基板输送系统技术方案

本发明专利技术提供在基板的收纳盒和处理装置之间输送基板的基板输送系统。该基板输送系统具有：可同时输送多张基板的第一传送机，与所述第一传送机连续配置、在所述输送方向可将所述多张基板单独地输送的第二传送机，具有放置所述第二传送机上的所述基板的放置部、在所述第二传送机上在与所述输送方向正交的方向移动所述基板的移动单元，使所述放置部与所述第二传送机相对升降的升降单元。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及在收纳玻璃基板、液晶基板、PDP基板等的基板的收纳盒和处理所述基板的处理装置之间输送基板的输送系统。
技术介绍
在薄型显示器等的制造设备中，玻璃基板等的基板收纳于收纳盒内。另外，在基板 的处理时基板向处理装置输送，完成处理后再由收纳盒收纳。在这样的制造设备中，在收纳 盒和处理装置之间必须要有输送基板的输送系统。基板的输送系统要求具有对应于处理装 置的基板处理能力的输送能力。例如，在处理装置的基板处理能力超过输送系统的输送能 力时，在处理装置中产生基板输送等待的时间，制造效率恶化。因此，输送系统的基板输送 能力超过处理装置的基板处理能力是理想的。在日本特开2005-60110号公报中，公开了从多个收纳盒有选择地把基板输送到 处理装置的系统。在该系统中，基板的输送能力有赖于收纳盒的数目。因此，例如在一个收 纳盒和处理装置之间输送基板时，存在基板的输送能力比处理装置的处理能力差的情况。在日本特开平9-132309号公报中，公开了同时输送多张基板、在输送过程处理多 张基板的系统。在该系统中，处理装置必须同时交接多张基板。但是，在薄型显示器等的制 造设备中，多采用一张一张地进行基板交接的处理装置。该系统难以适用于采用了一张一 张地进行基板交接的处理装置的制造设备。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供与一张一张地交接基板的处理装置对应同时提高了基板的 输送能力的基板输送系统。根据本专利技术，提供一种基板输送系统，其在收纳基板的收纳盒和所述处理基板的 处理装置之间输送基板，其特征在于，具有配置在所述收纳盒侧、具有在与所述基板的输 送方向正交的方向可排列放置多张所述基板的宽度、在所述输送方向可同时输送所述多张 所述基板的第一传送机，在所述处理装置侧与所述第一传送机连续配置、具有可在与所述 输送方向正交的方向排列放置所述多张所述基板的宽度、在所述输送方向可单独地输送所 述多张基板的第二传送机，具有放置所述第二传送机上的所述基板的放置部、在所述第二 传送机上在与所述输送方向正交的方向移动所述基板的移动单元，使所述放置部与所述第 二传送机相对升降的升降单元。在本专利技术的基板输送系统中，通过设置所述第一传送机，在基板的输送途中可并 列输送多张基板，能够提高输送能力。另外，通过设置所述第二传送机、所述移动单元及所 述升降单元，能够相对于所述处理装置一张一张地交接基板。因此，可对应于一张一张地进 行基板交接的处理装置。另外，根据本专利技术，提供一种基板输送系统，其在收纳基板的第一及第二收纳盒和 在与所述第一及第二收纳盒的配置方向正交的方向从所述第一及第二收纳盒离开地配置并处理所述基板的处理装置之间输送基板，其特征在于，具有配置于所述第一收纳盒侧、 具有在与所述基板的输送方向正交的方向可排列放置多张所述基板的宽度、在所述输送方 向可同时输送所述多张所述基板的第一同时输送传送机，配置在所述第二收纳盒侧、具有 在与所述输送方向正交的方向可排列放置多张所述基板的宽度、在所述输送方向可同时输 送所述多张所述基板的第二同时输送传送机，在所述处理装置侧与所述第一同时输送传送 机连续配置、具有在与所述输送方向正交的方向可排列放置所述多张所述基板的宽度、可 把所述多张基板单独地向所述输送方向输送的第一单独输送传送机，在所述处理装置侧与 所述第二同时输送传送机连续配置、具有在与所述输送方向正交的方向可排列放置所述多 张所述基板的宽度、可把所述多张基板单独地向所述输送方向输送的第二单独输送传送 机，具有放置所述第一及第二单独输送传送机上的所述基板的放置部、跨越所述第一及第 二单独输送传送机、在与所述输送方向正交的方向移动所述基板的移动单元，使所述放置 部与所述第一及第二单独输送传送机相对升降的升降单元。在本专利技术的基板输送系统中，通过设置所述第一及第二同时输送传送机，在基板 的输送途中可并列输送多张基板，能够提高输送能力。