本发明的基板输送装置，具备：在第一输送方向水平地输送的第一输送组件；将上述第一输送组件上的上述基板在与上述第一输送方向正交的第二输送方向水平地输送的第二输送组件。上述第一输送组件由相互在上述第一输送方向分离的多列第一输送单元构成，上述第...

本发明提供一种输送部的冷却方法以及输送装置，具备：输送变换器部件５０的输送用带２０、覆盖输送用带２０的一部分而加热变换器部件５０的加热炉１３、以及冷却输送用带２０的冷却机构，通过冷却机构对输送用带２０进行冷却，在输送变换器部件５０的输送...

一种输送系统，具备：在水平的输送轨道上，在预定的输送方向输送输送对象物的输送机构；分别设置在了在与输送方向正交的水平方向相互离开间隔的多个第一定位部上，在位于输送轨道上而与输送对象物的一方侧部接触的第一接触位置和不位于输送轨道上的第一待...

工件组装装置及其控制方法，具备将工件支承成水平状态的工件支承部；与工件支承部相比在上下方向上方在水平方向可移动地被支承的支承部件；相对于支承部件在上下方向可移动地被支承的作业部，用于对被支承在工件支承部上的工件上面或侧面的多个作业部位进...

一种工件自动作业装置，包括：将对工件（Ｗ）实施规定作业的作业头（９０）保持在前端的水平臂（８０）；驱动水平臂在水平方向上和铅垂面内自由移动的驱动机构（７０）；形成有供水平臂留有间隙地插入的开口部（６０ａ）、为将驱动机构与作业头隔开而沿铅...

本发明提供一种构造简单、能够将定位对象物在多维空间内在多轴方向上精密地定位的精密定位装置。在多轴方向上具有自由度的精密定位装置（１）具备１个一体构造物（２）、和多个伸缩驱动器（４ａ、４ｂ、４ｃ）；定位对象物的各轴方向的移动是通过使定位对...

提供一种廉价、能够短时间地进行指示的向机器人指示工件交接位置的指示装置和指示方法。在可动侧的机器人手（２）与固定侧的工件安放台（８）之间进行工件交接时预先向机器人指示工件交接位置以免工件的中心位置偏移的向机器人指示工件交接位置的指示装置...

本发明的基板输出输入装置（１００）以及基板输出输入方法用于从托盘取出基板，或者将基板输入到托盘中。首先，在输送器（１０３）的规定位置上进行托板（１０１）的定位，在进行了该定位的状态下，借助托盘夹具（１０７）将叠置在托板上的多层托盘（１０...

本发明的目的在于提供一种搬送装置，其使搬送对象物以不从辊子脱落的方式沿搬送方向进行引导，同时，使邻接的辊子间的间距变窄。本发明的搬送装置具备排列在搬送对象物的搬送方向上且载置上述搬送对象物的多个辊子，其特征在于：上述多个辊子包括第一辊子...

本发明容器输送装置，为了在湾区内的多个处理装置（１－ｎ）间输送这样的容器（３）而使用：该容器以密闭状态收容有半导体晶片或液晶显示板等、要求将表面保持在不受污染的状态下进行输送的物品，具备：输送机（５），沿着多个处理装置（１－ｎ）的排列方...

本发明的目的在于提供一种在试样的搬运中不用担心产生腐蚀或附着尘埃的供料口。本发明的供料口，具有：设置在大气侧搬运装置（５）的前面一侧、放置容纳了在前面一侧的被处理对象的试样的容器（１５）的工作台（２４）和将大气侧搬运装置（５）的搬运室（...

本发明的目的是提供一种工件输送系统，所述工件输送系统，在输送的过程中，基板等不会倾斜，可以在定位的状态下输送工件。在本发明的工件输送系统中，第一及第二接触部分别与工件的对向的两端缘接触，可以进行工件的定位，同时，在定位的状态下输送工件。...

本发明的工件搬入搬出系统包括：搬运装置，在以大致水平姿势从下面侧支承方形板状的工件，并沿大致水平方向搬运该工件；存放盒，具备沿上下方向形成多层并具有搬运装置能通过的开口部且以大致水平姿势放置所述工件的多个放置部、形成工件的搬入搬出口的侧...

本发明的目的在于当利用空气使工件成为漂浮状态时使工件更加稳定地漂浮。本发明的工件存放装置利用由升降机构产生的升降动作使空气喷出机构进入存放盒内，利用空气喷出机构使从存放盒向外部搬出的工件漂浮，其特征在于，设有从空气喷出机构的上面突出且与...

一种传送装置，包括：将以一定宽度向被搬送物的搬送方向伸长的左右一对间隙部划定的壳体；为承载搬送被搬送物而配置在左右一对间隙部附近或邻接的区域并支承在壳体上的搬送体；为驱动搬送体而配置在壳体内部空间的驱动机构；对内部空间进行吸引的吸引单元...

本发明提供了一种使用低压或少量的气流使板状物充分上浮，并使该状态达到稳定的气流输送装置及用于该气流输送装置的喷嘴板。在利用从多个倾斜喷射孔喷射的气体使板状物上浮，保持非接触状态的同时，向规定的输送方向输送的气流输送装置中，该装置使用的喷...

一种搬运机器人（Ａ），具有保持工件（Ｗ）的机械手（１３）、放置工件（Ｗ）的放置部（１２）、使上述机械手（１３）往复移动的移动构件（１４）。

本发明的生产系统，具有：可划分多个手工作业区域（Ａ）并可搬送工件（Ｗ）的主搬送线（１０）；支承工件并沿着主搬送线在规定区间作往返移动的穿梭板（３０）；在规定的区间使穿梭板往返移动的穿梭板搬送线（２０）；沿穿梭板搬送线在与主搬送线相反一侧...

一种工件装卸装置，包含：对可收容工件的通用托盘（Ｔ１）进行保持并可沿左右方向（Ｙ）移动的通用托盘保持单元（１０）；处理用托盘保持单元（２０），该处理用托盘保持单元与通用托盘保持单元（１０）邻接并排列在前后方向（Ｘ）的后方，对相对于处理区...

用于为了确保从膜过滤净水装置（３０）排出的过滤水的安全性，而检测该过滤介质的损伤并监视其性能劣化的过滤水监视装置具备：分支过滤水管路系统（４），从连接在膜过滤净水装置３０的出口的过滤水管路系统分支；过滤水观察用板（１０），设置在该分支过...