【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术一般来说涉及光学计量领域，且更特定来说涉及针对光学计量提供照明的系统。
技术介绍
基于散射计量技术的光学计量系统通常用于表征半导体中的关键装置层。光学计量系统的实例包含但不限于一维光束轮廓反射计量(ID-BPR)系统、二维光束轮廓反射计量(2D-BPR)系统、光谱反射计量系统及光谱椭圆偏振计量系统。前述光学计量系统及为此项技术所习知的其它系统照明样本以执行测量。当前采用各种照明系统来向光学计量系统的测量头提供照明。数个当前所采用照明系统遭受结构或性能缺点。一些当前系统不紧密且需要大数目个光学表面来导引或管理递送到测量头的照明。一些当前系统限于一或多个特定激光波长或不能够向测量头提供处于特定波长范围中的照明。一些当前系统极易受噪声影响，使得驱动光电调制器(例如，普克尔盒(Pockels cell))的电压中的甚至较小量的噪声可导致影响递送到测量头的照明的强度的不可接受量的噪声。一些当前系统缺少从自由空间耦合到光纤的稳定性，因此导致影响递送到测量头的照明的强度的大量噪声。一些当前系统易受由激光点源及/或单模光纤产生的高度空间相干性的激光斑点影响。前...
【技术保护点】
一种用于向测量头提供照明的系统，其包括：多个照明源，其包含第一照明源、第二照明源、第三照明源、第四照明源、第五照明源及第六照明源；第一折叠镜，其经配置以沿着导引路径反射来自所述第一照明源的照明；第二折叠镜，其经配置以沿着所述导引路径反射来自所述第二照明源的照明；第一二向色组合器，其经配置以沿着所述导引路径透射来自所述第一照明源的照明，所述第一二向色组合器进一步经配置以沿着所述导引路径反射来自所述第三照明源的照明；第二二向色组合器，其经配置以沿着所述导引路径透射来自所述第二照明源的照明，所述第二二向色组合器进一步经配置以沿着所述导引路径反射来自所述第四照明源的照明；第三二向色...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：格雷戈里·布雷迪，安德烈·V·舒杰葛洛夫，劳伦斯·D·罗特，德里克·萨乌夫尼斯，阿纳托利·夏册梅里尼，里亚·贝泽尔，穆沙米尔·阿蓝，阿纳托利·瓦西列夫，詹姆斯·艾伦，奥列格·舒列波夫，安德鲁·希尔，欧哈德·巴沙尔，摩西·马科维茨，亚龙·伊什沙洛姆，利安·瑟拉，阿姆农·玛纳森，亚历山大·斯维泽尔，马克西姆·霍赫洛夫，阿维·阿布拉莫夫，奥列格·特斯布列维斯基，丹尼尔·坎德尔，马克·吉诺乌克，
申请(专利权)人：科磊股份有限公司，
类型：发明
国别省市：美国;US
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