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清华大学专利技术
清华大学共有54941项专利
激光高精度测量大型工件内外径装置及方法制造方法及图纸
本发明涉及大型工件内外径测量方法及装置。其装置包括激光器;由激光测长器和导轨构成的测长单元;由单模光纤及其分别固定在其两端的光纤耦合器、带有光接收靶的光纤出射头构成的激光准直、自准直单元;由一块镀有半透半反膜的五角棱镜和与之固定在一起的...
球冠形栅网参数测量方法及测量仪技术
一种球冠形栅网参数测量方法及测量仪,属光学测量仪器,该测量方法可测量球冠形栅网的参数及网间距离,采用光学物镜对双(多)栅网多次调焦,记录每次成象清晰后的物镜位置数值,两个位置数值之差即为该两个栅网之间的间距。本栅网参数测量仪由精密机械系...
一种操作简便的高精度大内径测量装置制造方法及图纸
本发明涉及一种操作简便的高精度大内径测量装置,该测量装置由激光器、光学测量头、反射头和信号处理及显示装置组成。光学测量头用磁铁、真空等方法吸附在被测孔壁上,与此对应的另一侧被测孔壁吸附有反射头。由激光器出射的光束一路为测量光束,另一路为...
用双波长激光进行外差干涉测量绝对距离系统技术方案
本发明涉及一种用双波长激光进行外差干涉测量绝对距离的系统,属精密测量技术领域。该测距系统包括产生偏振方向正交的两个波长的激光器,实现双波长外差干涉的外差干涉仪,将外差信号进行光电转换的声光调制器以及外差信号的相位检测电路和数据处理单元。...
铁磁材料几何形变的测量方法及装置制造方法及图纸
一种铁磁材料几何形变的测量方法及装置,属测量仪器。该方法以被测铁磁材料工件伸入一线圈中作为传感器的铁芯,在传感器线圈中加以恒频、恒幅交变电压,再测量通线圈的电流。当被测工件通过线圈时,如线圈中的电流发生变化,则表示被测工件的体积发生变化...
超精表面粗糙度非接触式光干涉测量法制造技术
一种超精表面粗糙度非接触式光干涉测量方法,属测量方法领域。本方法是将被测表面与一半透半反膜形成一夹角,组成一被测系统,用光线射向被测系统,经反射后形成一干涉图象,用摄象头摄取并在显示器上显示,再通过图象采集卡将图象输入到计算机中进行处理...
大型工件内外径激光瞄准测量系统及测量方法技术方案
本发明属于激光精密测量技术领域,特别涉及大型工件内外径测量。内外径激光瞄准测量系统,包括导轨、定位块、测量车及驱动机构,测量车上装有定位,瞄准用的角隅棱镜、五角棱镜和光电接收器,固定在导轨一端的激光瞄准测距仪。测量车还包括准直接收该激光...
旋转斜细光束的薄透明层厚度的干涉测量方法及其装置制造方法及图纸
本发明属于干涉法测量技术领域,本发明包括以下步骤:1)将一细光束斜入射待测点处;2)旋转所说光束改变入射角为θ↓[itn];3)记录出一系列干涉光强极值所对应的斜入射角θ↓[itn];4)利用干涉极值条件方程计算出薄透明层厚度d。该方法...
电荷耦合器直接细分光栅位移传感器及其实现方法技术
本发明属于机械精密测量技术领域,这种位移传感器包括一个幅值型标尺光栅,位于光栅一侧的平行光光源,位于另一侧的线阵CCD器件,以及相应的驱动和信号处理电路。该传感器的线阵CCD视场与光栅栅线方向成一夹角θ。其实现方法为利用与光栅栅线成θ角...
一种基于线阵型电荷耦合摄像器件的二维位置测量装置制造方法及图纸
本发明属于位置传感器设计技术领域,其特征在于包括共轴设置的主球面镜、球镜和分光棱镜,在所说的分光棱镜分出的两条互相垂直的光轴线上分别设置两个柱面镜及两个线阵型CCD器件,两个柱面镜的圆柱轴线互相垂直,主球面镜与球面镜之间的距离等于主球面...
