一种半导体器件器件定点视觉化检测制造设备制造技术

本发明专利技术公开一种半导体器件定点视觉化检测制造设备，包括检测输送通道，所述检测输送通道上方间隔设置有纵向来回蜿蜒曲折的蜿蜒轨道板件，所述蜿蜒轨道板件上方设置有纵向移动组件，所述纵向移动组件上设置有横向直槽口结构，所述横向直槽口结构内穿插有移动轴件，所述移动轴件穿插于所述蜿蜒轨道板件内活动，所述移动轴件下端设置有视觉检测摄像头，所述检测输送通道一侧设置有显示面板，所述视觉检测摄像头通讯连接于所述显示面板，能对批量的半导体器件成品进行外观逐一的检测，并且能定时停留、实现定点移动，便于对铺设好的批量半导体器件外观进行检测，不仅降低了眼睛的疲劳，而且还提高了检测效率和检测质量。而且还提高了检测效率和检测质量。而且还提高了检测效率和检测质量。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体器件器件定点视觉化检测制造设备


[0001]本专利技术涉及半导体器件视觉检测设备，特别涉及一种半导体器件器件定点视觉化检测制造设备。

技术介绍

[0002]批量的半导体器件生产完毕后需要人工对半导体器件外观进行缺陷检测，通常通过肉眼对大批量的半导体器件进行逐一的检测，由于半导体器件体积较小，肉眼长时间观察检测会导致检测人员眼睛疲劳，不仅对检测人员造成眼睛的伤害，而且还会降低检测的质量，因此需要提供一种对批量半导体器件进行逐一检测的装置，需要实现自动定位、停留并且对批量半导体器件外观定点进行放大检测。
[0003]故此，现有的半导体器件检测设备需要进一步改善。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的是为了提供一种半导体器件器件定点视觉化检测制造设备，能自动定位、停留并且对半导体器件外观定点观察。
[0005]为了达到上述目的，本专利技术采用以下方案：
[0006]一种半导体器件器件定点视觉化检测制造设备，包括检测输送通道，所述检测输送通道上方间隔设置有纵向来回蜿蜒曲折的蜿蜒轨道板件，所述蜿蜒轨道板件上方设置有纵向移动组件，所述纵向移动组件上设置有横向直槽口结构，所述横向直槽口结构内穿插有移动轴件，所述移动轴件穿插于所述蜿蜒轨道板件内活动，所述移动轴件下端设置有视觉检测摄像头，所述检测输送通道一侧设置有显示面板，所述视觉检测摄像头通讯连接于所述显示面板，所述横向直槽口结构两端各设置有气缸，两侧所述气缸的输出端各固定于所述移动轴件表面的一侧，所述检测输送通道一侧设置有用于驱动所述纵向移动组件沿纵向方向进行间歇往复移动的间歇往复驱动组件，所述间歇往复驱动组件连接于所述纵向移动组件。
[0007]进一步地，所述蜿蜒轨道板件包括设置于所述检测输送通道上的连接板，所述连接板上方连接有导向板体，所述导向板体上设置有纵向来回蜿蜒曲折的蜿蜒轨道槽。
[0008]进一步地，所述纵向移动组件包括设置于所述检测输送通道上的纵向轨道，所述纵向轨道内活动设置有纵向滑块。
[0009]进一步地，所述移动轴件包括活动轴体，所述活动轴体上端设置有贴紧于所述横向直槽口结构上表面的第一限位板，所述活动轴体下端设置有贴紧于所述蜿蜒轨道板件下表面的第二限位板。
[0010]进一步地，所述间歇往复驱动组件包括设置于所述检测输送通道一侧的处理箱体，所述处理箱体内设置有旋转结构，所述旋转结构的输出端设置有摆动杆，所述摆动杆上偏离所述旋转结构的输出端设置有偏心轴体，所述横向直槽口结构上设置有铰接座，所述偏心轴体和所述铰接座之间铰接有连杆，所述旋转结构连接有用于间歇驱动所述旋转结构
旋转的间歇驱动结构。
[0011]进一步地，所述偏心轴体偏离所述旋转结构的输出端中心之间的两倍尺寸等于所述蜿蜒轨道槽纵向的尺寸。
[0012]进一步地，所述旋转结构包括设置于所述处理箱体内的转轴座，所述转轴座内转动设置有转轴体。
[0013]进一步地，所述间歇驱动结构包括设置于所述处理箱体内的电机座，所述电机座内安装有主动电机，所述主动电机的输出端设置有主动旋转圆盘，所述主动旋转圆盘圆周外壁围绕所述主动旋转圆盘中心圆周均布有多个间隔设置的外齿牙组，所述旋转结构输入端设置有被动齿轮，多个所述外齿牙组轮流啮合于所述被动齿轮。
[0014]综上所述，本专利技术相对于现有技术其有益效果是：
[0015]本专利技术解决了现有半导体器件视觉检测设备存在的不足，通过本专利技术的结构设置，具备以下的优点，能对批量的半导体器件成品进行外观逐一的检测，并且能定时停留、实现定点移动，便于对铺设好的批量半导体器件外观进行检测，不仅降低了眼睛的疲劳，而且还提高了检测效率和检测质量，且结构简单，使用方便。
附图说明
[0016]图1为本专利技术的立体图之一；
[0017]图2为本专利技术的立体图之二；
[0018]图3为本专利技术的主视图；
[0019]图4为图3沿A
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A线的剖视图；
