提供用于半导体应用的深度学习对准的方法及系统。一种方法包含：通过将关于样品上的对准目标的设计信息输入到深度学习模型中来将所述设计信息变换为所述对准目标的经预测图像；及将所述经预测图像对准到由成像子系统产生的所述样品上的所述对准目标的图像...

本发明公开一种设备，其包含真空室、第一组件、可相对于所述第一组件移动的第二组件及气体喷射器。所述真空室包含第一真空区及第二真空区。所述第一组件经安置于所述第一真空区中与所述第二真空区的界面处。所述第二组件经安置于所述第二真空区中的所述界...

本发明提供用于确定样品的信息的方法及系统。一种系统包含：输出获取子系统，其经配置以在样品上的一或多个目标位置处产生所述样品的输出；及一或多个温度传感器，其经配置以测量所述系统内的一或多个温度。所述系统还包含深度学习模型，所述深度学习模型...

一种叠加计量系统可包含物镜、用以照明叠加目标的照明光学器件，所述叠加目标包含在第一样本层上的具有第一节距的第一光栅及在第二样本层上的具有第二节距的第二光栅，其中所述第一样本层与所述第二样本层分离达大于所述物镜的景深的层分离距离。所述系统...

公开一种用于产生包含具有呈反转顺序的结构的单元的重叠目标的重叠测量的重叠计量系统及方法。所述重叠计量系统可包含照明子系统及集光子系统。所述集光子系统可包含用以收集来自样本的测量光的一或多个检测器。根据计量配方，所述样本可包含具有第一单元...

一种宽带光源包含共焦传感器组合件，所述共焦传感器组合件经配置以测量涂覆有等离子体形成靶材的可旋转滚筒的表面。所述宽带光源包含激光源，所述激光源经配置以将脉冲照明引导到所述可旋转滚筒以用于在所述可旋转滚筒在角方向上旋转且在轴向方向上平移时...

本公开提供用于确定样本的信息的方法及系统。某些实施例涉及对用于例如电光学作用装置或高级封装装置的检验及/或计量等应用的光致发光进行检测。系统的一个实施例包含经配置以用于将具有一或多个照明波长的光引导到样本的照明子系统以及经配置以用于检测...

提供用于用来自不同实体的受保护数据源执行功能的方法及系统。一种系统包含虚拟系统，其耦合到实际系统以借此在样本安置于所述实际系统内时接收由所述实际系统针对所述样本的物理版本产生的输出。所述虚拟系统包含至少计算机系统及存储媒体。所述虚拟系统...

本发明提供用于检验样品的方法及系统。一种系统包含检验子系统，其经配置用于将光引导到所述样品上的区域且用于响应于来自所述样品上的所述区域的光而产生输出。所述系统还包含第一气流子系统，其经配置用于用与围绕所述样品上的所述区域的第一局部体积中...

本发明公开一种用于利用例如光学子系统的第二子系统产生计量测量的系统及方法。所述方法可包含执行训练及运行时间操作。所述训练可包含：接收来自第一计量子系统(例如光学)的用于装置特征的第一计量数据；产生第一计量测量(例如关键尺寸等)；基于所述...

本发明公开用于获取接合样本的结构的测量的系统及方法。此类系统及方法可包含在将第一样本及第二样本耦合在一起之前确定所述第一样本的第一配准结构与第一界面目标结构的第一配准测量及所述第二样本的第二配准测量。此类系统及方法可包含在所述样本的此耦...

一种计量系统可包含：光学计量子系统，其用于基于与至少一个光学节距相关联的光学计量目标的特征来产生光学计量的光学计量测量；及额外计量子系统，其用于产生所述光学计量目标的额外计量测量，其中所述额外计量测量具有高于所述光学计量测量的分辨率，且...

本文中呈现用于实现具有高定位准确度的高通量晶片定位系统的方法及系统。高通量、高准确度晶片定位系统用于测量与不同半导体制造过程相关联的结构及材料特性(例如材料组成、结构及膜的尺寸特性等等)。在一个方面中，铁芯线性电机组合件依磁对置配置布置...

一种用于掩模设计修补的系统可开发在用于制造样本上的特征的一或多个工艺步骤后的层厚度的基于模拟的模型，开发制造工艺的变换模型，所述变换模型模仿所述基于模拟的模型且具有比所述基于模拟的模型更快的评估速度，且其中到所述变换模型的输入包含输入掩...

本申请实施例涉及利用空间变化偏振转子及偏振器进行敏感性粒子检测。一种暗场检验系统可包含：照射源，其用以产生照射束；照射光学器件，其经配置以将所述照射束沿着照射方向以离轴角度引导到样本；聚光光学器件，其用以在暗场模式中响应于所述照射束而聚...

通过用于图像间转译的深度卷积神经网络基于设计文件来确定裸片的参考光学图像。从目标图像减除所述参考光学图像，借此产生差异图像。在应用关照区域掩模之后，所述差异图像可经二值化。所得经二值化缺陷图像可用于光学检验。

公开一种在单个单元中具有多个方向上的节距的叠加计量系统。根据计量配方，叠加目标可包含在所述样本的单元的两个或更多个层上的多层结构。所述多层结构可包含每一层中的结构，所述结构在一或多个周期性方向上具有一或多个节距。所述多层结构可包含具有第...

提供用于检测样品上的缺陷的方法及系统。一种方法包含分别针对检验子系统的第一及第二模式产生样品的第一及第二模式测试、参考及差异图像。所述方法还包含组合所述第一及第二模式测试图像、所述第一及第二模式参考图像及所述第一及第二模式差异图像作为用...

本发明公开一种用于光学系统的升降器组合件，其包含具有卡盘底座及可拆卸顶板的卡盘，其中所述可拆卸顶板是经配置以支撑衬底的多个可更换的可拆卸顶板中的一者。所述升降器组合件还包含可移动板以将所述卡盘支撑于所述可移动板的上表面上，所述可移动板可...

一种马赛克叠对目标可包含跨样本分布的两个或更多个单元组，其中每一单元组包含一或多个单元，其中每一单元组经定向以具有相对于所述马赛克叠对目标的中心轴的镜像对称性或相对于所述马赛克叠对目标的中心点的旋转对称性中的至少一者。所述单元组可根据度...