本发明揭示一种具备热通量传感器的测量晶片，其包含：衬底；罩盖，其热耦合到所述衬底的一部分；传感器腔室，其形成于所述衬底与所述罩盖之间；热障，其安置于所述传感器腔室的至少一部分内；底部温度传感器，其热耦合到所述衬底，且通过所述热障的一部分...

本文中提出用于评估测量系统通过给定过程窗追踪测量参数的能力的方法及系统。性能评估包含随机扰动、系统扰动或两者以有效地特征化尤其模型误差、计量系统缺陷及校准误差的影响。在一些实例中，计量目标参数被预定为实验设计DOE的部分。比较所述计量目...

线内合格率监测可包含使用一或多个算法软件模块。线内合格率监测可包含使用例如学习模块及预测模块的两个相关算法软件模块。所述学习模块可从探针电测试合格率及参数电测试PET属性值的数据学习关键PET参数。所述关键PET参数可最佳地分离所述合格...

本发明提供测量工具，其包括主动振动隔离装置及被动振动隔离装置两者。测量工具可包括组合在所述测量工具的不同支撑结构中以阻尼及减少广泛频率及强度范围中的振动的被动隔离系统或主动隔离系统，例如约束层阻尼器、颗粒冲击阻尼器或液体冲击阻尼器及/或...

本发明揭示一种光倍增管，其包含半导体光电阴极及光电二极管。值得注意地，所述光电二极管包含：p掺杂型半导体层；n掺杂型半导体层，其形成于所述p掺杂型半导体层的第一表面上，以形成二极管；及纯硼层，其形成于所述p掺杂型半导体层的第二表面上。在...

本发明涉及一种用于取放头的自动节距转换的设备，其包括：至少一个自动节距平台，所述自动节距平台用于调整取放头的拾取器/夹具的X坐标方向上的节距及/或调整所述拾取器/夹具的Y坐标方向上的节距；第一致动器，其由所述至少一个自动节距平台的电动机...

供在检查工具中使用的非线性光学晶体的钝化包含：在存在氟、氟化物离子及含氟化物化合物中的至少一者的情况下生长非线性光学晶体；机械地制备所述非线性光学晶体；对所述非线性光学晶体执行退火过程；及将所述非线性光学晶体暴露于含氢或含氘钝化气体。

一种用于产生大约193.4nm的输出波长的激光器包含基波激光器、光学参数产生器、四次谐波产生器及混频模块。耦合到所述基波激光器的所述光学参数产生器可产生经下变频信号。可耦合到所述光学参数产生器或所述基波激光器的所述四次谐波产生器可产生四...

本发明针对于用于向用于光学计量的测量头提供照明的系统。在本发明的一些实施例中，来自多个照明源的照明光束经组合以将处于一或多个选定波长的照明递送到所述测量头。在本发明的一些实施例中，递送到所述测量头的照明的强度及/或空间相干性被控制。在本...

本发明揭示一种设备，所述设备包含：(i)亮光源，其用于提供处于可在从深紫外线波长到红外线波长的范围内选择的多个波长的照明光束；(ii)照明光学器件，其用于以可选择的入射角AOI或方位角AZ组及偏光状态将所述照明光束引导朝向样品以提供光谱...

本发明的各方面描述一种用于将模块安装到衬底的附接装置，其包括具有两端的模块支腿以及模块支脚。所述模块支腿的一端经配置以附接到所述模块的底部表面且所述模块支腿的另一端经配置以附接到所述模块支脚。所述模块支脚的至少一部分经配置以附接到所述衬...

本发明涉及一种控制照明的光谱属性的系统及方法。根据各种实施例，阻断包含经排除的照明光谱选集的照明的部分，同时沿照明路径引导包含经传输的照明光谱选集的照明的另一部分。在一些实施例中，利用光谱受控照明来执行光学计量以增强测量能力。例如，可根...

本发明揭示用于基于整合基于度量的目标模型及基于过程的目标模型的测量模型来执行测量的方法及系统。采用经整合测量模型的系统可用于测量一或多个目标的结构及材料特性，且还可用于测量过程参数值。可按若干不同方法将基于过程的目标模型与基于度量的目标...

本发明揭示一种脉冲倍增器，其包含分束器及一或多个镜。所述分束器接收一系列输入激光脉冲且将每一脉冲的能量的部分引导到环形腔中。在围绕所述环形腔循环之后，所述脉冲能量的部分通过所述分束器离开所述环形腔且所述能量的部分被再循环。通过选择环形腔...

本发明涉及用于光瞳成像散射测量的各种变迹方案。在一些实施例中，系统包含安置于照明路径的光瞳平面内的变迹器。在一些实施例中，所述系统进一步包含经配置以用变迹照明的至少一部分来扫描样本的表面的照明扫描仪。在一些实施例中，所述系统包含经配置以...

本发明描述一种随着连续移动的对象操作图像传感器的方法。在此方法中，可在延长时间照明脉冲期间执行定时延迟积分模式TDI模式操作。在此TDI模式操作期间，仅在第一方向中移位通过所述图像传感器的像素存储的电荷且其跟踪图像运动。值得注意的是，仅...

本发明的方面揭示一种工艺条件测量装置中的组件模块，其包括：支架，其用于支撑组件；一或多个支腿，其经配置以使所述支架悬挂为相对于衬底呈隔开关系。导电或低电阻半导体外壳经配置以在所述衬底与所述外壳之间围封所述组件、所述支架及所述支腿。应强调...

混合模式包含接收检验结果，所述检验结果包含晶片的选定区域的一或多个图像，所述一或多个图像包含一或多个晶片裸片，所述一或多个晶片裸片包含一组重复块，所述组重复块包含一组重复单元。另外，混合模式检验包含调整所述一或多个图像的像素大小，以将每...

本发明提供用于使用缺陷特定的信息检测晶片上的缺陷的方法及系统。一种方法包含获取晶片上的目标的信息。所述目标包含形成在所述晶片上的关注图案及接近所述关注图案或在所述关注图案中发生的已知DOI。所述信息包含所述晶片上的所述目标的图像。所述方...

本申请案涉及具有减小不准确性且维持对比度的填充元件的计量目标。本发明提供设计计量目标的方法。所述方法包括识别目标设计中的连续区域及将指定填充元件引入到所述所识别连续区域中。通过对比度要求与不准确性要求之间的折衷而确定所述所引入填充元件的...