本技术公开了一种背光检查装置，应用在晶圆检测领域，包括壳体，所述壳体的内壁滑动套接有滑筒；本技术通过打开LED灯，光源发射部分发射的强光能够透过晶圆，从正面可以明显观察到晶圆是否有漏切现象，从而达到检查效果好的目的，从正面观察晶圆，操作...

本技术公开了一种自动清洁光阻喷嘴装置，应用在清洁装置领域，包括清洁仓与定时器，所述清洁仓的底部连通有排污管，所述清洁仓的内部设有光阻喷嘴，所述清洁仓的内壁连通有八个清洁喷头；通过设置储液仓用于存储用于清洁的药液；通过设置泵、抽液管、输液...

本技术公开了一种芯片六面自动检测设备，应用在芯片检测领域，包括扫描台，所述扫描台的顶部设有支撑齿轮，所述支撑齿轮的顶部固定连接有支撑架，所述支撑架的内部安装有四个检测镜头一，所述支撑架的内部还安装有检测镜头二；所述扫描台的顶部通过支架安...

本技术涉及靶材安装技术领域，具体为一种便于靶材安装的工治具，包括工治具主体、底座、滚轮和抬升结构；所述工治具主体的四角各连接设置了底座，底座下方都设置了滚轮，工治具主体顶端设置了抬升结构；所述抬升结构包括卡块、第一固定孔、第二固定孔、滑...

本技术公开了一种自动合并芯片的检验设备，包括工作台，工作台顶部的一侧固定安装有万向机械臂，万向机械臂的一端固定连接有真空吸盘，真空吸盘的一侧设置有真空传感器，真空吸盘的下方设有多个置盘组件，且多个置盘组件均设于工作台的表面，多个置盘组件...

本发明属于芯片技术领域，具体涉及凸块侧壁防氧化的方法、应用。该方法包括：在晶圆上利用凸块技术电镀凸块，晶圆上有多个凸块，凸块与凸块之间存在间隙；使用PVD技术，在晶圆表面溅射保护金属，形成金属层；使用干蚀刻物理撞击技术，清除保护金属，去...

本技术公开了一种晶圆芯片承载托盘，应用于半导体技术领域，包括承载托盘，所述承载托盘的顶部开设有放置槽，所述放置槽的内表面对称滑动连接有四个梯形抵块，四个所述梯形抵块的倾斜面均焊接有卡块。通过将晶圆芯片放置在放置槽的内部，利用弹簧的弹力带...

本发明提供一种铁环清洗装置及其清洗方法，涉及一种清洗结构，包括接料段、去胶槽、出料段，接料段用于承接水平输送来料的铁环并将铁环翻转90°置入去胶槽内，出料段用于接收去胶槽内去胶后的铁环并将铁环翻转90°后水平输出，因为在连续式的生产作业...

本技术公开了一种Spin蚀刻防反溅结构，涉及蚀刻加工技术领域。本技术包括防护板，防护板的顶部呈等距安装有若干个安装螺栓，防护板的底部固定连接有有引流板，引流板的底部固定连接有底板，底板的顶部固定连接有挡板，防护板的顶部开设有清扫机构，拉...

本技术涉及湿法机台管路保温技术领域，具体公开了一种保温组件及湿法机台管路保温装置，包括：第一输送管，第一输送管的一端处设置有第一接口，第一输送管的另一端处设置有第二接口，第一输送管上设置有过渡管，过渡管端面处设置有过渡器，过渡器和转接头...

本技术公开了一种晶圆转换Cassette治具，应用于半导体制造设备技术领域，包括工作台，所述工作台的顶部焊接有横杆支架，所述横杆支架顶部的两侧均滑动套接有移动滑块，所述移动滑块的底部焊接有固定杆。通过使用插臂晶圆进行转移，与手动拿取晶圆...

本技术公开了一种用于ToolHead的平坦度调节机构，涉及集成电路技术领域。本技术包括承接台，承接台的顶部搭接有集成电路，集成电路的上方设置有加压块，加压块的底部固定连接有加热块，加热块的内部呈等距设置有若干个加热棒，承接台的顶部呈对称...

本技术公开了一种增加探针卡后配高度调节装置，属于芯片检测技术领域，包括安装板，所述安装板的内部固定连接有探针卡本体，所述探针卡本体的内部开设有调节槽，所述调节槽贯穿安装板的顶部，所述安装板的底部固定连接有装置壳体，所述装置壳体的内部安装...

本技术涉及贴标机领域，公开了一种半导体贴标装置，包括安装座，安装座的上侧固定连接有直线模组，直线模组的移动滑台上固定连接有一号连接板，一号连接板的下端固定连接有承重板，承重板的上滑动连接有多个一号连杆，多个一号连杆的上端均螺纹套接有一号...

本技术涉及探针测试台技术领域，公开了一种便于拆装的探针测试台用风冷降温装置，包括测试台，所述测试台的一侧设有用于对测试台进行风冷降温的风冷组件，所述风冷组件上设有能够将风冷组件进行稳定支撑的支撑组件，所述支撑组件上设有能够对风冷组件的高...

本技术公开了一种静电手环与显微镜的联动装置，包括主体芯片盒、控制器、显微仪器本体，所述主体芯片盒顶端固定嵌设有限位圈座，所述限位圈座内壁对称开设有矩形进入槽，所述限位圈座内活动插接有固定架，所述固定架底端对称设置有定位形变板，所述定位形...

本技术公开了一种减少震动的芯片拿取放置平台，属于机械设备技术领域，包括放置台，所述放置台的侧表面开设有拿取槽，所述放置台的顶部固定连接有支撑架，所述支撑架的顶部开设有阶梯槽，所述放置台的底部活动连接有放置板；所述支撑架包括V形架一，所述...

本技术公开了一种量测REEL治具，应用在量测治具领域，包括底板，所述底板的顶部固定连接有支柱，所述支柱的内部通过轴承转动连接有转杆，所述转杆的表面固定套接有夹持块一，所述转杆的表面还滑动连接有夹持块二，所述转杆的表面套设有固定抱箍，所述...

本技术公开了一种辅助贴标签的治具，应用在治具领域，包括上盘，所述上盘的顶部开设有放置槽，所述上盘的顶部放置有固定板，所述固定板的底部对称焊接有限位杆，所述上盘的顶部开设有两个限位槽，所述固定板的内部开设有标识槽，所述上盘的底部设置有下盘...

本技术涉及晶圆曝光技术领域，公开了一种晶圆曝光装置，包括底座，所述底座上固定安装有支撑架，所述支撑架的一端底部固定安装有用于晶圆P I曝光的曝光管，所述底座上有用于固定晶圆的晶圆盘组件，所述曝光管上套设有用于对晶圆P I边缘无效区域进行...