绝对距离测量的波长扫描干涉系统及其信号处理方法技术方案
本发明属于精密测量技术领域。包括由单模光纤连成一体的扫描光源,光纤耦合器、参考干燥仪及传感干涉仪,探测器,以及光电转换、放大滤波电路、A/D变换器,计算机数据处理单元。本发明使其结构更加简单合理,减少系统的损耗及干涉噪声,提高了系统的可...
采用复式光栅对加工/测量误差进行实时修正的方法及装置制造方法及图纸
本发明属于精密测量技术领域,其方法包括:在被测设备上安装复式光栅;对每个光栅输出的光电信号进行读数处理得到每个光栅处的位移测量结果;计算出相应的导轨运动的转角误差,再计算出转角误差所导致的最终误差。把误差从测量结果中修正掉并显示修正后的...
金属基体表面非金属涂层厚度非接触测量方法及其装置制造方法及图纸
本发明属于机械几何尺寸测量技术领域,包括用激光三角法位移传感器和大量程电涡流传感器组成复合传感器,二者固定在同一基体上,无相对运动;用激光三角法位移传感器,测量非金属涂层表面与复合传感器测头之间距离的变化量;用电涡流传感器测量金属基体表...
一种应用微型惯性测量组合进行三维位置测量的方法技术
本发明属于精密计量技术领域,包括由三维位置标定测量头和计算机系统组成的测量装置;测量头内封装由六个微传感器组成的微型惯性测量组合,该测量头的下端是一个测量探针;先用探针对准测量基点P0,然后对准被测量点P1,传感器输出测量头三个轴的转动...
框架式结构自适应表面形貌仪制造技术
本发明属于自适应测量技术领域,由一块组装平台和三根以上立柱组成框架,组装平台上装有一组由微分细化步进电机驱动作X-Y-Z三个方向的直线运动的模块组成的三轴工作台;负责垂直方向移动的Z轴模块的运动部件上装有吊架,吊架上安装有微位移传感器,...
等离子焊接熔池小孔尺寸的电弧检测方法技术
本发明属于等离子焊接质量控制技术领域。本发明包括:首先利用信号采集系统将等离子电弧电压u(t)/电弧电流信号i(t)实时地采集并存储入计算机。再对采集的信号进行加工处理,得到可供机器识别的定量的熔池小孔尺寸传感信号pff(t);最后标定...
测量物体表面形貌的纹影仪制造技术
本发明属于物体表面形貌测量技术领域,包括光源部件、光学成像部件,光源部件由激光器、小孔滤波器和扩束透镜组成,光学成像部件由分光镜、反射镜、准直透镜,以及空间滤波器和CCD摄像机组成,所说的空间滤波器为一个二维朗奇光栅。本发明可同时获取x...
利用合成波长法实现纳米测量的方法技术
本发明涉及一种利用合成波长法实现纳米测量的方法,选择能够获得两个波长λ↓[1]和λ↓[2]的激光光源,并设计一个参考干涉仪,在参考干涉仪的偏振分光元件外侧放置一个测量镜,使测量干涉仪中测量镜的纳米位移△l↓[2]代表被测位移,上述两个干...
一种用于自由曲面光学透镜三维型面测量的方法技术
本发明涉及一种用于自由曲面光学透镜三维型面测量的方法,首先组成光学成像系统,使平行光源产生平行光束,该平行光束将刻绘于图像输入板上的点阵图像投射到待测自由曲面光学透镜上,形成入射光线矢量阵;测量图像输入板上各点与图像输出板上对应点以及待...
滚转角测量方法及其滚转角测量仪技术
本发明属于角度的光学测量技术领域,包括在横向塞曼激光器输出端的光轴上设置该半透半反镜,在该半透半反镜的透射光轴上垂直设置有二分之一波片,以及在该反射镜的反射光轴上依次垂直设置有二分之一波片、检偏器及第一光电探测器;在该半透半反镜的反射光...
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