提供一种用来搬运基板的机器人，其中，冷却接触型真空密封件，防止真空密封件超过耐热温度，并防止引起大气漏入维持气密的搬运室的缺点。在用来在真空环境下搬运基板的包含一组臂的机器人的驱动设备中，用来驱动以旋转一组臂（４０）的驱动设备（１）布置...

本发明的目的在于抑制由制动器工作时的工作环境或条件所导致的维修时期的检测误差，提高维修时期的检测精度。备有：第１制动缸压力检测器（１９ａ），对第１制动缸（７ａ）的第１制动缸压力进行检测；第２制动缸压力检测器（１９ｂ），对第２制动缸（７ｂ...

提供了一种可比现有技术更充分地输出减速器的维护信息的维护信息输出装置。维护信息输出装置（１３０）包括：操作部分（１３１），该操作部分（１３１）是由用户操作的；有线通信部分，通过便携式无线接收器（１２０）接收来自下述铁量检测设备的铁的量的...

本发明是一种垫圈及配有垫圈的多联阀，即使当工作流体处于高压状态时仍可降低流体渗漏。同时包围着低压通路用孔（５１）与高压通路用孔（５２～５５）地连续形成突缘（５６）。在高压通路用孔（５２）与突缘之间形成第一孔（８３）。第一孔（８３）经由形...

一种盖子致动装置，包括：一个带有旋转轴的轴单元；一个连接到所述盖子和所述旋转轴上的臂单元；以及一个驱动所述旋转轴的致动器。所述致动器包括：一个具有第一输出部分的电机；一个具有输出部分和输入部分的第一减速器，和一个具有输出部分和输入部分的...

一种减速器，其具有：与驱动部连动而旋转的曲轴；设于所述曲轴上的第一偏心部；设于所述曲轴上的第二偏心部；设于所述曲轴上的第三偏心部；与所述第一偏心部连动的第一外齿齿轮；与所述第二偏心部连动的第二外齿齿轮；与所述第三偏心部连动的第三外齿齿轮...

一种用于工业机器人关节部分的减速装置，其被施加有高转矩并且以高运转率使用时的耐久性增强。该减速装置包括第一减速机构和第二减速机构，其中第二减速机构具有进行摆动运动的外齿轮、使外齿轮的摆动运动变为轨道运动的内齿轮以及设置在外齿轮和内齿轮中...

一种减速器，其具有：与驱动部连动而旋转的曲轴；设于所述曲轴上的第一偏心部；设于所述曲轴上的第二偏心部；设于所述曲轴上的第三偏心部；与所述第一偏心部连动的第一外齿齿轮；与所述第二偏心部连动的第二外齿齿轮；与所述第三偏心部连动的第三外齿齿轮...

一种减速器，其具有：与驱动部连动而旋转的曲轴；设于所述曲轴上的第一偏心部；设于所述曲轴上的第二偏心部；设于所述曲轴上的第三偏心部；与所述第一偏心部连动的第一外齿齿轮；与所述第二偏心部连动的第二外齿齿轮；与所述第三偏心部连动的第三外齿齿轮...

一种紧凑的旋转装置，在该旋转装置中，在旋转盘的后侧确保有允许圆柱形杆和配线从中通过的空间，并且旋转盘的中心轴线与减速装置的输出轴同轴布置。减速装置具有形成有偏心旋转部的输入轴、与所述偏心旋转部接合地公转并在齿轮中心形成有通孔的外齿轮、以...

实现了一种减速装置，在该减速装置中，无需改变旋转方向变换齿轮机构和减速单元而将总减速比调整为期望值。所述旋转方向变换齿轮机构包括与输入轴一体旋转的输入齿轮以及大致正交地与输入齿轮啮合的中间齿轮。减速比调整齿轮机构包括与中间齿轮一体旋转的...

本发明提供了一种偏心摆动齿轮机构和使用该机构的工业机器人关节构造，偏心摆动齿轮机构包括内齿轮，与内齿轮啮合的外齿轮，用于偏心地移动外齿轮的曲轴，和用于可旋转地支承曲轴的支座，使得内齿轮和支座被制成可相对地旋转，其中，在轴向方向上穿过偏心...

本发明提供一种沿其旋转轴线方向的长度减小的内啮合行星齿轮式减速装置。曲柄部件（２２）插设在外齿轮（２０ａ）的通孔（５８）、外齿轮（２０ｂ）的通孔（５９）与支撑轴（２４）之间。在曲柄部件（２４）上形成装配在外齿轮（２０ａ）的通孔（５８）中...

本发明的目的是要提供一种适用于风力发电装置的偏摆驱动装置、效率高并且轴向长度短的减速器；提供一种减速器，其由三级减速部构成，将一级减速部（１０）和二级减速部（２０）的合计减速比设定为１／６至１／６０，并且由具备内齿齿轮体（３２）、多个外...

一种偏心摆动型齿轮装置，其可在外齿轮的齿顶部分被切除时省去销压部件并因此提高设计自由度。该齿轮装置设有内齿轮（１５）、托架（１１）、一对轴承（１９、２０）、曲柄轴和外齿轮（１３、１４），其中内齿轮（１５）在其内周上具有内齿轮销（１５ａ）...

本发明提供一种偏心摆动型行星齿轮装置，将通过抑制外齿齿轮的桥状部和外齿的弹性变形来延长外齿（１９）的齿面寿命，并提高震动特性，防止行星齿轮装置（１１）大型化，大幅度地增大输出扭矩。使构成内齿（１４）的滚柱的直径Ｄ除以内齿（１４）的齿距Ｐ...

一种输送装置，其包括一个驱动电机、一个被驱动电机驱动的驱动臂和一个连接着驱动臂前端的输送台。驱动电机的输出通过一个曳引驱动减速器而传递到驱动臂上，该减速器包括一根外接轴、多根环绕着外接轴外圆周布置的中间轴、一个内接着中间轴外圆周的内接滚...

一种附接到工业机器人的关节联接部分上的减速器１００，其包括正齿轮型减速单元的第一级减速齿轮机构１０和偏心摇摆型减速单元的第二级减速齿轮机构３０，并且偏心摇摆型减速单元的输出来自于内齿轮元件或支撑元件。当第一输入齿轮单元的输入速度为２，０...

本发明提供一种与背景技术相比能够传递更高扭矩的波动齿轮装置。大礼帽型波动齿轮装置１０包括：具有内齿２１形成在其上的盘形花键２０；柔性柔性花键３０，其包括具有形成为部分与所述内齿２１啮合的外齿３１ａ的外齿部分３１，并且布置在盘状花键２０的...

本发明的目的是有效地防止曲柄销４５偏心部分４７的表面磨耗或曲柄销４５的断裂。偏心振动型减速器２７的减速比Ｍ除以通过滚销齿２９中心的直径Ｄ得到的值Ｎ设定成小于０．２０。结果，在偏心振动型减速器２７中的润滑剂温度可以被抑制在６０℃以下，即使...