另外，通过设置所述第一及第二单独 输送传送机、所述移动单元及所述升降单元，能够相对于所述处理装置一张一张地交接基 板。因此，可对应于一张一张地进行基板交接的处理装置。进而，通过所述移动单元跨在所 述第一及第二单独输送传送机移动所述基板，在所述处理装置和所述第一及第二收纳盒之 间可分别输送基板，能够提高基板的输送能力。另外，根据本专利技术，提供一种基板输送系统，其在收纳基板的第一及第二收纳盒和 在从所述第一及第二收纳盒离开配置并处理所述基板的处理装置之间输送基板，其特征在 于，具有配置于所述第一收纳盒侧、具有在与所述基板的输送方向正交的方向可排列放 置多张所述基板的宽度、在所述输送方向可同时输送所述多张所述基板的第一同时输送传 送机，配置在所述第二收纳盒侧、具有在与所述输送方向正交的方向可排列放置多张所述 基板的宽度、在所述输送方向可同时输送所述多张所述基板的第二同时输送传送机，在所 述处理装置侧与所述第一同时输送传送机连续配置、具有在与所述输送方向正交的方向可 排列放置所述多张所述基板的宽度、可把所述多张基板单独地向所述输送方向输送的单独 输送传送机，在所述处理装置侧与所述第二同时输送传送机连续配置、具有在与所述输送 方向正交的方向可排列放置所述多张所述基板的宽度的第三同时输送传送机，具有放置所 述单独输送传送机及所述第三同时输送传送机上的所述基板的放置部、跨越所述单独输送 传送机及所述第三同时输送传送机、在与所述输送方向正交的方向移动所述基板的移动单 元，使所述放置部与所述单独输送传送机与所述第三同时输送传送机相对升降的升降单兀。在本专利技术的基板输送系统中，通过设置所述第一及第二同时输送传送机，在基板 的输送途中可并列输送多张基板，能够提高输送能力。另外，通过设置所述单独输送传送 机、所述移动单元及所述升降单元，能够相对于所述处理装置一张一张地交接基板。因此， 可对应于一张一张地进行基板交接的处理装置。进而，通过所述移动单元跨越所述单独输 送传送机和所述第三同时输送传送机地移动所述基板，在所述处理装置和所述第一及第二 收纳盒之间可分别输送基板，能够提高基板的输送能力。附图说明图1是表示本专利技术的一实施方式的基板输送系统A的配置的平面图。图2是基板输送系统A的侧面图。图3是收纳盒10的立体图。图4是表示构成各传送机30、31及32的辊式传送机单元100及110的立体图。图5是表示收纳盒10中的玻璃基板W的收纳状态及移载传送机32上的玻璃基板 W的位置的例子(2例)的平面图。图6是一对升降装置80的立体图。图7是升降装置80的分解立体图。图8是表示把玻璃基板W从收纳盒10搬出时的、由升降装置80形成的收纳盒10 的升降动作的图。图9是放置部件56及57的立体图。图10是表示升降单元60的升降动作和与此相伴的放置部件56的升降的图。图11是表示基板输送系统A的控制装置200的构成的方框图。图12是表示从移载传送机32向同时输送传送机30输送玻璃基板Wl时的状态例 的图。图13是表示从移载传送机32向同时输送传送机30输送玻璃基板Wl时的状态另 一例的图。图14是表示从单独输送传送机31向处理装置20 —张一张地输送玻璃基板Wl的 例的图。图15是表示从单独输送传送机31向处理装置20 —张一张地输送玻璃基板Wl的 例的图。图16是表示从本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板输送系统，在收纳基板的收纳盒和处理所述基板的处理装置之间输送基板，其特征在于，具备：第一传送机，该第一传送机配置在所述收纳盒侧，具有能够在与所述基板的输送方向正交的方向排列放置多张所述基板的宽度，能够在所述输送方向同时输送所述多张基板，第二传送机，该第二传送机在所述处理装置侧与所述第一传送机连续配置，具有能够在与所述输送方向正交的方向上排列放置所述多张基板的宽度，能够在所述输送方向将所述多张基板单独地输送，移动单元，该移动单元具有放置所述第二传送机上的所述基板的放置部，在所述第二传送机上在与所述输送方向正交的方向移动所述基板，升降单元，该升降单元使所述放置部和所述第二传送机相对地升降。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：蒲生彻，堀健彦，
申请(专利权)人：平田机工株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]