本技术涉及半导体芯片封测技术领域，公开了一种用于半导体芯片晶圆托盘抽真空辅助治具，包括真空机，所述真空机的内部设有将需要抽真空的静电屏蔽袋进行夹紧的尼龙条组件，尼龙条组件的一侧设有对抽真空以后静电屏蔽袋进行真空密封检测的检测组件，所述检...

本技术涉及芯片加工设备技术领域，公开了一种挑拣机台的吸嘴自动更换装置，包括挑拣机台，所述挑拣机台的内部设有将芯片进行取放的取放臂，所述取放臂的一端设有吸盘底座，所述吸盘底座的一侧固定安装有吸嘴固定环，所述吸嘴固定环上设有用于吸住芯片的第...

本技术涉及芯片检测技术领域，公开了一种芯片变形翘曲度量测治具，包括治具平台，所述治具平台的一侧设有将芯片进行放置检测的放置组件，所述放置组件上设有将放置芯片进行夹紧固定的夹紧组件，所述放置组件的顶部设有对芯片进行翘曲度检测并显示具体数值...

本技术涉及芯片生产加工技术领域，公开了一种卷盘支撑架快速安装装置，包括卷盘，所述卷盘的两侧均设有用于支撑卷盘的支撑盘；通过设置固定组件、辅助组件和保护组件，达到在安装卷盘时，两边的支撑盘只需要对着固定组件进行按压，就可以穿过辅助组件让固...

本技术涉及漏真空检测领域，公开了一种屏蔽袋漏真空检测箱，包括机架、第一电动伸缩杆、第一连接架、第二电动伸缩杆、第二连接架、第一壳体、第一腔体、第二腔体、第三腔体、第一单向阀、第二单向阀、电子气压计、第一挡块、通孔、连杆和活塞；本技术利用...

本技术属于半导体生产设备技术领域，具体涉及一种悬浮式导轨，包括支撑组件，所述支撑组件包括调节柱，所述调节柱上镜像连接有轨道侧板，所述轨道侧板和调节柱之间通过螺纹配合的方式进行连接，所述轨道侧板的侧面开设有卡位槽，所述卡位槽内贯穿开设有通...

本技术公开了一种防止芯片粘附的吸嘴，属于半导体生产领域，包括悬梁臂和橡胶吸嘴，所述悬梁臂端部垂直安装有取料臂，所述取料臂底部可拆卸式安装有安装杆，所述安装杆内部与取料臂贯通，所述安装杆底部设置有限位台，所述限位台下表面设置有对接头，所述...

本发明提供一种晶圆检测装置及其检测方法，涉及一种检测结构，包括一组安装有多组定位治具的转盘，定位治具包括有载盘、转杆和三组抱杆，载盘置于治具平台上，三组抱杆由驱动装置驱动以对晶圆进行抱夹定位，其中转盘旋转至上料位，用于筛选出合格直径尺寸...