[0020]图5为本专利技术的左视图。
具体实施方式
[0021]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0022]请参阅图1
‑
5，本专利技术提供
[0023]一种半导体器件器件定点视觉化检测制造设备，包括检测输送通道1，所述检测输送通道1上方间隔设置有纵向来回蜿蜒曲折的蜿蜒轨道板件2，所述蜿蜒轨道板件2上方设置有纵向移动组件3，所述纵向移动组件3上设置有横向直槽口结构4，所述横向直槽口结构4内穿插有移动轴件5，所述移动轴件5穿插于所述蜿蜒轨道板件2内活动，所述移动轴件5下端设置有视觉检测摄像头6，所述检测输送通道1一侧设置有显示面板7，所述视觉检测摄像头6通讯连接于所述显示面板7，所述横向直槽口结构4两端各设置有气缸8，两侧所述气缸8的输出端各固定于所述移动轴件5表面的一侧，所述检测输送通道1一侧设置有用于驱动所述纵向移动组件3沿纵向方向进行间歇往复移动的间歇往复驱动组件9，所述间歇往复驱动组件9连接于所述纵向移动组件3；
[0024]结构原理：
[0025]将批量的半导体器件成品铺设于所述检测输送通道1上待检测，此时启动所述间
歇往复驱动组件9，间歇往复驱动组件9带动所述移动轴件5沿所述蜿蜒轨道板件2的蜿蜒曲折的路径进行纵向移动，由于每次移动到所述蜿蜒轨道板件2的一端时，需要进行左右横向位置的移动，此时，控制其中一侧所述气缸8进行抽真空动作，一侧所述气缸8持续拉紧所述移动轴件5沿一侧横向方向移动，当移动到所述蜿蜒轨道板件2端部时，自动横移至另一侧，当所述移动轴件5横移到所述蜿蜒轨道板件2末端时，操控当前抽真空动作的气缸8切换为充气动作，启动另一侧气缸8进行抽真空动作，使移动轴件5沿所述蜿蜒轨道板件2的路径进行往复移动动作，并且通过所述间歇往复驱动组件9驱动所述移动轴件5在所述蜿蜒轨道板件2内间歇停留，使所述视觉检测摄像头6间歇停留于当前半导体器件的上方进行摄像，所述视觉检测摄像头6将图像信号传输给所述显示面板7进行图像放大处理，便于检测人员进行检测工作。
[0026]本专利技术所述蜿蜒轨道板件2包括设置于所述检测输送通道1上的连接板201，所述连接板201上方连接有导向板体202，所述导向板体202上设置有纵向来回蜿蜒曲折的蜿蜒轨道槽203。
[0027]本专利技术所述纵向移动组件3包括设置于所述检测输送通道1上的纵向轨道301，所述纵向轨道301内活动设置有纵向滑块302。
[0028]本专利技术所述移动轴件5包括活动轴体501，所述活动轴体501上端设置有贴紧于所述横向直槽口结构4上表面的第一限位板502，所述活动轴体501下端设置有贴紧于所述蜿蜒轨道板件2下表面的第二限位板503。
[002本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体器件器件定点视觉化检测制造设备，包括检测输送通道(1)，其特征在于：所述检测输送通道(1)上方间隔设置有纵向来回蜿蜒曲折的蜿蜒轨道板件(2)，所述蜿蜒轨道板件(2)上方设置有纵向移动组件(3)，所述纵向移动组件(3)上设置有横向直槽口结构(4)，所述横向直槽口结构(4)内穿插有移动轴件(5)，所述移动轴件(5)穿插于所述蜿蜒轨道板件(2)内活动，所述移动轴件(5)下端设置有视觉检测摄像头(6)，所述检测输送通道(1)一侧设置有显示面板(7)，所述视觉检测摄像头(6)通讯连接于所述显示面板(7)，所述横向直槽口结构(4)两端各设置有气缸(8)，两侧所述气缸(8)的输出端各固定于所述移动轴件(5)表面的一侧，所述检测输送通道(1)一侧设置有用于驱动所述纵向移动组件(3)沿纵向方向进行间歇往复移动的间歇往复驱动组件(9)，所述间歇往复驱动组件(9)连接于所述纵向移动组件(3)。2.根据权利要求1所述的一种半导体器件器件定点视觉化检测制造设备，其特征在于：所述蜿蜒轨道板件(2)包括设置于所述检测输送通道(1)上的连接板(201)，所述连接板(201)上方连接有导向板体(202)，所述导向板体(202)上设置有纵向来回蜿蜒曲折的蜿蜒轨道槽(203)。3.根据权利要求2所述的一种半导体器件器件定点视觉化检测制造设备，其特征在于：所述纵向移动组件(3)包括设置于所述检测输送通道(1)上的纵向轨道(301)，所述纵向轨道(301)内活动设置有纵向滑块(302)。4.根据权利要求3所述的一种半导体器件器件定点视觉化检测制造设备，其特征在于：所述移动轴件(5)包括活动轴体(501)，所述活动轴体(501)上端设置有贴紧于所述横向直槽口结构(4)上表面的第一限位板(502)，所述活动轴体(501...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚泰，于永澔，姚恒，
申请(专利权)人：南京宏泰晶智能装备科技有限公司，
类型：发明
国别省市：