本发明专利技术提供一种再生装置以及再生方法。在清洗等处理中，在使用清洗液的同时，可以对使用过的清洗液进行再生，作为再生清洗液来再次使用。提供一种液体再生装置，其具备：对使用清洗液的处理装置的使用过的清洗液进行回收的回收单元；对回收的使用过的清洗液进行再生的再生单元；向所述处理装置供给所述再生清洗液的供给单元；以及控制所述回收单元、所述再生单元以及所述供给单元的控制单元。为了使所述处理装置和所述再生单元可以同时运转，还可以具备在它们之间供给使用过的清洗液以及所述再生清洗液的连接单元。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及在液晶或半导体等中使用的清洗液以及其他液体的液体。
技术介绍
目前，清洗液等一旦被使用过后就原样地被废弃，或者可以将其贮存在废弃罐中进行另外的再生处理，作为相同的清洗液等来使用，或者用于其他的用途。例如，在使用狭缝喷嘴进行涂敷的方法中，在涂敷工序中为了清洗不需要涂敷的部分或装置，至今仍使用大量的清洗液，将使用完的清洗液贮存在预定的贮存罐中，并实施另外的处理。该处理的结果，可以作为再生清洗液用于以下的场合。即，需要始终清洗表面的底漆涂敷辊(priming roller) -使用大量的清洗液来进行清洗，当只通过未使用的清洗液来进行清洗时，需要使用大量的清洗液以及废弃大量的使用过的清洗液，所以是与节省资源相违背的。因此，例如在专利文献1中，把已经用于清洗底漆涂敷辊的清洗液(上述进行了另外再生处理后的清洗液)用于预备清洗，把干净的清洗液(未使用过的清洗液)用于精洗，由此来谋求尽可能地削减使用的清洗液。但是，即使对预备清洗以及精洗使用各自不同的清洗液，但仍然要废弃某种清洗液，结果需要大量的清洗液。传统上， 一直是废弃已经使用过的清洗液，但出于环境的考虑或者为了削减清洗液的成本，在本公司配备大型的再生装置(专利文献2)，或者最近还委托再循环利用业者进行再生利用。假设即使在贮存已使用过的清洗液，通过另外的提炼装置进行再利用时，仍然需要贮存量较大的清洗液。此外，还销售如果放入数公升的已使用过的清洗液，则在数小时后能得到再生清洗液的单体的清洗液再循环利用机构。但是，因为该清洗液再循环利用机构是可以批量处理少量的清洗液的程度的机构，所以虽然也许能用于涂敷现场等，但是不适用于连续使用大量清洗液的工厂等。专利文献l:特开2005-329340号公报专利文献2:特开平9-49093号公报
技术实现思路
在本公司内配备有大型的清洗液再生装置时，或者在由再循环利用业者进行再生时，对从所有工序排出的清洗液进行回收，并进行再生。因此，除了清洗液之外还混入了数种类的处理液，为了像专利文献2那样能够分离低';弗点污染成分和高沸点污染成分，需要使用具备蒸发部以及精馏部的复杂的结构。在本公司不具备大型的清洗液再生装置的工厂中，必须贮存已经使用过的清洗液，并定期地交给再循环利用业者，这样需要确保用于贮存的空间，并且因为到再生为止需要某种程度的时间，所以必须准备相当量的清洗液。本专利技术是鉴于这样的情况而提出的，其目的在于提供一种可以即时自动地对处理装置排出的已^f吏用过的清洗液进行再生处理，并且再次自动地向处理装置供给再生后的清洗液的装置和方法。为了解决上述课题，提供一种液体再生装置，其包含回收已使用过的液体(包含清洗液)的回收单元；对该已使用过的液体进行再生使其成为再生液体的液体再生装置。作为具体的应用例，提供一种液体再生装置，在具备清洗功能的处理装置中包含对用于清洗后的结果的，包含其他种类的化合物的已使用过的清洗液(以下称为"使用清洗液'，)进行回收的回收单元；对使用清洗液进行再生，生成再生后的清洗液(以下称为"再生清洗液，，)的再生单元；以及向所述处理装置供给该再生清洗液的供给单元。通常，从一个处理装置排出的清洗液没有包含太多的不同的成分。因此，不需要复杂的功能，可以作为专用的液体再生器与各处理装置连接使用。该液体再生装置具备回收所述使用清洗液的回收单元；对所述回收单元回收的使用清洗液进行蒸馏分离生成再生清洗液的再生单元；以及为了清洗等，再次向处理装置供给该再生清洗液的供给单元。此外，还可以把包含以下工序的再生方法作为一实施方式，这些工序是回收使用清洗液的工序；对使用清洗液进行再生生成再生清洗液的工序；以及再次向处理装置供给该再生清洗液的工序。更具体地说，可以提供以下的技术。