本发明涉及晶圆加工领域，公开了一种基于拉力传感器的晶圆研磨抛光调节控制系统，包括加工压力采集模块，获取重物重力并基于拉力传感器实时采集电缸拉力，通过公式计算加工压力，同时实时采集晶圆的研磨状态参数；加工压力稳定性分析模块包含第一分析单元...

本发明公开了一种半导体晶圆研磨抛光工具，属于半导体抛光领域领域。包括有工作台，所述工作台的上表面中心处设置有研磨机构；所述工作台的上表面前方设置有喷液机构；所述工作台的上表面后方设置有休整机构；所述工作台的上表面右方固定设置有研磨吸取机...

本发明涉及晶圆加工技术领域，且公开了一种用于研磨抛光的晶圆粘片机，包括固定机构，固定机构的内部固定设置有固定组件，固定机构的内壁固定设置有闭合组件，在使用前，先将晶圆放置在微孔陶瓷真空吸盘的顶部，其中，若干个弧形板处于堆叠的状态，在弧形...

本技术提供一种新型的升降旋转气缸结构，属于气缸技术领域，包括：气缸缸体、气缸轴；所述气缸轴活动设置所述气缸缸体内部；所述气缸缸体第一端面外周转动设置有旋转驱动轮；所述旋转驱动轮侧面设置有若干根随之同步转动的驱动杆；所述驱动杆上滑动设置有...

本发明提供一种适用于重型研磨抛光设备的加压系统和方法，属于研磨抛光设备加压技术领域，所述系统包括：气源FRL三联件、安全单向阀、压力开关、先导电磁阀、液压单向节流阀、压力传感器、气控减压阀、电气比例阀、排气清洁器、管道自动排气阀、气液转...

本发明涉及晶圆加工技术领域，具体公开了一种基于压力传感的晶圆研磨抛光加工调节方法，所述方法包括：S1：对待加工晶圆的当前初始厚度进行测量，确定待加工晶圆的目标厚度，并将晶圆粘接到基板上，通过实时采集打磨作业中打磨设备与晶圆的状态参数数据...

本申请涉及一种晶圆研磨机的顶部磨削结构及晶圆研磨机，涉及晶圆研磨机的技术领域，晶圆研磨机的顶部磨削结构，包括安装座、竖直滑动连接于安装座的多个研磨组件，所述研磨组件内安装有内压组件，所述内压组件用于磨盘施加压力，使磨盘各点受到的压强P随...

本技术提供一种新型可横向移动的升降旋转结构，属于升降旋转结构技术领域，包括：旋转座和花键轴；所述旋转座滑动设置在直线滑动导轨上；所述花键轴可转动地滑动设置在所述旋转座中，顶端延伸至所述旋转座上方与固定设置在所述旋转座上的升降气缸的活塞杆...

本发明提供一种升降旋转结构及方法，属于升降旋转结构技术领域，结构包括：旋转座和花键轴；所述花键轴可转动地滑动设置在所述旋转座中，顶端延伸至所述旋转座上方与固定设置在所述旋转座上的升降气缸的活塞杆连接，通过所述升降气缸实现上下滑动；所述花...

本申请提供了一种基于多参数的晶圆片研磨控制方法及系统，涉及半导体加工技术领域，该方法包括：当前置盘面距离波动曲线和距离预测波动曲线的相似系数大于或等于系数阈值，根据研磨设备型号、晶圆片型号、研磨控制参数和环境温度，通过预测模块生成后置温...

本发明涉及硅片加工技术领域，且公开了一种硅片加工用洗烘一体化装置及其使用方法，包括主体和水气接头，水气接头固定连接在主体顶部，主体内壁固定连接有两个环形圈，还包括扰流机构，扰流机构设置在主体内部，扰流机构包括有旋转筒，旋转筒转动连接在主...

本实用新型公开了一种研磨机动力传动结构，涉及研磨传动设备技术领域，包括动力箱，所述动力箱上设有立座，所述动力箱上设有上盘驱动轴、中心齿轴和下盘主轴，所述立座外设有齿圈轴，所述动力箱上设有转轴，所述齿圈轴通过传动机构与转轴连接，所述动力箱...

本实用新型涉及硅片抛光领域，涉及一种硅片切口抛光装置，本实用新型包括底座、转动组件和抛光组件，转动组件包括左轴承座、右轴承座、伺服电机、旋转板和真空吸附台，左轴承座通过左转轴转动设置于底座左侧，右轴承座通过右转轴转动设置于底座右侧，旋转...

本实用新型提供一种自动传送工件上蜡机，属于打蜡机技术领域，包括：机架；所述机架上设置有加热盘和冷却盘；所述加热盘或所述冷却盘上设置有安装盘；所述安装盘通过自动传送机构实现在所述加热盘和所述冷却盘之间的传送；所述自动传送机构包括支撑架、升...

本实用新型提供一种新型盘形平坦度测量工具，属于平坦度测量工具技术领域，包括：固定座、工具本体、底板、定位垫座；所述固定座的数量为两个，分别固定于所述工具本体两端；所述底板固定于所述固定座底部，其上开设有若干螺孔；所述定位垫座螺纹连接于所...

本实用新型提供一种新型机载自动毛刷系统，属于研磨抛光机技术领域，包括：底板、水平移动机构、L型板、竖直移动机构、毛刷盘；所述L型板通过所述水平移动机构可移动地设置于所述底板上；所述毛刷盘通过所述竖直移动机构可升降地安装于所述L型板上，且...

本实用新型提供一种新型重物取放机械臂，属于修正轮取放设备技术领域，包括：固定立柱、悬臂、电机、牵引绳、旋转卡扣；所述悬臂可转动地连接在所述固定立柱顶部，一端部固定设置有所述电机；所述电机竖直布置，输出轴向上通过联轴器连接固定于所述悬臂端...

本实用新型涉及真空吸附盘领域，涉及一种真空吸附抓盘，本实用新型包括：固定座、前臂、后臂和真空吸附盘，所述前臂后端转动设置于固定座上，所述后臂后端转动设置于前臂的前端，所述前臂前端设有固定后臂转动的限位组件，所述真空吸附盘固定于后臂前端，...

本实用新型涉及修盘机领域，涉及一种带有可调节支臂的修盘机，本实用新型包括：长支臂横梁、固定支臂、可调节支臂、调节座、中心固定座和工作单元，所述中心固定座固定于长支臂横梁中部，所述固定支臂固定于长支臂横梁左侧，所述调节座固定于可调节支臂中...

本实用新型提供一种便于重型圆形工件操作和清洗的移动小车，属于修正轮搬运技术领域，包括：底板、侧板、挡板、防滑落挡板；所述底板底部设置有车轮；所述侧板竖直设置于所述底板上，且位于所述底板一端部；所述挡板为若干块，均布地设置于所述底板上，一...