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本发明涉及一种利用合成波长法实现纳米测量的方法，选择能够获得两个波长λ↓［１］和λ↓［２］的激光光源，并设计一个参考干涉仪，在参考干涉仪的偏振分光元件外侧放置一个测量镜，使测量干涉仪中测量镜的纳米位移△ｌ↓［２］代表被测位移，上述两个干涉仪...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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