一种碳化硅晶体管加工用的定位装置制造方法及图纸

技术编号:36741482 阅读:12 留言:0更新日期:2023-03-04 10:19
本实用新型专利技术公开了一种碳化硅晶体管加工用的定位装置,属于碳化硅加工领域,一种碳化硅晶体管加工用的定位装置,包括固定底座,固定底座前端上表面固定连接有主控架,主控架后侧内端滑动卡接有推进器,主控架中端转动卡接有与推进器螺纹连接的控制螺杆,推进器前端内表面滑动卡接有主控夹头,推进器下端固定连接有连接筒,连接筒下侧内端滑动卡接有滑动活塞,滑动活塞外端滑动卡接有推进活塞,推进活塞外端滑动卡接有连接管,其特征是通过适应夹头的移动自动适应晶片的大小,并通过主控夹头与晶片的挤压控制滑动架固定的同时控制适应夹头向前推进,实现自适应以及便捷定位与固定碳化硅晶片的目的。碳化硅晶片的目的。碳化硅晶片的目的。

【技术实现步骤摘要】
一种碳化硅晶体管加工用的定位装置


[0001]本技术涉及碳化硅加工领域,更具体地说,涉及一种碳化硅晶体管加工用的定位装置。

技术介绍

[0002]碳化硅单晶材料作为第三代半导体材料的代表,具有禁带宽度大、击穿电场高、热导率高、电子饱和迁移率高及抗辐射能力强等优越性能,既可以满足功率器件对耐高温、大功率、高电压的要求,也可以满足射频器件对于高导热和抗辐射等需求,因此碳化硅材料制成的晶体管件在电动车、新能源、通讯领域具有巨大的应用前景。
[0003]在制造碳化硅晶体管之前,需要从整块的碳化硅晶片中加工出合适的坯子,目前主要的加工方式有激光全划、激光半切、激光隐形切割、水导激光切割、砂轮划片,由于成本的问题,目前大多数加工厂商都是使用砂轮划片的方式。
[0004]砂轮划片加工时,一般需要定位装置将晶片固定住,但是,目前大多数定位装置都需要操作多方位固定,定位非常繁琐,且由于晶片多呈圆形,导致定位端头只能呈现出点或线状的接触固定,无法适应晶片的曲率。