(1)可以提供一种液体再生装置，其从处理装置回收对被处理部件进行清洗后的已使用过的清洗液(以下称为"使用清洗液")，并对其进行再生，再次向处理装置供给再生清洗液，包含进行所述使用清洗液的回收、再生以及再生清洗液供给的第一以及第二机构，各机构包含回收单元，与所述处理装置相连地设置，对所述使用清洗液进行回收；再生单元，与所述回收单元相连地设置，接收由该回收单元回收的所述使用清洗液并对其进行再生；贮存单元，与所述再生单元相连地设置，贮存由该再生单元再生后的清洗液(以下称为"再生清洗液")；供给单元，与所述贮存单元以及所述处理装置相连地设置，向所述处理装置供给所述再生清洗液，在所述第一机构回收所述使用清洗液时，可以由所述第二机构再生预先回收的使用清洗液。在此，清洗液只要是通过再生单元作为再生清洗液可以从使用清洗液中分离并可以再利用(再循环)的清洗液即可。例如可以包含所谓的溶剂或分散固体的分散介质等。此外，还可以包含作为清洗的结果而混入的污染物质(或成分)。使用清洗液的处理装置可以包含清洗单元，该清洗单元可以包含能够将清洗液喷射到底漆涂敷辊上的喷射装置。该喷射装置可以包含用于喷射的喷收部以及再生部。此外，该回收部可以包含管路和阀门，所述再生部可以包含容器(例如，贮存罐等)，还可以包含管路等。此外，作为压缩或减压单元可以包含泵。所述供给单元可以包含供给部，该供给部可以包含能够贮存再生清洗液的贝i存罐。并且，还可以包含用于压力输送该再生清洗液的泵和管路。此外，所述控制单元可以包含控制装置，该控制装置例如可以包含微型计算机、个人计算机、顺控器等所有既有的处理器。关于容量调整可以表示在所述回收单元、所述再生单元以及所述供给单元的各个单元中，分别考虑能够对成为处理对象的清洗液(可以包含使用清洗液以及再生清洗液)进行贮存的容量、该清洗液的处理速度(单位时间的处理容量)、以及能够供给的供给速度(单位时间的供给量)，调整所述回收单元、所述再生单元、以及所述供给单元的处理效率、运转率等，以使所述回收单元、所述再生单元、以及所述供给单元成为一体进行最为理想的清洗液处理。所述第二机构，其结构可以与所述第一机构相同，或者还可以将基本结构做成共通，但清洗液的贮存容量或处理速度等不同。即便仅仅通过所述第一以及第二机构中的某个机构，也可以从处理装置回收对被处理部件进行清洗后的使用清洗液，对其进行再生，并再次向处理装置供给再生清洗液。此外，所述第 一 以及第二机构可以各自独立地工作。此外，所述再生单元可以包含能够进行使用清洗液的所谓蒸馏工序的蒸馏单元。该蒸馏单元能够对应回收的已使用过的液体的特性，进行包含最高温度的温度调整。此外，该蒸馏单元可以包含加热器以及温度调节装置。所述贮存单元可以包含贮存部，该贮存部可以包含贮存罐那样的容器。此外，所述供给单元可以包含供给部，供给部可以从鼓风机或储气瓶等压力输送AIR (空气)或N2气体这样的气体来进行供给。(2) 可以提供一种以在所述第一以及第二机构中还具备对所述回收单元、所述再生单元、所述贮存单元以及所述供给单元进行控制的控制单元为特征的、在上述(l)中记载的液体再生装置。如上述，所述控制单元可以包含控制部，该控制部可以包含控制装置。该控制装置可以控制后述的排气部、检测部、废弃部、以及冷却水供给部。控制部可以包含通过电》兹的方法、油压的方法、以及其他通过人的知觉无法识别的方法连接处理装置以及所述液体再生装置的单元。控制部可以分别独立地控制所述第一以本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种液体再生装置，其从处理装置回收对被处理部件进行清洗后的使用清洗液即使用过的清洗液，并对其进行再生，再次向处理装置供给再生清洗液即再生后的清洗液，该液体再生装置的特征在于， 包含进行所述使用清洗液的回收、再生以及再生清洗液供给的第一 以及第二机构， 各机构包含： 回收单元，与所述处理装置相连地设置，对所述使用清洗液进行回收； 再生单元，与所述回收单元相连地设置，接收由该回收单元回收的所述使用清洗液并对其进行再生； 贮存单元，与所述再生单元相连地设 置，贮存由该再生单元再生后的再生清洗液；以及 供给单元，与所述贮存单元以及所述处理装置相连地设置，向所述处理装置供给所述再生清洗液， 在所述第一机构正在回收所述使用清洗液时，所述第二机构能够再生预先回收的使用清洗液。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：高本德男，
申请(专利权)人：平田机工株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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