本发明涉及一种粒子光学组件。一种物镜排布结构(100)包括：第一极靴(123)、第二极靴(125)以及第三极靴(163)，每一个极靴都大致旋转对称。第一极靴(123)、第二极靴(125)以及第三极靴(163)设置在物面(101)的同一侧...

本发明涉及一种粒子光学组件。一种物镜排布结构(100)包括：第一极靴(123)、第二极靴(125)以及第三极靴(163)，每一个极靴都大致旋转对称。第一极靴(123)、第二极靴(125)以及第三极靴(163)设置在物面(101)的同一侧...

本发明涉及一种制造和/或调节投射照明系统的光学布置的方法，其中通过以特定的步长大小步进移动所述光学元件，至少一个驱动器被用来设置至少一个要被操控的光学元件的位置，其中步进移动的步长大小被设为所述光学元件离期望位置的距离的函数，所述距离由...

本申请公开了一种反射光学元件、投射系统和投射曝光设备。该反射光学元件用于紫外到极紫外波长范围中的工作波长。该反射光学元件包括在基底上的具有多层系统的反射面，所述多层系统具有至少两种交替材料的层，所述两种交替材料在工作波长具有不同的折射率...

本发明公开了一种用于投射光刻的照明光学系统。所述照明光学系统具有分面反射镜。所述分面反射镜具有多个面，用于照明光的光束的部分光束的反射引导。所述面的反射面可以被分别倾斜。在第一照明倾斜位置中，所述可倾斜的面将入射在它们上的部分光束沿着第...

一种光学投影单元，包括第一光学元件模块和至少一个第二光学元件模块。第一光学元件模块包括第一外壳单元和至少第一光学元件，第一光学元件容纳在所述第一外壳单元内并具有限定第一光轴的光学用途第一区域。至少一个第二光学元件模块位于所述第一光学元件...

一种反射折射投影物镜，用于将提供在投影物镜物面中的图形成像到投影物镜的像面上，包括：第一物镜部分，用于将提供在物面中的图形成像为第一中间图像；第二物镜部分，用于将第一中间图像成像为第二中间图像；第三物镜部分，用于将第二中间图像成像到像面...

本发明涉及一种反射折射投影物镜。一种投影物镜，用于将提供在所述投影物镜的物面中的图形成像到所述投影物镜的像面上，包括：第一物镜部分，用于将提供在所述物面中的图形成像为第一中间图像；第二物镜部分，用于将第一中间图像成像为第二中间图像；以及...

一种反射折射投影物镜，用于将提供在投影物镜物面中的图形成像到投影物镜的像面上，包括：第一物镜部分，将提供在物面中的图形成像为第一中间图像；第二物镜部分，将第一中间图像成像为第二中间图像；第三物镜部分，将第二中间图像成像到像面上；其中具有...

本发明提供了一种微光刻投影曝光装置，包括照明系统和投影透镜，其中所述照明系统和/或所述投影透镜包括光学元件，所述光学元件包括嵌入在第二透镜部件(942b)中的第一透镜部件(942a)，其中所述第一透镜部件(942a)由在λ≈193nm处...

本发明提供一种用于微光刻的折反射投射物镜(1)，该折反射投射物镜(1)用于将物面(5)中的物场(3)成像到像面(9)中的像场(7)，且包括第一分物镜(11)，用于将物场成像到实的第一中间像(13)上；第二分物镜(15)，用于将第一中间像...

本发明涉及一种成像系统、特别是显微光刻的投影曝光设备的投影物镜，具有至少一个光学元件（１００），所述光学元件包含在预定工作波长情况下折射率ｎ大于１．６的立方晶体材料，并且具有图像侧的小于折射率ｎ的数值孔径ＮＡ，其中在所述折射率ｎ与成像系...