本申请实施例涉及用于衬底处置的局部清洗模块。一种衬底处置机器人包含用于支撑衬底的端效应器及耦合到所述端效应器的臂以使所述端效应器在延伸位置与回缩位置之间平移。所述衬底处置机器人还包含外壳以至少部分地围封所述衬底，其中所述衬底位于所述回缩...

提供用于确定样品的信息的方法及系统。一种方法包含产生仅用于计量过程中的样品的特性的不合规检测的取样计划。所述方法还包含通过使用所述所产生的取样计划对所述样品执行所述计量过程来产生所述样品的输出。另外，所述方法包含基于所述所产生的输出来确...

提供用于确定样品的信息的方法及系统。一种系统包含经配置用于从针对样品上的对准目标的设计的信息产生所述对准目标的经呈现图像的模型。所述经呈现图像是通过成像子系统产生的所述样品上的所述对准目标的图像的模拟。所述系统还包含经配置用于基于所述成...

获得半导体晶片的一部分的一或多个光学图像。所述一或多个光学图像展示第一工艺层中的第一结构及第二工艺层中的第二结构。将所述一或多个光学图像提供到经训练以估计所述第一结构与所述第二结构之间的叠加偏移的机器学习模型。从所述机器学习模型获得所述...

本发明提供用于检测样品上的缺陷的方法及系统。一个系统执行双重检测，其中与测试图像进行比较的参考图像中的至少一者是从对应于所述测试图像的多个图像产生的经计算参考图像。另一参考图像可以是或可以不是从所述多个图像中的多于一者计算的。此经计算参...

本发明公开一种特性化系统。所述系统可包含一或多个控制器，所述控制器包含经配置以执行存储于存储器中的一组程序指令的一或多个处理器。所述控制器可经配置以基于一组训练数据来训练基于机器学习的特性化库。所述控制器可经配置以使用所述经训练的基于机...

公开一种流动高压液体或超临界流体中的脉冲辅助LSP宽带光源。所述光源包含用于容纳高压液体或超临界流体的流体容纳结构。所述光源包含初级激光泵源及高重复脉冲辅助激光光源，其中所述初级激光泵源经配置以将初级泵束引导到所述流体的等离子体形成区域...

本文中描述用于基于经训练的误差评估模型跨计量系统群补偿系统化误差以改进跨所述群的测量结果的匹配的方法及系统。在一个方面中，所述误差评估模型是基于一组复合测量匹配信号训练的基于机器学习的模型。复合测量匹配信号基于通过每一目标测量系统产生的...

一种系统可包含控制器，其用于：接收包含具有一或多个已知节距的周期性特征的计量目标的一或多个图像；使用分解技术预处理所述一或多个图像以产生一或多个经预处理图像；且基于所述一或多个经预处理图像来产生所述计量目标的一或多个计量测量。预处理所述...

一种光源包含待涂覆有氙冰且由激光束照射以产生等离子体的可旋转筒。所述筒也可为可平移的。所述光源进一步包含共焦色彩传感器以测量从所述共焦色彩传感器到所述可旋转筒的距离。所述共焦色彩传感器可包含传感器头以将光聚焦到所述可旋转筒上且检测来自所...

一种计量系统可接收第一组叠对目标的计量数据，所述第一组叠对目标包含具有不同所预期偏移的至少两个胞元。所述系统可进一步接收第二组叠对目标的计量数据，其中所述第二组叠对目标的所述计量数据是基于比所述第一组叠对目标少的胞元。所述系统可进一步基...

提供用于检测倍缩光罩上的缺陷的系统及方法。一种系统经配置用于基于针对晶片上的不同行中的第一经图案化区域产生的图像来产生所述不同行中的所述第一经图案化区域的多个例子的不同经堆叠差异图像。所述系统还经配置用于基于所述不同经堆叠差异图像执行双...

本文中描述用于基于个别工具生产力度量及群生产力度量两者来评估个别半导体计量工具生产力的方法及系统。与每一个别工具相关联的生产力度量与一群工具相关联的生产力度量组合以快速且较少误报地识别问题工具。特定来说，在生产力由低频率事件驱动的情形中...

提供用于半导体应用的深度学习对准的方法及系统。一种方法包含：通过将关于样品上的对准目标的设计信息输入到深度学习模型中来将所述设计信息变换为所述对准目标的经预测图像；及将所述经预测图像对准到由成像子系统产生的所述样品上的所述对准目标的图像...

本发明公开一种设备，其包含真空室、第一组件、可相对于所述第一组件移动的第二组件及气体喷射器。所述真空室包含第一真空区及第二真空区。所述第一组件经安置于所述第一真空区中与所述第二真空区的界面处。所述第二组件经安置于所述第二真空区中的所述界...

本发明提供用于确定样品的信息的方法及系统。一种系统包含：输出获取子系统，其经配置以在样品上的一或多个目标位置处产生所述样品的输出；及一或多个温度传感器，其经配置以测量所述系统内的一或多个温度。所述系统还包含深度学习模型，所述深度学习模型...

一种叠加计量系统可包含物镜、用以照明叠加目标的照明光学器件，所述叠加目标包含在第一样本层上的具有第一节距的第一光栅及在第二样本层上的具有第二节距的第二光栅，其中所述第一样本层与所述第二样本层分离达大于所述物镜的景深的层分离距离。所述系统...

公开一种用于产生包含具有呈反转顺序的结构的单元的重叠目标的重叠测量的重叠计量系统及方法。所述重叠计量系统可包含照明子系统及集光子系统。所述集光子系统可包含用以收集来自样本的测量光的一或多个检测器。根据计量配方，所述样本可包含具有第一单元...

一种宽带光源包含共焦传感器组合件，所述共焦传感器组合件经配置以测量涂覆有等离子体形成靶材的可旋转滚筒的表面。所述宽带光源包含激光源，所述激光源经配置以将脉冲照明引导到所述可旋转滚筒以用于在所述可旋转滚筒在角方向上旋转且在轴向方向上平移时...

本公开提供用于确定样本的信息的方法及系统。某些实施例涉及对用于例如电光学作用装置或高级封装装置的检验及/或计量等应用的光致发光进行检测。系统的一个实施例包含经配置以用于将具有一或多个照明波长的光引导到样本的照明子系统以及经配置以用于检测...