容器输送装置制造方法及图纸

本发明专利技术容器输送装置，为了在湾区内的多个处理装置（１－ｎ）间输送这样的容器（３）而使用：该容器以密闭状态收容有半导体晶片或液晶显示板等、要求将表面保持在不受污染的状态下进行输送的物品，具备：输送机（５），沿着多个处理装置（１－ｎ）的排列方向配设在湾区内的顶棚空间中，用来使上述容器（３）在载置于平板架（６）上的状态下移动；升降装置（７），设在配置于升降机（５）的下方的多个处理装置（１－ｎ）的各装卸端口（４），用来在装卸端口（４）与输送机（５）之间使容器（３）升降；以及，板架插脱机构（２０），将平板架（６）相对于输送机（５）插脱。根据该容器输送装置，能够实现湾区内的空间的进一步紧凑化，并且能够实现容器输送的更加稳定和安全。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及容器输送装置，特别涉及为了在多个处理装置间输送以密闭状态收容有半导体晶片或液晶显示板等、要求将表面保持在不受污染的状态下进行输送的物品的容器而使用的容器输送装置。
技术介绍
如果尘埃及气化的有机物等的杂质附着在半导体晶片的表面上，则晶片被污染，使产品的成品率、即良品率降低。所以，在将晶片在多个各种处理装置间输送时，将多片晶片收纳在称作FOUP(FrontOpening Unified Pod，晶圆传送盒)的密闭的清洁度较高的容器中、按FOUP来输送。此外，将该输送空间及处理装置自身也维持为清洁度较高的环境是很重要的，将包围处理装置的湾区(Bay area)内的空间构成为无尘室。由于为了维持这样的无尘室要花费较高的成本，所以怎样合理的配置输送装置及处理装置、人的作业区域来紧凑地构成无尘室成为重要的关注问题。不仅是无尘室，一般为了应对湾区内的空间的紧凑化而不将输送装置配置在地面上、而是配置在空中的空间中。如果这样，则能够将输送装置的下方的空间作为容器的待机场所(缓存)使用、或将输送装置以多段构成来提高输送能力及输送效率、或作为人的作业区域使用，能够有利于用来维持无尘室的成本的削减、输送效率的提高等。作为使用这样的顶棚行驶式的输送装置的这种容器输送装置之一，有在日本专利特表平14-532362号公报中记载的装置。在该文献中，该输送装置被称作收容半导体晶片的容器等的“用来移送物品的综合系统”，具备以下所述那样的结构。另外，这里所谓的“物品”是指容器等，而不是指被收容在容器等中的内容物。在湾区内的空中空间中，用来移动物品的输送机沿着多个处理装置的排列方向配设。在该输送机中安装有升降机系统，该升降机系统具备升降装置，该升降装置构成为，卡合在由输送机运送的物品上、并且使该物品上升到输送机的上方。该升降装置能够在可进行沿着通过该升降装置的输送机路径的物品的移动的待机位置、和将该物品保持在输送机的上方的动作位置之间移动。该综合系统还具备储存支撑组件，用来在缓冲区中支撑物品；位移机构，用来使物品在升降装置的动作位置和储存支撑组件之间移动；工作站支撑组件(装卸端口)，用来在接近于工作站(处理装置)的工作站内支撑物品；移送臂，构成为，在沿着输送机路径的水平方向及垂直方向上移动；夹钳，构成为，安装在该移送臂上、并且把持物品；控制器，用来控制移送臂的移动。并且，该移送臂在俯视下在由输送机和工作台夹着的区域内沿水平方向及垂直方向移动，在储存支撑组件和工作站支撑组件之间移送物品。因而，该综合系统为了将输送机上的物品移送到工作站支撑组件并相反地移送，需要升降装置、位移装置、移送臂的各动作，并且在此期间需要用来在缓冲区内支撑物品的储存支撑组件。因此，为了在输送机与多个工作站之间移送物品，通过这些装置、机构的组合一种形式就够了，而另一方面，装置、机构的种类增加，系统的动作复杂化。此外，由于移送臂的移动空间与输送机的行驶空间在俯视下相邻，所以特别在输送机的下方容易产生比较大的浪费的空间等，在输送机内的空间的紧凑化的方面来看，还存在改善的余地。进而，在该综合系统中，由于物品被直接载置到输送机的上方进行输送，所以不能说没有损害输送的稳定的可能性。专利文献1特表平14-532362号公报
技术实现思路
本专利技术的目的是解决以往的容器输送装置所具有的上述那样的问题，提供一种实现湾区内的空间的进一步的紧凑化、并且能够实现容器输送的更稳定和安全的容器输送装置。根据本专利技术，通过如下的容器输送装置解决了这样的课题。即，该容器输送装置是为了在湾区内的多个处理装置间输送这样的容器而使用该容器以密闭状态收容有半导体晶片或液晶显示板等、要求将表面保持在不受污染的状态下进行输送的物品，其特征在于，具备输送机，沿着多个上述处理装置的排列方向配设在上述湾区内的顶棚空间中，用来使上述容器在载置于平板架上的状态下移动；升降装置，设在配置于上述升降机的下方的多个上述处理装置的各装卸端口，用来在上述装卸端口与上述输送机之间使上述容器升降；以及，平板架插脱机构，将上述平板架相对于上述输送机插脱；在上述升降装置使上述容器上升到比上述输送机稍高的位置为止、并将上述容器保持在该位置上的状态下，上述平板架插脱机构使载置有上述容器的上述平板架插入到上述输送机上或从上述输送机上脱离。