称设置，两个所述连接爪在对中驱动件驱动下相对或相背移动，每个所述连接爪上均固定有两个与其同步移动的拨片杆，四个所述拨片杆在同一个圆的圆周上且分别与片状物料的四个弧形边的外缘抵接。四个拨片杆的连线形成一个矩形，四个拨片杆在同一圆周上，同时四个拨片杆同步相对运动，所以当片状物料与四个拨片杆都接
触后，片状物料就处于正中心位置。当拨片杆与弧形边抵接时，推动片状物料对中。
[0017]进一步来说，所述对中机构还包括一对对射传感器二，所述对射传感器二包括发射端和接收端，所述发射端固定在框架的横板上，所述接收端固定在腔体内，所述对射传感器二的对射光线竖直设置，所述盒体上开设有一个与接收端对应的通孔。当对射光线被遮挡，说明控制盒上放置有片状物料，在驱动对中装置进行对中。
[0018]进一步来说，所述对中驱动件为双向气缸，所述双向气缸包括两个活塞杆，两个活塞杆分别与两个连接爪固定，所述双向气缸上还固定有至少一个缓冲器。当活塞杆带动连接爪往回缩时，连接爪抵接到缓冲器上，可以对连接爪起到降速缓冲的作用，防止拨片杆因太快的速度对片状物料造成变形。
附图说明<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种片状物料分拣机，其特征在于：包括至少一个第一装载机构、至少一个第二装载机构和一个传输搬运部，其中所述第一装载机构和第二装载机构用于装载不同的片状物料盒，所述传输搬运部用于在第一装载机构和第二装载机构内取放和传输片状物料；所述第一装载机构上装载第一片状物料盒，所述第一装载机构对其上的第一片状物料盒进行翻转，将所述第一片状物料盒和其内的片状物料从竖直状态翻转至水平状态以便于实现片状物料的搬运；所述第二装载机构上装载第二片状物料盒，所述第二装载机构用于打开其上的第二片状物料盒的侧盖以便于实现片状物料的搬运。2.根据权利要求1所述的片状物料分拣机，其特征在于：所述第一装载机构包括第一立架、升降架、固定架和夹持装置，所述第一立架上开设有第一窗口，所述第一立架上设置有能沿其上下移动的升降架；所述固定架用于第一片状物料盒的放置，所述固定架能在翻转驱动件驱动下相对升降架上下翻转，以将固定架内的片状物料在竖直状态和水平状态之间切换；所述夹持装置设置在第一立架上，所述夹持装置用于夹持水平状态的片状物料，并带动所述片状物料朝向远离第一片状物料盒的底壁的一侧移动。3.根据权利要求1所述的片状物料分拣机，其特征在于：所述第二装载机构包括第二立架、开门驱动装置和门封，所述第二立架上开设有一个第二窗口，所述第二立架上设置有一个位于第二窗口一侧且供第二片状物料盒放置的放置平台，所述开门驱动装置固定在第二立架上且输出端与门封连接，所述开门驱动装置能驱动门封沿L形路线移动，所述门封能与侧盖卡接。4.根据权利要求1
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3任一所述的片状物料分拣机，其特征在于：还包括对中机构，所述对中机构位于传输搬运部的一侧，所述传输搬运部能将片状物料在对中机构、第一装载机构和第二装载机构之间来回搬运，所述对中机构对片状物料进行对中。5.根据权利要求4所述的片状物料分拣机，其特征在于：所述传输搬运部和对中机构设置在一个机架内，所述第一装载机构和第二装载机构设置在机架的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：鲍伟成，祝佳辉，葛敬昌，张胜森，和浩楠，叶莹，
申请(专利权)人：上海果纳半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：