输送腔室制造技术

一种能检测内部是否实际有人的输送腔室。输送腔室(1A)具有：腔室主体部(11)，内部设置有输送基板的输送装置；以及腔室侧部(12a、12b)，与腔室主体部(11)一起形成内部空间，其中，输送腔室(1A)在其上部具有开口部(24)，在开口部(24)的周缘的至少一部分设置有反射构件(41(41a、41b))。

Conveying chamber

The utility model relates to a conveying chamber capable of detecting whether there is actually someone inside. The conveying chamber (1A) has: the main part (11) of the chamber, a conveying device with a conveying base plate inside; and the side part (12a, 12b) of the chamber, which forms an internal space together with the main part (11) of the chamber, wherein the conveying chamber (1A) has an opening (24) on its upper part and a reflecting member (41 (41a, 41b) on at least part of the periphery of the opening (24).

【技术实现步骤摘要】
输送腔室
本专利技术涉及一种在液晶面板、有机EL面板等的制造工序中用于玻璃基板等的输送等的输送腔室。
技术介绍
根据专利文献1等，已知一种用于半导体装置等的制造的基板处理装置。专利文献1提出一种能掌握操作者是否位于腔室(洁净间)内的装置。在专利文献1的装置中，用包围装置包围基板处理装置，并使用检测是否有人进入包围装置内的检测装置，来检测是否有人进入包围装置内部。而作为基板处理装置，有一种将多个工艺腔室簇状配置于收容有输送机器人的输送腔室(例如，真空腔室)的周围的基板处理装置。近年来基板大型化的结果是，输送腔室大型化到了人能进入其内部的程度。实际上，有时在对输送腔室、输送机器人进行检修时等情况下，人会进出输送腔室内。在专利文献1的装置中，虽然能检测是否有人进入包围装置，但无法检测腔室内是否实际有人。此外，在大型的输送腔室中，由于内部空间也大，因此从腔室上部的开口部进行视觉确认时会产生死角。为了消除该死角，可以考虑在输送腔室设置观察窗的方案。但是，设置观察窗则必须确保观察窗与输送腔室之间的密封性，从制造、管理上的观点来看不太理想。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2002-64300号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的问题因此，本专利技术的目的在于提供一种能检测内部是否实际有人的输送腔室。用于解决问题的方案为了实现上述目的，本专利技术的输送腔室具有：腔室主体部，内部设置有输送基板的输送装置；以及腔室侧部，与所述腔室主体部一起形成内部空间，其中，所述输送腔室在其上部具有开口部，在所述开口部的周缘的至少一部分设置有反射构件。根据上述构成，能通过反射构件直接观察输送腔室的内部空间，因此能可靠地掌握在内部空间中是否有人。此外，本专利技术的输送腔室优选具有：拍摄单元，与所述反射构件对置地设置于所述开口部的周缘，拍摄所述内部空间。根据上述构成，能使用拍摄单元来系统上判定内部空间中是否有人。此外，本专利技术的输送腔室优选具有：第一驱动单元，纵摇驱动和/或横摇驱动所述拍摄单元。根据上述构成，能通过一台拍摄单元拍摄内部空间的宽广范围。而在使用多台拍摄单元的情况下，也能以更少的台数拍摄整体。此外，本专利技术的输送腔室优选具有：第二驱动单元，纵摇驱动和/或横摇驱动所述反射构件。根据上述构成，即使是反射面积小的反射构件，也能大范围观察输送腔室的内部空间。此外，本专利技术的输送腔室优选具有：第三驱动单元，使所述拍摄单元向上下方向以及左右方向的至少一个方向移动。根据上述构成，即使只有一台拍摄单元，也能大范围拍摄输送腔室的内部空间。而在使用多台拍摄单元的情况下，也能以更少的台数拍摄输送腔室的整个内部空间。此外，本专利技术的输送腔室优选具有：发送单元，将由所述拍摄单元拍摄到的所述内部空间的图像作为数据进行发送。根据上述构成，远距离也能确认输送腔室的内部空间的状态。此外，本专利技术的输送腔室优选具有：显示单元，接收并显示所述发送单元发送出的所述数据。根据上述构成，例如远距离也能基于由显示单元显示的数据来确认输送腔室的内部空间的状态。此外，本专利技术的输送腔室优选具有：异常通知单元，解析所述内部空间的图像并判定所述内部空间有无异常，当存在异常时，通知异常。根据上述构成，还能使用例如声、光等来通知输送腔室的内部空间中存在异常。此外，本专利技术的输送腔室优选所述反射构件设置于所述开口部的上侧周缘。