本实用新型涉及硅片抛光领域，涉及一种硅片边缘抛光装置，本实用新型包括上转盘、下转盘、吸附台、上抛离心组件、下抛离心组件和圆周抛离心组件，上转盘通过支撑柱与下转盘连接，吸附台设置于上转盘与下转盘之间，吸附台上吸附有硅片，上抛离心组件安装于...

本实用新型提供一种新型抛光研磨桶单元，属于抛光研磨桶技术领域，包括：搬运单元、抛光研磨桶、沥水放置单元；所述搬运单元包括底板和设置于所述底板底部的搬运轮；所述抛光研磨桶设置于所述底板上，包括桶体和桶盖；所述桶盖配合设置于所述桶体上，且所...

本实用新型涉及钻石液供液领域，涉及一种钻石液供液装置，本实用新型包括：桶体、桶盖和供液组件，所述桶盖设置于桶体上端，所述供液组件包括连接头和供液硬管，所述连接头设置有四组且间隔设置于桶盖顶部，所述供液硬管穿过桶盖且上端与对应的连接头连接...

本发明涉及晶圆加工技术领域，具体公开了一种带压力传感系统的晶圆研磨抛光机，包括压力传感系统，其包括数据获取单元和数据分析单元，数据获取单元用于接收加工过程中与抛光垫接触的晶圆侧壁对载具产生的压力参数以及其他相关参数；数据分析单用于对压力...

本实用新型提供一种分段式斜坡桶体偏心搅拌桶，属于搅拌桶技术领域，包括：搅拌桶体、搅拌电机、横梁、立柱、基座；所述基座固定设置在所述搅拌桶体两侧，包括多组呈直线布置的螺纹孔；所述立柱底部通过螺栓固定连接在所述基座上；所述横梁两端分别与两根...

本发明涉及晶圆加工技术领域，公开了一种晶圆研磨抛光系统，包括执行系统和控制系统，所述执行系统包括支撑组件，所述支撑组件的上方设有转动组件，所述转动组件的上方设有研磨组件，所述研磨组件的上方设有抛光组件，所述研磨组件的侧方设有抛光液添加组...

本发明公开了一种研磨抛光机，属于抛光机技术领域，包括底座，底座上设有限位槽，限位槽内滑动连接有立板，立板上还设有一安装轴，安装轴的另一端设有对壳体内壁进行支撑或者抛光的第一处理机构，立板上位于第一处理机构的下方设有一接灰机构，底座上位于...

本发明提供一种可调节偏心距离的分段式斜坡桶体偏心搅拌桶，属于搅拌桶技术领域，包括：桶体、搅拌轴；所述桶体底部呈分段式斜坡结构；所述搅拌轴设置在所述桶体内部，且所述搅拌轴可相对所述桶盖移动；所述搅拌轴上设置有若干可伸缩搅拌桨叶。本发明采用...

本实用新型提供一种双面研磨机修正轮取放系统，属于双面研磨机技术领域，包括：机架；所述机架底部设置有滚轮，内部通过升降机构可升降地设置有层架；所述层架包括若干层修正轮放置架；所述修正轮放置架包括若干根支撑轴辊；所述机架侧面设置有前放入架；...

本实用新型提供一种全封闭式内嵌防尘罩，属于研磨抛光机防尘罩技术领域，包括：防尘门板、上导轨、下导轨；所述防尘门板顶接所述上导轨，底接所述下导轨，数量为若干块，围绕研磨抛光机研磨部设置；所述下导轨设置在研磨抛光机积液槽内侧，包括若干块导轨...

本实用新型提供一种单独旋转式刮液板，属于研磨抛光机刮液板技术领域，包括：刮液板；所述刮液板设置在积液槽中，底部靠近所述积液槽底部设置，顶部固定连接旋转机构；所述旋转机构包括大齿轮和驱动装置；所述大齿轮转动设置在所述积液槽上方，与所述刮液...

本实用新型提供一种气缸驱动式横梁升降机构，属于研磨抛光机技术领域，包括：固定立柱、升降气缸、横梁、上盘部；所述固定立柱底部固定连接在研磨机上，侧面设置有滑台直线导轨，顶部设置有所述升降气缸；所述横梁一端与所述滑台直线导轨滑动连接，该端部...

本实用新型提供一种连杆机构式安全钩，属于研磨抛光机安全钩技术领域，包括：基座、安全钩、伸缩杆；所述基座顶部固定于研磨抛光机横梁或固定座上；侧面设置有第一连接座；所述安全钩顶部与所述基座底部铰接；侧面设置有第二连接座；所述伸缩杆固定段端部...

本实用新型提供一种耐用修正轮，属于研磨抛光机修正轮技术领域，正轮基座、丸片；所述修正轮基座包括第一面和第二面；所述第一面开设有沉头孔，所述沉头孔贯穿所述修正轮基座至所述第二面；所述丸片设置在所述修正轮基座的所述第二面，朝向所述修正轮基座...

本实用新型提供一种易拆卸横梁固定气缸，属于研磨抛光机横梁气缸技术领域，包括：横梁、气缸、连接隔板、安全隔板；所述横梁中部设置一镂空部；所述连接隔板设置在所述镂空部中，并与所述横梁固定连接，且所述连接隔板中心镂空，所述气缸可穿过所述中心镂...

本实用新型提供一种研磨加工设备，用于对工件进行研磨加工，所述研磨加工设备包括底座、机臂及研磨装置，所述研磨装置与所述机臂位于所述底座的同一侧，所述机臂一端可活动调节的安装在所述底座上，所述机臂另一端设置有压头，所述压头用于对所述工件进行...

本实用新型公开了一种测厚系统以及抛光研磨机，涉及抛光研磨技术领域，其中，测厚系统应用在抛光研磨机上，用于对工件的厚度进行非接触式测量，抛光研磨机包括上盘、上定盘、上盘驱动件、以及下盘，上盘和下盘相配合，上盘驱动件穿过上盘和下盘的中心，上...

本实用新型公开了一种重型部件的安装结构及研磨机，属于机械安装结构技术领域。所述安装结构包括安装底板、升降板、移动小车及多个升降螺栓；升降板与安装底板上下相对设置，升降板用于固定连接重型部件；升降板上开设有多个螺孔，升降螺栓穿设在对应的螺...

本发明提供了一种重型部件的安装结构及研磨机，属于机械设备的安装结构技术领域。所述安装结构包括安装底板、升降板、移动小车及多个升降螺栓；升降板与安装底板上下相对设置，升降板用于固定连接重型部件；升降板上开设有多个螺孔，升降螺栓穿设在对应的...

本发明公开了一种测厚系统、抛光研磨机及其使用方法，涉及抛光研磨技术领域，其中，测厚系统应用在抛光研磨机上，用于对工件的厚度进行非接触式测量，抛光研磨机包括上盘、上定盘、上盘驱动件、以及下盘，上盘和下盘相配合，上盘驱动件穿过上盘和下盘的中...