磁盘表面参数测量仪制造技术

本发明专利技术涉及一种对磁盘盘片进行高精度、多种参数测量的表面参数测量仪，属测量仪器技术领域。本发明专利技术利用激光外差非接触测量方法，实现对磁盘盘片几何参数的测量。本仪器用气浮导轨驱动光学传感器作径向进给运动，用气浮轴承驱动被测磁盘盘片作回转运动，当被测盘片相对于光学传感器在垂直于测量轴的平面内作回转运动时，光学传感器沿导轨作径向运动，并对盘片作径向扫描，此时就获得整个盘片的信息。本测量仪可以同时对金属与非金属盘片进行盘片面形－－平面度的测量，又能对中等规模轮廓波度及盘片外径至内轮的轮廓进行测量。（*该技术在2011年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种对磁盘盘片进行高精度、多种参数测量的表面参数测量仪，属测量仪器
随着电子计算机技术及其应用的发展，对计算机外部磁盘存贮器提出了越来越高的要求，因此在科研和生产过程中提出了对磁盘盘片进行高精度、多种参数进行测量。目前磁盘盘片表面参数测量主要采用两种方法。第一种方法用电容传感器作为测量传感器。如美国Proquip公司生产的SU4050型磁盘盘片物理参数测量仪，其原理是根据被测对象与电容传感头之间形成的平行平板电容器的电容量与其两极板间的距离的关系进行测量。其缺点是只能用于测量导体的表面，由于受测头面积限制，测量精度较低，而且对今后发展起来的非金属盘基以及光盘无法测量。第二种方法是用光学非接触测量的方法，采用这种测量方法的有彩色纹影仪，它是利用自准直测量原理与现代光学的彩色编码技术进行测量，如“电子计算机外部设备”杂志1990年第一期介绍的“用彩色条纹干涉仪测试磁盘表面平坦度”。另一种方法是采用平面干涉测量法，如美国Tropel公司生产的Autosort Mark Ⅱ型干涉仪，它们的缺点是测量精度较低，只能测量盘片的宏观轮廓。本专利技术的目的是设计一种新本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种磁盘表面参数测量仪，包括气浮导轨及其驱动系统、气浮轴承及其驱动系统、气浮平台、空气净化器、减压调压系统，其特征在于还包括磁盘夹持器、光学传感器、采样控制器和电控系统，磁盘夹持器上放有被测磁盘，并由气浮轴承及驱动系统使其转动，光学传感器置于气浮导轨上，由驱动系统使其作直线运动，气浮轴承和气浮导轨都置于气浮平台上，采样控制器连接气浮轴承和电控系统。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：曹芒，李达成，赵洋，王佳，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]