技术实现思路

[0005]1.要解决的技术问题
[0006]针对现有技术中存在的问题,本技术的目的在于提供一种碳化硅晶体管加工用的定位装置,通过适应夹头的移动自动适应晶片的大小,并通过主控夹头与晶片的挤压控制滑动架固定的同时控制适应夹头向前推进,实现自适应以及便捷定位与固定碳化硅晶片的目的。
[0007]2.技术方案
[0008]为解决上述问题,本技术采用如下的技术方案。
[0009]一种碳化硅晶体管加工用的定位装置,包括固定底座,固定底座前端上表面固定连接有主控架,主控架后侧内端滑动卡接有推进器,主控架中端转动卡接有与推进器螺纹连接的控制螺杆,推进器前端内表面滑动卡接有主控夹头,推进器下端固定连接有连接筒,连接筒下侧内端滑动卡接有滑动活塞,滑动活塞外端滑动卡接有推进活塞,推进活塞外端滑动卡接有连接管,固定底座后端上表面固定连接有一对抵接台,抵接台前端靠近内侧位置处固定连接有固定夹头,抵接台前端内表面滑动卡接有滑动架,滑动架前侧内端滑动卡接有适应夹头,滑动架下端固定连接有与连接管相连接的连接软管,滑动架内部前端滑动卡接有推进板,滑动架内部后端滑动卡接有滑动齿板,滑动架内部上端固定连接有与滑动齿板相匹配的固定齿板。
[0010]进一步的,主控夹头前端固定连接有压缩弹簧,压缩弹簧前端与推进器内端固定连接,能够让主控夹头自动回弹。
[0011]进一步的,主控夹头后端、固定夹头前端以及适应夹头前端均采用橡胶材质制成,
且主控夹头后端、固定夹头前端以及适应夹头前端的高度均相等,能够通过橡胶的形变增加与晶片的接触面积。
[0012]进一步的,主控夹头的最大位移距离小于推进活塞的长度,且推进活塞的高度大于连接管的内端直径,防止滑动活塞与推进活塞发生脱离。
[0013]进一步的,推进板前侧上端与适应夹头后侧下端呈相匹配的倾斜状结构,且推进板前侧上端与适应夹头后侧下端均打磨光滑,能够通过推进板推动适应夹头移动。
[0014]进一步的,滑动架后端固定连接有适应弹簧,适应弹簧后端与抵接台内端固定连接,能够让滑动架自动回弹。
[0015]3.有益效果
[0016]相比于现有技术,本技术的优点在于:
[0017](1)本方案通过适应夹头的移动自动适应晶片的大小,并通过主控夹头与晶片的挤压控制滑动架固定的同时控制适应夹头向前推进,实现自适应以及便捷定位与固定碳化硅晶片的目的。
[0018](2)主控夹头前端固定连接有压缩弹簧,压缩弹簧前端与推进器内端固定连接,能够让主控夹头自动回弹。
[0019](3)主控夹头后端、固定夹头前端以及适应夹头前端均采用橡胶材质制成,且主控夹头后端、固定夹头前端以及适应夹头前端的高度均相等,能够通过橡胶的形变增加与晶片的接触面积。
[0020](4)主控夹头的最大位移距离小于推进活塞的长度,且推进活塞的高度大于连接管的内端直径,防止滑动活塞与推进活塞发生脱离。
[0021](5)推进板前侧上端与适应夹头后侧下端呈相匹配的倾斜状结构,且推进板前侧上端与适应夹头后侧下端均打磨光滑,能够通过推进板推动适应夹头移动。
[0022](6)滑动架后端固定连接有适应弹簧,适应弹簧后端与抵接台内端固定连接,能够让滑动架自动回弹。
附图说明
[0023]图1为本技术的主体外观主视结构示意图;
[0024]图2为本技术的主控架与推进器连接处的右视剖面结构示意图;
[0025]图3为本技术的推进器与主控夹头连接处的后视结构示意图;
[0026]图4为本技术的抵接台与滑动架连接处的左视剖面结构示意图;
[0027]图5为本技术的滑动架与适应夹头连接处的左视剖面结构示意图。
[0028]图中标号说明:
[0029]1固定底座、2主控架、3推进器、4控制螺杆、5主控夹头、6压缩弹簧、 7连接筒、8滑动活塞、9推进活塞、10连接管、11抵接台、12固定夹头、13滑动架、14适应夹头、15连接软管、16推进板、17滑动齿板、18固定齿板、19适应弹簧。
具体实施方式
[0030]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述;显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的
实施例,基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0031]在本技术的描述中,需要说明的是,术语“上”、“下”、“内”、“外”、“顶/底端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本技术和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本技术的限制。此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0032]在本技术的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“设置有”、“套设/接”、“连接”等,应做广义理解,例如“连接”,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0033]实施例1:
[0034]请参阅图1

5,一种碳化硅晶体管加工用的定位装置,包括固定底座1,固定底座1前端上表面固定连接有主控架2,主控架2后侧内端滑动卡接有推进器3,主控架2中端转动卡接有与推进器3螺纹连接的控制螺杆4,推进器 3前端内表面滑动卡接有主控夹头5,主控夹头5后端、固定夹头12前端以及适应夹头14前端均采用橡胶材质制成,且主控夹头5后端、固定夹头12 前端以及适本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种碳化硅晶体管加工用的定位装置,包括固定底座(1),其特征在于:所述固定底座(1)前端上表面固定连接有主控架(2),所述主控架(2)后侧内端滑动卡接有推进器(3),所述主控架(2)中端转动卡接有与推进器(3)螺纹连接的控制螺杆(4),所述推进器(3)前端内表面滑动卡接有主控夹头(5),所述推进器(3)下端固定连接有连接筒(7),所述连接筒(7)下侧内端滑动卡接有滑动活塞(8),所述滑动活塞(8)外端滑动卡接有推进活塞(9),所述推进活塞(9)外端滑动卡接有连接管(10),所述固定底座(1)后端上表面固定连接有一对抵接台(11),所述抵接台(11)前端靠近内侧位置处固定连接有固定夹头(12),所述抵接台(11)前端内表面滑动卡接有滑动架(13),所述滑动架(13)前侧内端滑动卡接有适应夹头(14),所述滑动架(13)下端固定连接有与连接管(10)相连接的连接软管(15),所述滑动架(13)内部前端滑动卡接有推进板(16),所述滑动架(13)内部后端滑动卡接有滑动齿板(17),所述滑动架(13)内部上端固定连接有与滑动齿板(17)相匹配的固定齿板(18)。2....

【专利技术属性】
技术研发人员:姚恒姚泰
申请(专利权)人:南京宏泰晶智能装备科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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