本发明专利技术公开了一种轨道状态指示单元和天车行进装置，包括调光部、反射部和一个位置检测部，位置检测部包括位于调光部同一侧的发射部件和接收部件，反射部位于调光部远离位置检测部的一侧，其中调光部具有透光和遮光两种状态。当调光部为透光状态时，接收部件可接收经由所述反射部反射的来自所述发射部发射的光，轨道处于不可通行状态；当调光部为遮光状态时，接收部件接收不到来自发射部件发射的光，轨道处于可通行状态。利用调光部的透光率可调的特性，配合位置检测部能否接收到发射部件发出的光来指示轨道的可通行和不可通行状态，结构简单，维护方便，能大大减少日常维护的工作量。量。量。
【技术实现步骤摘要】
一种轨道状态指示单元和天车行进装置
[0001]本专利技术涉及晶圆搬运系统
，尤其涉及一种轨道状态指示单元天车行进装置。
技术介绍
[0002]随着半导体技术水平的不断提高，半导体加工工厂中物料运输系统越来越复杂。物料运输系统通常包括固定在空中的轨道和沿轨道行进的天车，由于需要同时搬运多个晶圆装载盒至不同或相同的位置，因此物料传输系统的轨道相互交错，大量的天车在轨道上同时行进。两条甚至多条相交轨道可能同时有天车汇入同一轨道时，极易发生天车碰撞，或者在天车拐弯时，容易发生天车追尾的情况。
[0003]现有的物料运输系统中，通常在天车之间设置测距传感器，或者在轨道上设置天车位置传感器，通过测距传感器或位置传感器采集到的信息控制天车的行进或停止。测距传感器通常采用激光测距传感器或红外传感器，但这类的传感器在天车在弧形轨道上行驶时，会存在测量不准的情况。而位置传感器通常采用对射传感器，通过对射传感器的对射光线被阻挡的状态，来判断天车的位置，但这种对射传感器通常需要遮光片和其他控制装置的配合，结果较为复杂，需要占用空间大，日常维护工作量大和成本高。
技术实现思路
[0004]为克服上述缺点，本专利技术的目的在于提供一种轨道状态指示单元，调节调光部的透光率，配合位置检测部发送不同指令，结构简单，维护方便，能大大减少日常维护的工作量。
[0005]为了达到以上目的，本专利技术采用的技术方案是：一种轨道状态指示单元，用于指示轨道的通行状态，包括调光部、反射部和一个位置检测部，所述位置检测部包括位于调光部同一侧的发射部件和接收部件，所述反射部位于调光部远离位置检测部的一侧，其中所述调光部具有透光和遮光两种状态。
[0006]当所述调光部为透光状态时，接收部件可接收经由所述反射部反射的来自所述发射部件发射的光，轨道处于不可通行状态；当所述调光部为遮光状态时，接收部件接收不到经由所述反射部反射的来自所述发射部件发射的光，轨道处于可通行状态。
[0007]本专利技术的有益效果在于：通过控制调光部的透光率，配合发射部件和接收部件在不同透光率下产生的不同信号，来指示轨道的通行状态，可快速轨道通行状态切换，更加精准和灵敏。
[0008]进一步来说，当所述轨道处于不可通行状态时，使轨道上的天车保持或切换为停止状态；当所述轨道处于可通行状态时，使轨道上的天车保持或切换为行进状态。
[0009]进一步来说，所述调光部采用电致变色材料，如电致透光膜，所述调光部在施加不同电压时其透光特率可调节。位置检测部为一个回归反射型传感器，回归反射型传感器传感器集发射部件与接收部件于一体，固定在一个壳体内。
[0010]进一步来说，所述反射部具有一个能反射光线的反射面，所述反射面朝向调光部设置，从调光部穿过的光线可以经过反射面反射。
[0011]进一步来说，所述反射部直接贴合在调光部远离位置检测部的侧面上，或在所述反射部和调光部之间还设置有透光部，所述透光部采用具有透光效果的硬质材料。因为反射部和调光部都为柔性结构，但为了便于固定反射部和调光部，增加透光部，反射部和调光部直接贴合在透光部相对的两个侧面上。
[0012]本专利技术还公开了一种天车行进装置，包括轨道和能沿轨道行进的天车，所述天车上固定有上述的位置检测部，所述位置检测部与天车同步移动，所述轨道上固定有上述的调光部和反射部，所述位置检测部的发射部件的出射光线朝向调光部，所述调光部位于反射部和位置检测部之间。
[0013]调光部可以在透光和遮光两种状态，当调光部为透光状态时，发射部件发射的光线能透过调光部并经由反射部反射至接收部件，使天车保持或切换为停止状态，发射部件发射的光线无法由反射部反射至接收部件，使天车保持或切换为行进状态。
[0014]进一步来说，所述调光部和反射部形成的复合部沿天车行进方向包括依次设置的采集段和检测段，在同步移动过程中，所述位置检测部仅能在经过采集段时，检测到采集段的调光部的透光率变化；所述检测段和采集段的调光部为一个整体，所述轨道上固定有能测试检测段的调光部的透光率的测试部，所述测试部与位置检测部的结构相同。
[0015]采集段用于控制天车的进行状态，且位置检测部仅能检测到采集段的调光部的透光率，无法采集到检测段的调光部的透光率，检测段不会对位置检测部造成影响。由于检测段和采集段的调光部为一个整体，测试部检测检测段的调光部是否有损坏，也就是采集段的调光部是否有损坏。
