【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及表面粗糙度的非接触式测量,属于测量方法领域。目前常用的金属材料表面粗糙度的测量方法有两大类即接触式测量(触针式)和非接触式测量(光切法、显微干涉法等)。接触式测量法对超精加工表面,小尺寸表面的测量较困难。无论是测量时间还是测量精度都还达不到要求,光切法(非接触式测量)可弥补上述缺陷,但难以给出便于数据处理的信息形式,而基于光散射技术的测量方法又做了表面统计规律是平稳和正态分布的假设,所以分辨率和测量精度较低。本专利技术的目的是提供一种分辨率和测量精度较高的非接触式表面粗糙度测量法。当一束入射光通过一半透半反膜射向与半透半反膜形成一夹角的待测反射面时,分别在半透半反膜表面和待测件表面反射,形成两束反射光。由于这两束反射光的光程不同,会产生干涉,形成一系列干涉条纹,该干涉图象上某一点的光强,与该点两束干涉光的光程差存在一定的函数关系。以上述原理为依据,本专利技术光干涉测量法可叙述为将被测件表面与一半透半反膜形成一夹角,组成一被测系统,用光线通过半透半反膜射向被测件表面,该光线经半透半反膜及被测件表面反射后,形成相干光,通过聚光系统成象,即可得一干涉图象,再用单色仪将所得干涉图象处理成单频图象,然后通过摄象头摄取,即可在显示器上显示出单频干涉图象,再通过图象采集卡将图象输入到计算机中进行处理,求得干涉图象中的最大光强Imex和最小光强Imin,及被测点的光强Ⅰ,按下式即可求得表面粗糙度。h= (λ)/(4πn) arccos(I)+C其中I= (2I-(Imax+Imin))/(Imax-Imin)I-待测点实测光强,Imax,Imin分别是 ...
【技术保护点】
一种超精表面精糙度非接角式光干涉测量方法,其特征是将被测表面与一半透半反膜形成一夹角,组成一被测系统,用光线通过半透半反膜,射向被测表面,该光线经半透半反膜及被测件表面反射后,形成相干光,通过聚光系统成象,即可得一干涉图象,再用单色仪将所得干涉图象处理成单频图象,然后通过摄象头摄取,即可在显示器上显示出单频干涉图象,再通过图象采集卡将图象输入到计算机中进行处理,求得干涉图象中的最大光强Imox和最小光强Imin及被测光的光强I,按式(1)求得精糙度。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:黄平,孟永钢,汪仁友,雒建斌,温诗铸,
申请(专利权)人:清华大学,
类型:发明
国别省市:11[中国|北京]
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