南京宏泰晶智能装备科技有限公司专利技术

南京宏泰晶智能装备科技有限公司共有17项专利

  • 本发明属于切割装置技术领域,具体的说是一种用于单晶碳化硅片切割装置,包括切割台,所述切割台上端设置有用于对单晶碳化硅棒进行切割的线切割机构,所述线切割机构包括用于对单晶碳化硅棒进行移动的输送组件,所述切割台下侧设置有用于切割完成的单晶碳...
  • 本实用新型公开了一种碳化硅晶体生长炉下盖总成,涉及碳化硅晶体生长炉技术领域,包括炉体下盖,炉体下盖的底部固定连接有盖板,炉体下盖的一侧设有抽气口,盖板的轴心位置贯穿设有转轴,转轴通过轴套固定连接在盖板上;盖板的下方固定设有用于转轴旋转的...
  • 本实用新型涉及碳化硅晶体切割领域,具体为一种碳化硅晶体多线切割装置,包括机床和与机床一体的转动门,所述机床内侧壁底端阵列开设有T形滑槽,所述T形滑槽内均滑动连接有T形滑板,数个所述T形滑板顶端共同滑动连接有连接板,所述连接板顶端阵列固定...
  • 本实用新型公开了一种碳化硅晶体生长炉加热模块升降机构,涉及碳化硅晶体生长炉技术领域,包括轨道架,轨道架固定在操作台上,轨道架设置在炉体的一侧,并高于炉体,轨道架内设有适配的移动架,轨道架上设有用于驱动移动架升降的直线驱动机构;移动架的朝...
  • 本实用新型公开了一种碳化硅晶体生长炉操作台,涉及碳化硅晶体生长炉技术领域,包括操作台主体支架,操作台主体支架的顶部设有台面,台面的中部设有用于安装碳化硅晶体生长炉的槽口,台面为宽面结构,碳化硅晶体生长炉与台面边缘之间构成行走区;操作台主...
  • 本实用新型公开了一种碳化硅晶体生长炉保护气体供气装置,涉及碳化硅晶体生长炉技术领域,包括供气转轴和轴套,供气转轴与炉下盖共轴设置,炉下盖的下方固定有用于供气转轴转动的驱动装置,供气转轴的顶端贯穿炉下盖的底部,延伸至石墨坩埚内,供气转轴的...
  • 本发明公开了一种多个碳化硅晶体生长的制备方法及生长装置,属于碳化硅晶体生长炉技术领域,包括操作台,操作台上设有碳化硅晶体生长炉,碳化硅晶体生长炉由上炉体和下炉体组成,上炉体的外侧套设有高频加热线圈,下炉体的底部固定设有下炉盖,下炉盖的轴...
  • 本实用新型公开了一种碳化硅晶体管加工用的定位装置,属于碳化硅加工领域,一种碳化硅晶体管加工用的定位装置,包括固定底座,固定底座前端上表面固定连接有主控架,主控架后侧内端滑动卡接有推进器,主控架中端转动卡接有与推进器螺纹连接的控制螺杆,推...
  • 本实用新型提供了一种碳化硅晶体加工用夹具机构,包括:安装块,所述安装块的顶面固定安装有支撑筒,所述支撑筒的内部活动套接有支撑架,所述支撑架的底面固定安装有安装架,所述安装架的内部两侧均设置有夹持架,位于右侧所述夹持架与安装架固定连接;夹...
  • 本实用新型公开了一种晶体生产掺杂装置,属于领域,一种晶体生产掺杂装置,包括掺杂机,掺杂机上端固定连接有外环,外环内设置有内环,内环内壁固定连接有过滤板,内环右端开设有通槽,内环右端固定连接有与通槽相适配的C型框,C型框内壁固定连接有外管...
  • 本实用新型公开了一种自动供气式碳化硅晶体生长炉,涉及晶体生长炉技术领域,包括支撑架、生长炉,生长炉内设有生长器主体,生长器主体与生长炉内壁构成内腔,生长炉两侧设有通气管,一侧的通气管内设有单向阀,另一侧的通气管贯穿调节室,调节室与生长炉...
  • 本发明涉及光学晶体修复领域,尤其涉及一种针对光学晶体表面损伤的铣削修复装置,包括修复台,所述修复台的上端面后边缘处固定安装有承载架,所述承载架的两侧分别固定安装有两组加强肋板,所述加强肋板的下端与修复台固定连接,所述承载架的前端安装有铣...
  • 本发明涉及立式打孔装置技术领域,具体公开了一种用于单晶硅片的立式打孔装置,包括支撑台和安装在支撑台上表面的竖架,所述竖架内侧顶壁设置有引导机构,所述引导机构的外侧上方位置设置有固定座,所述固定座内侧中间设置有打孔机构,所述竖架内侧下方位...
  • 本实用新型公开了一种晶体生长炉及具有其的碳化硅晶体生长装置,晶体生长炉,包括:炉体,炉体包括炉身以及炉盖,炉身用于设置在预设位置,且炉身的上下两端均敞口,炉盖可分离地盖设于炉身的顶部;以及开炉机构,开炉机构包括驱动组件、与驱动组件驱动连...
  • 本发明公开一种半导体器件定点视觉化检测制造设备,包括检测输送通道,所述检测输送通道上方间隔设置有纵向来回蜿蜒曲折的蜿蜒轨道板件,所述蜿蜒轨道板件上方设置有纵向移动组件,所述纵向移动组件上设置有横向直槽口结构,所述横向直槽口结构内穿插有移...
  • 本发明公开一种全自动智能化半导体衬底片加工设备,包括底座,所述底座上设置有旋转驱动组件,所述旋转驱动组件的输出端设置有旋转环体,所述旋转环体表面围绕所述旋转环体圆心圆周均布有多个碳化硅衬底片安装座,其中一个所述碳化硅衬底片安装座上方设置...
  • 本发明公开了一种便于制备和收集高纯纳米氧化铟粉末的装置,包括一提供提纯反应场所的圆柱形的反应桶、用于盛放铟粉的坩埚、收集氧化铟粉末的收集杯,反应桶上方连接有密封桶盖,其桶底呈漏斗或喇叭状设置,在桶底中部开设有与坩埚和收集杯密封连接且可拆...
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