【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种，属于精密测量
纳米计量学是20世纪最后十年才诞生的一门全新的学科。根据美国国家标准及技术研究所(NIST)的定义纳米计量学是测量1纳米或更小的物体尺寸或物体确定性的科学。它是纳米科学的一个重要基础和分支，占有举足轻重的地位。例如，在过去35年的电子革命过程中，微电子技术的产生和发展使门电路的尺寸不断缩小，使得手持蜂窝式移动电话、地球低轨道上质量仅仅为10公斤的小型卫星广播系统，以及可以与70年代大型计算机相匹敌的个人计算机成为现实。在大规模集成电路的实践生产中0.25微米的刻线宽度已经是非常成熟的技术了，目前标志着先进程度的DRAM生产，已经能够生产出单片1千兆字节的芯片。而且美国、日本、韩国和台湾等国家和地区的集成电路生产厂家正在进行线宽0.15微米以下生产厂的建设。自从体硅腐蚀技术专利技术以来，人们发现可以用半导体制造技术批量生产许多宏观机械系统的样机，导致了微型机电系统(MEMS)的出现。目前利用这种技术生产的加速度计已经广泛应用于汽车的安全系统中。在海湾战争中，美国利用其先进的微纳米制造技术，制造并发射了数十颗质量在几十公斤...
【技术保护点】
一种利用合成波长法实现纳米测量的方法，其特征在于，该方法包括以下各步骤：（１）选择能够获得两个波长λ↓［１］和λ↓［２］的激光光源，使其输出光波的偏振方向正交，其合成波长λ↓［ｓ］为１０ｍｍ到５００ｍｍ；仪，该干涉仪包括上述的激光光源、 参考镜、非偏振分光元件和偏振分光元件，（２）设计一个参考干涉非偏振分光元件位于激光光源和偏振分光元件之间，光源的出射光射向非偏振分光元件，反射光波射向参考镜，透射光射向偏振分光元件，由于偏振分光元件的作用，激光光源输出的光波中，一个偏振 方向的光λ↓［１］被其反射，在参考干涉仪中进行干涉，另一个偏振方向的光λ↓［２］透射过偏振分...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
【专利技术属性】
技术研发人员：赵洋，程晓辉，李达成，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]
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