根据该容器输送装置，该升降机构在该升降装置使容器上升到比升降机稍高的位置、将该容器保持在该位置上的状态下，通过平板架插脱机构将平板架插入到输送机上或使其从输送机上脱离，能够将该容器投入到输送线上或使其从输送线脱离，而使其下降到装卸端口。结果，通过升降装置、平板架插脱机构的两种装置、机构的联动，能够将升降机上的容器移送到预定的处理装置的装卸端口，并且，能够从预定的处理装置的装卸端口再次经由输送机移送到其他预定的处理装置的装卸端口，使容器输送装置作为整体的动作较简单化，使其控制简单化。此外，在通过升降机构及平板架插脱机构的动作而使容器从输送线脱离、下降到装卸端口、再次回到输送线上的期间，不会给输送机上游侧的容器的沿着输送线的移动带来障碍。进而，由于容器在载置于平板架上的状态下被输送机输送，所以使容器的输送稳定化。在优选的实施方式中，设有将相邻的装卸端口之间分隔的垂直壁；升降装置的驱动机构被安装在该垂直壁上。由此，由于垂直壁作为安全盖起作用，所以对于载置于在输送机与装卸端口之间移送中的容器或装卸端口上的容器，防止了容易下落等的事故，是较安全的，此外，对于作业者确保了作业的安全性。此外，由于垂直壁兼作为升降装置的驱动机构的安装部，所以能够将升降装置紧凑地构成。专利技术的效果如上所述，根据本专利技术的容器输送装置，通过升降装置、平板架插脱机构的两种装置、机构的联动，能够将升降机上的容器移送到预定的处理装置的装卸端口，并且，能够从预定的处理装置的装卸端口再次经由输送机移送到其他预定的处理装置的装卸端口，使作为容器输送装置整体的动作较简单化，使其控制也简单化。此外，在通过升降装置及平板架插脱机构的动作而使容器从输送线脱离、下降到装卸端口、再次回到输送线上的期间，不会给输送机上游侧的容器的沿着输送线的移动带来障碍。进而，由于容器在载置于平板架上的状态下被输送机输送，所以使容器的输送稳定化。此外，通过设有将相邻的装卸端口之间分隔的垂直壁、升降装置的驱动机构被安装在该垂直壁上，由于垂直壁作为安全盖起作用，所以对于载置于在输送机与装卸端口之间移送中的容器或装卸端口上的容器，防止了容易下落等的事故，是较安全的，此外，对于作业者确保了作业的安全性。并且，由于垂直壁兼作为升降装置的驱动机构的安装部，所以能够将升降装置紧凑地构成。附图说明图1是应用了本实施例的容器输送装置的半导体制造装置的一个湾区内的一部分的立体图。图2是图1的部分放大图。图3是该湾区内的一部分的主视图。图4是图3的部分放大图。图5是图4的右侧视图。图6是将相邻的装卸端口间分隔的垂直壁的主视图，是表示收容在内部的升降机构的图。图7是图6的左侧视图。符号说明1-n 处理装置；2-n FOUP开启器；3 FOUP；4 装卸端口；5 输送机；5a、5b 轨条；6 平板架；7 升降装置；7a、7b 驱动侧、被驱动侧升降装置部分；8 垂直壁；9 肩板本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种容器输送装置，为了在湾区内的多个处理装置间输送这样的容器而使用：该容器以密闭状态收容有半导体晶片或液晶显示板等、要求将表面保持在不受污染的状态下进行输送的物品，其特征在于，具备：输送机，沿着多个上述处理装置的排列方向配设在上述湾区内的顶棚空间中，用来使上述容器在载置于平板架上的状态下移动；升降装置，设在配置于上述升降机的下方的多个上述处理装置的各装卸端口，用来在上述装卸端口与上述输送机之间使上述容器升降；以及，平板架插脱机构，将上述平板架相对于上述输送机插脱；在上述升降装置使上述容器上升到比上述输送机稍高的位置为止、并将上述容器保持在该位置上的状态下，上述平板架插脱机构使载置有上述容器的上述平板架插入到上述输送机上或从上述输送机上脱离。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种容器输送装置，为了在湾区内的多个处理装置间输送这样的容器而使用该容器以密闭状态收容有半导体晶片或液晶显示板等、要求将表面保持在不受污染的状态下进行输送的物品，其特征在于，具备输送机，沿着多个上述处理装置的排列方向配设在上述湾区内的顶棚空间中，用来使上述容器在载置于平板架上的状态下移动；升降装置，设在配置于上述升降机的下方的多个上述处理装置的各装卸端口，用来在上述装卸端口与上述输送...

【专利技术属性】
技术研发人员：橘胜义，
申请(专利权)人：平田机工株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]