在输送腔室的内部空间内设置反射构件时，为了避免输送装置与反射构件的干扰，需要额外提高输送腔室的高度，导致内部空间的容积增大。通过将反射构件设置于开口部的上侧周缘，输送装置与反射构件之间不会干扰，能抑制内部空间的容积变大。专利技术效果根据本专利技术的输送腔室，能检测内部是否实际有人。附图说明图1是具备输送腔室的基板处理装置的概要图。图2是输送腔室的立体图。(a)表示卸下顶板的状态，(b)表示嵌有顶板的状态。图3是本专利技术的第一实施方式的输送腔室(维护时)的立体图。图4是图3所示的输送腔室的IV-IV线剖面图。图5是第二实施方式的输送腔室的俯视图。图6是第二实施方式的输送腔室的侧视图。图7是第三实施方式的输送腔室的俯视图。图8是第三实施方式的输送腔室的侧视图。图9是第四实施方式的输送腔室的俯视图。图10是第四实施方式的输送腔室的侧视图。附图标记说明1：输送腔室；7：负载锁定室；8a～8e：工艺腔室；11：腔室主体部；12(12a、12b)：腔室侧部；13：输送装置；14：顶板；24：开口部；S1、S2a、S2b：内部空间；41(41a～41d)：镜(反射构件的一例)；43a、43b：镜驱动单元(第二驱动单元的一例)；51：摄像机(拍摄单元的一例)；52：摄像机驱动单元(第一驱动单元的一例)；53：发送单元；61(61a～61d)：导轨构件；62：行走机构；63：摄像机驱动单元(第三驱动单元的一例)；64：摄像机驱动单元(第三驱动单元的一例)；100：基板处理装置。具体实施方式以下，参照附图，对本实施方式的输送腔室的一例进行说明。在此，首先，对具备输送腔室的基板处理装置进行说明。在此列举的基板处理装置是用于对平板显示器(FPD)用的玻璃基板(以下，简称为“基板”)进行刻蚀处理的多腔室型的装置。作为FPD，例如可以列举出：液晶显示器(LCD)、发光二极管(LED)显示器、电致发光(EL)显示器、荧光显示管(VFD)、等离子体显示器面板(PDP)等。图1是基板处理装置的概要图。如图1所示，基板处理装置100在其中央部配置有输送腔室1。在输送腔室1的周围，配置有作为真空预备室的负载锁定室7、和作为真空处理室的多个(本例中为五个)工艺腔室8a～8e。工艺腔室8a～8e能构成为成膜处理室、刻蚀处理室、灰化处理室等。需要说明的是，本例的输送腔室1构成为在周围配置有负载锁定室7和工艺腔室8a～8e共六个室的形状，例如俯视呈大致六边形，整体呈六面体形状，但配置室数以及整体形状并不限定于此。在输送腔室1与负载锁定室7之间，设置有气密性地密封其间且可开关地构成的闸阀15。此外，在输送腔室1与各工艺腔室8a～8e之间、以及连通负载锁定室7与外侧的大气环境的开口部，也同样分别设置有闸阀15。在负载锁定室7的外侧，配置有收容基板的三个盒体(Cassette)9。在这些盒体9中收容例如未处理的基板、处理完的基板。在这三个盒体9之间，配置有基板输送装置90。基板输送装置90具有：滑臂部，载置基板；以及基部，可进退以及旋转地支承滑臂部。输送腔室1具有：腔室主体部11，内部设置有用于输送基板的输送装置13；以及腔室侧部12，与腔室主体部11一起形成输送腔室1的内部空间。输送腔室1构成为能保持其内部空间为规定的减压环境(例如，真空环境下)。在输送腔室1中，通过设置于腔室主体部11的输送装置13，在负载锁定室7以及工艺腔室8a～8e之间进行基板的移载。输送装置13具有：基座部、下段机械手基座(handbase)13b、以及上段机械手基座13d。基座部具备：驱动机构部，设置于腔室主体部11的大致中央部，使输送装置13升降和旋转；以及被驱动部，设置成相对于驱动机构部旋转和升降自如。在该被驱动部设置有下段机械手基座13b以及上段机械手基座13d。被驱动部具备用于使下段机械手基座13b和上段机械手基座13d相对于被驱动部进退移动的驱动器、引本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种输送腔室，具有：腔室主体部，内部设置有输送基板的输送装置；以及腔室侧部，与所述腔室主体部一起形成内部空间，其中，所述输送腔室在其上部具有开口部，在所述开口部的周缘的至少一部分设置有反射构件。

【技术特征摘要】
2017.11.13 JP 2017-2183371.一种输送腔室，具有：腔室主体部，内部设置有输送基板的输送装置；以及腔室侧部，与所述腔室主体部一起形成内部空间，其中，所述输送腔室在其上部具有开口部，在所述开口部的周缘的至少一部分设置有反射构件。2.根据权利要求1所述的输送腔室，其中，具有：拍摄单元，与所述反射构件对置地设置于所述开口部的周缘，拍摄所述内部空间。3.根据权利要求2所述的输送腔室，其中，具有：第一驱动单元，纵摇驱动和/或横摇驱动所述拍摄单元。4.根据权利要求1所述的输送腔室，其中，具有：第二驱动单元，纵...

【专利技术属性】
技术研发人员：巢山大辅，吉田裕贵，田边广太，天野洋一，山田洋平，末木英人，
申请(专利权)人：平田机工株式会社，东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP