本发明提供一种基板输送装置，基板输送装置（１００）将载置在机械手部（１０）上的基板Ｗ输送给处理装置或者规定的收容部，其中，具备支承作为上述机械手部（１０）的一端的根部侧并且使上述机械手部（１０）在其延长方向往复移动的移动组件（２０）；检...

一种移送装置，包括：供台车搬入的搬入区域（Ａ１）；具有为了在搬入区域从左右两侧以夹住的形式将台车抬起并定位于规定的高度位置，与台车可卡合和脱离地设置的左右的摆动臂（６０）的定位机构；以及在利用定位机构定位后的台车与移送区域之间移送被移送...

本发明提供一种基板输送系统，所述基板输送系统在收纳基板的第一以及第二收纳盒和对所述基板进行处理的处理装置之间输送基板，所述处理装置在与所述第一以及第二收纳盒的配置方向正交的方向与所述第一以及第二收纳盒分离地配置。该基板输送系统具备：同时...

本发明提供在基板的收纳盒和处理装置之间输送基板的基板输送系统。该基板输送系统具有：可同时输送多张基板的第一传送机，与所述第一传送机连续配置、在所述输送方向可将所述多张基板单独地输送的第二传送机，具有放置所述第二传送机上的所述基板的放置部...

一种部件移送装置，其包括：将部件定位在规定高度的搬运面（Ｓ）后予以保持的保持机构（２０）；以及将被保持机构保持在规定高度的搬运面上的部件沿水平方向拉出的拉出单元（４０）。拉出单元包括：能从上下方向可分开地将部件抓紧的抓紧构件（４３、４４...

一种部件移送装置及方法，为了对可将部件沿上下方向排列收纳的架子（Ｒ）进行部件的取出或回收，包括：装载构件（３０），该装载构件（３０）能装载架子的下侧框（Ｒ１）且被驱动而升降；上侧按压构件（５０），该上侧按压构件（５０）配置成从上方与装载...

基板输送系统，具备在预定的轨道（Ｒ）上往复移动的移动单元（１０），在沿轨道（Ｒ）配置的多个装置之中，从成为基板的输出原位的装置（２１０）向成为输出目的地的装置（２２０）输送基板，其中具备：配置在成为基板的输出原位的各个装置（２１１、２１...

本发明的滚筒单元和输送装置连续地排列在输送装置框架（１０、１０’）上，包括：具有能绕规定的轴线（Ａ）自由转动地得到支撑的圆筒部（１１１）并被驱动而旋转的旋转体（１１０）；能自由转动地被圆筒部的外周支撑、用外周面（１２１）来支承被搬运物的...

本发明的零件安装检测装置包括：检测零件的有无或者是否安装了零件的检测头部（７０）、在零件的安装方向上驱动检测头部的驱动机构（８０）。检测头部（７０）包括：具有能与零件的规定部接触的前端部的可动件（７２）、在安装方向上引导可动件自由往复运...

本发明提供一种再生装置以及再生方法。在清洗等处理中，在使用清洗液的同时，可以对使用过的清洗液进行再生，作为再生清洗液来再次使用。提供一种液体再生装置，其具备：对使用清洗液的处理装置的使用过的清洗液进行回收的回收单元；对回收的使用过的清洗...

本发明提供了一种卡环安装装置，其包括：引导筒（４０），该引导筒（４０）用于将卡环朝向安装槽引导，并划定出卡环的供应口侧的区域呈圆形截面、卡环的出口侧的区域呈椭圆截面、且从圆形截面连续变化到椭圆截面的引导通路（４１）；姿势改变按压机构（５...

本发明提供阀间隙的调节方法及调节装置，是使用了支点调节式的摇臂的汽缸盖的阀间隙调节方法，使调节螺钉向一方向旋转，经凸轮轴和凸轮轴抵接部抵接的阀打开量零的状态，拧入至阀以任意的阀打开量开放的状态后，使调节螺钉向反方向以任意的旋转角度旋转，...

一种生产装置，包括：被配置成对工件连续地进行多个处理的多个处理单元（４１～４５）；朝多个处理单元依次搬运工件的搬运单元（３０）；能进行多个处理单元的处理的监视以及涉及处理的调整操作或涉及整体的运转及停止的操作的多个显示操作盘（８０、９０...

一种输送装置，是能搬运零件装配件的输送装置，该零件装配件包括：具有划定阴螺纹的通孔的阴螺纹零件；从上方组装到阴螺纹零件的组装零件；以及从组装零件的上方与阴螺纹零件的阴螺纹螺合从而能固定组装零件的螺栓，在本发明的输送装置中，包括保持构件（...

一种工件检查搬运装置，包括：将工件从搬入区域搬运到搬出区域的搬运单元（４０、５０、６０）；以及对工件进行规定的检查的检查单元（７０），搬运单元使检查单元（７０）与工件一起移动，以一边利用检查单元进行检查一边将工件从搬入区域搬运到搬出区域...

本发明是测定第１部件（１１）和第２部件（１２）的对置面间的间隙（１３）的方法，具备：使具备比该间隙（１３）稍大的前端部（１４）的一对测定体直接抵接于上述间隙（１３），测定２个前端部（１４）之间的离开距离的步骤（Ｓ１）；以及以该前端部（１...

一种工件移送装置，包括：保持单元（１００），其能与作为被间歇驱动而进行移送的搬运机构的转台（２０）一体旋转，并能保持工件；升降驱动单元（２００），其驱动保持单元下降，从而将被保持单元保持的工件移送到处理台（３０）上，此外，其驱动保持单元...

一种生产装置，对将保持子零件的夹具固定于母零件而形成的被处理件，在排列为环状的多个处理区域（Ａ１～Ａ６）中依次进行规定的处理后，将夹具分离，从而生产零件装配件，包括旋转台主体（２０）、多个保持移送单元（３０）、多个装载部（４０）和多个处...

本发明提供一种过滤水监视装置以及过滤水监视系统，对膜过滤水净水系统可以一直进行监视，可以方便地对应不纯物的多寡、尺寸的不同。监视由膜过滤净水装置流出的过滤水的过滤水监视装置，其特征在于，具有图像检出装置以及／或光学检出装置，所述图像检出...

本发明提供一种自动仓库，该自动仓库(1)具有多个搁板(50)和传 送装置(20)，多个搁板(50)在水平方向上并列，层叠成一层或者多层， 分别进行保管物的保管，传送装置(20)与多个搁板之间进行保管物的交 接，多个搁板(50)全部由能在...