清华大学专利技术

清华大学共有54941项专利

  • 本发明用于材料厚度的无接触在线测量,由放射源、探测器和二次仪表构成。其二次仪表包括加偏压的反向器,充电式对数A/D变换器、时间常数调节电路和V-[0]保持电路,V-[0]为材料厚度为0时静电计输出电压。由于本发明中的对数A/D变换器在电...
  • 六点接触式平面度高精度测量方法及其装置,采用第一次测量时所确定的平面作为全部测量的参考基准面。故不受被测件位置,运动状况的变化及其他因素的影响。测量精度高,且可连续自动测量。数据可由微机采集后实时处理,适宜于现场测量大型或超大型工件的平...
  • 本发明属于一种进行膜分相基本参数,即膜表面纯水层厚度t实验研究的化工设备。这种设备内有“契形”活动膜板块,膜板块的表面有一平直工作面和两个辅助工作面,内部有几个相通的孔,外面是由一个相对两面为光学玻璃组成的框。采用激光全息照相的方法把分...
  • 一种平面度误差分离法及实时测量仪,属于机械量形位误差测量领域。本发明为高精度大平面平面度测量提供一种有效的、可行的新方法。这种方法用五个传感器按特殊分布,可以有效的分离出工作台运动平面的误差及支承测头导轨形位误差及弯曲变形误差,所测数据...
  • 一种非接触式激光调频光纤位移测量仪,属于机械精密测量领域,特别是属于对位移量、振动的精密测量。本发明采用半导体激光光源,光束经锯齿波调制,由光纤传输,通过参考光与探测光的相位比较得到位移量。本发明体积小、重量轻,线性动态范围大,可抗电磁...
  • 一种大轴圆度误差及跳动测试方法及临床测量仪,属于机械几何尺寸误差精密测量技术,特别是涉及大轴圆度误差及跳动临床测试方法及测试仪器。本发明提出利用误差分离技术采用两个以上传感元件可同时对大轴圆度误差及跳动、端面跳动的精密测量的方法,适合对...
  • 一种密封式应变计,属于一种用电测法测量机械构件中应变的传感器,可用于测量高温高压液下机械构件中的应变。它是将现有技术中的粘贴式应变片用焊接的方法密封在由不锈钢薄片制成的基板(1)和盖板(3)焊成的密封室内,并在盖板上面焊有不锈钢引线管(...
  • 一种散斑图正交扫描视频分析方法及仪器,采用普通电视摄象机,对散斑图象进行水平、垂直扫描,对摄象机摄取的电信号进行处理和计算后即可直接求得散斑条纹的法向间距和条纹倾角,不需转动测量仪器或散斑图象,所需计算机的内存容量也较小,测量精度高。
  • 一种自适应直线度测量方法及其装置,属于直线度的光学测量技术领域。本发明所述方法是在测量现场采集数据利用多元逐步回归方法,建立适合当时当地条件的模型,并以自适应除噪技术以及对测试区温度梯度的监测达到消除测量中由于光束本身的漂移、抖动、弯曲...
  • 一种自扫描光电二极管列阵单频稳频激光干涉测长仪,用自扫描光电二极管列阵(SSPDA)对迈克尔逊干涉系统的条纹进行扫描,使SSPDA的输出信号产生频差,再按频差数值来求得所测量的移动距离(长度)。由于采用频差来测长,所以比一般单频激光干涉...
  • 本发明涉及一种表面三维形貌非接触测量仪,属光学测量仪器,用于测量表面微观几何形貌及粗糙度。本测量仪主要由光源,起偏器,分光棱镜,显微物镜,1/4波片,检偏器,光电面阵探测器等组成,与已有技术相比,本发明的优点在于测量分辨率高,移相器件的...
  • 一种多路复用激光调频外差干涉光纤位移测量仪,属于对位移量的精密测量。本发明采用同一光源的光引入光纤网络回路中形成多个光纤干涉仪,经频域滤波分同时进行检测各个干涉信号。本发明适用于多点(维)远距离同时检测,每一路的测量范围不小于1mm,测...
  • 本发明属于激光平面度与垂直度测量仪及其测量方法,采用三个回转轴系,二个或三个五角棱镜组成的系统实现平行度与垂直度的测量,结构简单,使用灵活,通用性强,成本比较低,自动采集处理数据,速度快,测量精度高。
  • 本发明涉及一种对磁盘盘片进行高精度、多种参数测量的表面参数测量仪,属测量仪器技术领域。本发明利用激光外差非接触测量方法,实现对磁盘盘片几何参数的测量。本仪器用气浮导轨驱动光学传感器作径向进给运动,用气浮轴承驱动被测磁盘盘片作回转运动,当...
  • 一种无参考平面的测量三维形状的光学方法及装置,它具有一个自动位相移动光栅结构的投射光源,电视摄象机,计算机图象处理系统,并设有多种输出。本发明首次提出虚参考平面测量物体表面绝对高度的投射方法。并采用自动相移,使求相位时间较常用的快速傅里...
  • 本发明涉及一种超薄透明介质膜厚度测量方法,属长度计量技术领域。本测量方法采用的光路由光源、反射棱镜、显微镜和光探测器组成,反射棱镜置于被测透明介质薄膜上。光源发出的入射光进入反射镜和透明介质膜后,返回反射棱镜,经反射棱镜反射后的光线进入...
  • 本发明提出一种新的双频激光准直测量方法,属于双频激光精密测量技术领域。其特点在于将双频激光束射入第一个双折射分光元件分成夹有一小角度的两束光,再经过第二个双折射分光元件变成平行光束,经反射体反射按原路返回,由光电接收器接收,做为测量信号...
  • 激光纵模分裂角度传感器,属于角度精密测量技术领域,本发明利用插入激光器中的晶体石英元件,使激光器输出包含两种频率的激光束,晶体石英旋转产生双折射效应,使两种频率差值随之改变,利用对该频率差值的接收、转换处理,得到石英元件的旋转角度值。本...
  • 本发明激光法直线测量管、线材直径属于测量技术,采用普通聚焦透镜利用相对法原理计量被测物直径,即平行光栅同时扫描被测物体和光栅,用光栅计量被测物。本发明可预置标准值、偏差值,由数码管显示测量值,有上、下限报警。本仪器操作简单,直观,具有很...
  • 一种测量点、线之间润滑油膜厚度的方法,属于薄膜厚度的测量方法。该方法用光线通过半透半反膜和要测的油膜,产生不同光程的反射,形成干涉环,干涉环上有明暗不同的光环,测出光环上各点的干涉光强,得出最大干涉光强,最小干涉光强及干涉环中心区的干涉...