提供一种闸阀的动作次数少即可的扬尘量少的装载锁定腔室。该装载锁定腔室具备：框体，其具有送入送出基板的开口部；闸阀机构，其能够将所述开口部气密地密封；多段的基板载置部，其设置在所述框体的内部，用于载置所述基板；升降机构，其使所述基板载置部...

本发明提供一种基板输送装置，装置结构紧凑且基板处理的吞吐量高。该基板输送装置具备基板输送模块和设置在该基板输送模块的内部的大气输送机器人，所述大气输送机器人具有相对于所述基板输送模块行进自如的机器人基部。所述基板输送装置还具备基板对准器...

本发明提供一种作业系统以及作业方法。该作业系统具备第一作业站以及第二作业站。所述第一作业站具备第一输送单元、第二输送单元、第一定位单元、以及对定位在所述第一输送单元上的工件进行规定的作业的第一作业单元。所述第二作业站具备第三输送单元、第...

一种搬送装置、被驱动单元、辅助单元及托盘，搬送装置(3)具备一对第一支承框架(31)及第二支承框架(30)、驱动单元(32)、被驱动单元(41)、辅助单元(42)和停止单元(5)，该一对第一支承框架(31)及第二支承框架(30)相互平行...

动作装置具备：可转动的动体部、用来驱动动体部的第1驱动部、及用来检测动体部的转动位置的第1检测部。动作装置的校准方法包含：定位步骤、判断步骤、登记步骤；上述定位步骤，将动体部定位到从预定的多个基准位置中选择的一个基准位置；上述判断步骤，...

一种搬运装置及控制方法，该搬运装置具备搬运组件、保护材料载置部、容器载置部、控制组件、安装判定组件和整合性判定组件，该搬运组件在进行捆包动作及解捆动作的各动作之际搬运保护材料，该捆包动作是在容器内形成前述保护材料与基板的层叠体的动作，该...

本发明提供搬送机器人的设置、拆卸等维护作业性优异的腔室构造。在设置于搬送腔室(1)的搬送室(11)的底部(13)的开口部经由机器人基座部件(20)安装搬送机器人(3)的腔室构造，在所述开口部的下侧设置有机器人基座部件(20)，搬送机器人...

装载端口包括：第一销，该第一销在对接板上突伸并且设置在对接板上以便被向下推；以及第一检测单元，该第一检测单元被设置在基部上并且被构造成检测对接板位于第一位置。所述第一检测单元包括：能够在所述对接板的运动方向上移位的可动构件；以及被构造成...

本发明提供能够利用比较紧凑的机构移动移送板且不受设置环境等影响的装载端口。具备移动移送板的凸轮机构。所述凸轮机构包括驱动机构和形成有凸轮槽的凸轮板。所述驱动机构包括：旋转驱动单元；旋转轴，其利用该旋转驱动单元进行旋转；长片状的旋转构件，...

本发明涉及驱动装置以及输送装置。可以抑制装置内的颗粒向装置外泄漏，并且使装置外的空气难以导入装置的内部空间。驱动装置具备：旋转体，所述旋转体的至少下方部为圆筒状的被旋转部；壳体，所述壳体具有供所述被旋转部插通的顶板部；驱动机构，所述驱动...

一种涂敷系统、作业系统及姿势变化单元，其具备涂敷单元和移动装置，涂敷单元具备向工件排出密封剂的喷嘴，移动装置使涂敷单元移动。移动装置包括可动单元、升降单元和姿势变化单元，可动单元被设置成可在第一水平方向移动，在与第一水平方向正交的第二水...

一种对准晶圆的凹口部分的对准装置，其包括保持晶圆的载置台、移动载置台的移动单元、检测凹口部分的周向位置的凹口部分检测单元、以及通过移动单元控制载置台的位置的控制器。载置台包括载置台主体部分和附接至载置台主体部分中的开口以保持晶圆的衬垫构...

本发明涉及标本制作方法及标本制作装置，前述标本制作方法是一种标本制作方法，其是将被观察物载置在透光性的平板上制作观察标本的标本制作方法，其特征在于，包括运送工序和移载工序，该运送工序由具备载置前述被观察物的载置部的运送机构运送前述被观察...

本发明提供一种搬运装置(1)，包括：保持部(10)，其保持被搬运物(T)；支承部件(30)，其将所述保持部支承为摆动自如；多个悬挂部件(21a、21b)，该多个悬挂部件(21a、21b)的前端与所述支承部件连结，并经由所述支承部件来悬挂...

一种加工系统及加工方法，其能效率良好地进行板状的工件的双面的缘的加工。该加工系统具备加工板状的工件的上面缘及下面缘的加工单元和可移动它的移动装置，上述加工单元包括旋转刀具；在加工时与工件的上面抵接的上面抵接构件；在加工时与工件的端面抵接...

本发明提供一种激光处理装置，具备第一板及设于所述第一板的上表面的至少一个激光单元，所述激光单元具备：第二板，其形成为规定的厚度；激光射出单元，其射出激光；光学系统单元，其对激光进行导光；以及激光照射单元，其将经由所述光学系统单元而射入的...

本发明提供一种激光处理装置，其包括：未处理工件的供给单元；已处理工件的搬出单元；设于两个单元之间的搬运路径；与该搬运路径相邻的两个处理区域；将工件供给至两个处理区域的搬运机；从处理区域搬出工件的搬运机；激光振荡单元；将由该激光振荡单元产...

本发明提供采用具备搬运装置(10)和收容装置(50)的搬运系统，搬运装置(10)搬运工件(W)，收容装置(50)具有重叠配置的多个搁板(52)，在这多个搁板(52)收容工件(W)并在与搬运装置(10)之间进行工件(W)的搬入及搬出。搬运...

一种运送方法及运送装置，该运送方法是将运送对象物搭载在滑块上进行运送的运送方法，其特征在于，所述滑块和滚珠螺母连结，该滚珠螺母与滚珠丝杆轴进行螺纹配合，所述运送方法包括由电动马达使所述滚珠丝杆轴旋转的工序；由非电动式的阻力可变单元对所述...

一种能检测内部是否实际有人的输送腔室。输送腔室(1A)具有：腔室主体部(11)，内部设置有输送基板的输送装置；以及腔室侧部(12a、12b)，与腔室主体部(11)一起形成内部空间，其中，输送腔室(1A)在其上部具有开口部(24)，在开口...