[0016]进一步来说，位置检测部的发射部件距离调光部具有一定距离，因此发射光投射到调光部时具有一定的扩散角度，因此在所述采集段内，所述调光部在反射部上的正投影与反射部的反射面重合。即在采集段内，调光部和反射部在长度和高度上相同，这样保证位置检测部的发射部件的发射光在检测段均能依次经过调光部和反射部，不会出现没有调光部调节透光率或没有反射部进行光线反射的情况，同样也保证了位置检测部的发射部件的发射光线均能由反射部反射，不会对其他轨道上的天车造成影响。
[0017]进一步来说，所述采集段沿天车行进方向折弯形成检测段，所述测试部的出射光线朝向检测段且出射光线与天车的行进方向平行。所述检测段的反射部和调光部之间设置有遮光部，所述遮光部上留有一个缺口，所述测试部的发射部件和接收部件朝向缺口。一方面检测段折弯，另一方面光线无法透过遮光部，减少了测试部反射的反射光的范围，避免对天车造成干扰。检测段反射的反射光也不会影响轨道上的天车行进。
[0018]进一步来说，所述检测段为圆弧结构，所述缺口设置在圆弧结构的圆心和测试部中心连线上。遮光部遮挡住了圆弧结构的到大部分，仅在圆弧结构的中心处留有部分缺口，防止测试部发射的发射光被检测段圆弧结构的反射部广范围反射，被经过的天车上的位置检测部接收到，造成信号干扰。
[0019]进一步来说，所述调光部和反射部在检测段和采集段的设置相反，所述采集段的调光部与所述检测段的调光部为一个整体，在所述检测段内，所述发射部位于位置检测部和调光部之间，所述测试部位于检测段的调光部远离反射部的一侧。检测段的反射部的反
射面位于反射部远离天车的一侧，且测试部的发射光线无法穿过检测段的反射部，不会对天车造成影响。
[0020]进一步来说，所述轨道上沿天车行进方向间隔设置有第一传感器和第二传感器，所述第一传感器和第二传感器均为固定在轨道上的对射传感器，所述天车上固定有能遮挡对射传感器对射光线的遮挡片，且所述位置检测部和遮光片在沿天车的行使方向间隔设置。第一传感器和第二传感器之间限定形成控制区，当天车行使到控制区时，需要能切换天车的状态。
[0021]所述遮光片在第一传感器和第二传感器一之间移动时，所述位置检测部始终在采集段移动。在控制区内，采集段可控制天车行进状态的切换。
[0022]进一步来说，所述采集段沿天车行使方向的长度D，等于第一传感器和第二传感器在天车行进方向上的距离L，且所述遮光片与位置检测部之间在天车行进方向上的距离，不大于第一传感器与天车进入采集段的端部之间在天车行进方向上本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种轨道状态指示单元，用于指示轨道的可通行状态，其特征在于：包括调光部、反射部和一个位置检测部，所述位置检测部包括位于调光部同一侧的发射部件和接收部件，所述反射部位于调光部远离位置检测部的一侧，其中所述调光部具有透光和遮光两种状态；当所述调光部为透光状态时，所述接收部件可接收经由所述反射部反射的来自所述发射部件发射的光，所述轨道处于不可通行状态；当所述调光部为遮光状态时，所述接收部件接收不到经由反射部反射的来自所述发射部件发射的光，所述轨道处于可通行状态。2.根据权利要求1所述的轨道状态指示单元，其特征在于：当所述轨道处于不可通行状态时，使所述轨道上的天车保持或切换为停止状态；当所述轨道处于可通行状态时，使所述轨道上的天车保持或切换为行进状态。3.根据权利要求1所述的轨道状态指示单元，其特征在于：所述调光部在施加电压时其透光率可变。4.根据权利要求1所述的轨道状态指示单元，其特征在于：所述反射部具有一个能反射光线的反射面，所述反射面朝向调光部设置。5.根据权利要求1所述的轨道状态指示单元，其特征在于：所述反射部直接贴合在调光部远离位置检测部的侧面上，或在所述反射部和调光部之间还设置有透光部，所述透光部采用具有透光效果的硬质材料。6.一种天车行进装置，其特征在于：包括轨道和能沿轨道行进的天车，所述天车上固定有权利要求1
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5任一所述的位置检测部，所述位置检测部与天车同步移动，所述轨道上固定有权利要求1
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5任一所述的调光部和反射部，所述位置检测部的发射部件的出射光线朝向调光部，所述调光部位于反射部和位置检测部之间。7.根据权利要求6所述的天车行进装置，其特征在于：所述调光部和反射部形成的复合部沿天车行进方向包括依次设置的采集段和检测段，在同步移动过程中，所述位置检测部仅能在经过采集段时，检测到采集段的调光部的透光率变化；所述检测段和采集段的调光部为一个整体，所述轨道上固定有能测试检...
【专利技术属性】
技术研发人员：周道，张庆，周磊，梁烁，叶莹，
申请(专利权)人：上海果纳半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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