本发明公开了一种具有气幕降温结构的石英竖管炉，包括炉体和包围于炉体外的保温外壳，保温外壳与炉体之间的环向空隙中设有加热器，加热器、炉体之间的端部位置设有气幕装置，所述气幕装置向加热器、炉体之间环向空间形成多圈环向气幕。本发明可在加热器不...

本发明公开了一种石英舟装载晶圆的装载装置，包括两组升降机构，石英舟置于其中一组升降机构的运动部件上，机械手置于另一组升降机构的运动部件上，两组升降机构同步反向运动。本发明能够具有较高的装载效率。本发明能够具有较高的装载效率。本发明能够具...

本发明公开了一种工业炉尾气过滤器，包括容器本体，容器本体设有尾气进气管、收集管，容器本体内部设有冷凝室、加热室，尾气进气管与冷凝室内连通，冷凝室内设有竖向的冷凝件，冷凝室下部与加热室上部连通，加热室内底部设有加热件，加热件中通孔连接有流...

本发明公开了一种晶圆烘烤用石英舟结构，包括上顶板和下底板，上顶板与下底板之间转动连接有至少一个曲轴结构，上顶板、下底板边缘位置之间固定有至少一个竖棒，竖棒设有卡槽，曲轴结构包括多段连接轴以及固定连接于相邻连接轴之间的U型臂。本发明能够方...

本实用新型公开了一种烧结炉，包括有炉体、控制器、触控屏、电机变频器、第一、二、三温度传感器、交流接触器、报警器、风机变频器、气幕发生机构、流量计和电子式调节阀；控制器一方面分别第一、二、三温度传感器和流量计电连接，另一方面分别与电机变频...

本实用新型公开了一种全热风回流焊接炉，包括有炉体、相电连接的控制器和触控屏、横穿炉体的网带输送机构、电机变频器、加热段和冷却段，加热段包括有若干个加热区，每个加热区均设有第一风机、第一风机变频器、第一温度传感器、电加热器和报警器，电加热...

本实用新型公开了一种热风干燥炉，包括有炉体、控制器、网带输送机构、电机变频器、第一、二、三、四、五风机、第一、二、三、四、五风机变频器、电加热器、交流接触器、第一、二温度传感器和报警器；控制器一方面分别与第一、二温度传感器电连接，另一方...

本发明公开了一种真空存储柜，包括有箱体、控制器、若干个腔室、光电开关、真空计、第一、二高真空挡板阀、进气电磁阀、粗、精抽真空管路和触摸屏，粗、精抽真空管路一方面与每个腔室上的第一、二高真空挡板阀之间分别对应连接有第一、二抽气管路，另一方...

本发明公开了一种真空存储柜的真空系统，包括有箱体、控制器、若干个腔室、光电开关、真空计、第一、二高真空挡板阀和粗、精抽真空管路，粗、精抽真空管路一方面与每个腔室上的第一、二高真空挡板阀之间分别对应连接有第一、二抽气管路，另一方面分别对应...

本实用新型公开了一种高效洁净烘烤烤箱，包括有箱体、腔室、活动门、行程开关、电磁门锁、循环风机、电加热器、气体流量计、进、排气电磁阀、高效过滤器、温度传感器、温控器和控制器，电磁门锁、循环风机、电加热器的供电回路中分别安装有第一、二、三继...

本实用新型公开了一种多腔体无尘精密烤箱，包括有箱体、多个腔室、活动门、行程开关、电磁门锁、多个循环风机、电加热器、气体流量计、进、排气电磁阀、高效过滤器、温度传感器、温控器、控制器和多通道记录仪，电磁门锁、多个循环风机、电加热器的供电回...

本实用新型公开了一种真空无氧固化炉，包括有炉体、炉门、炉膛、控制器、真空系统、风冷降温系统、温度控制系统、过风通道、多个进风口、出风口、托板、测温元件、加热器、触摸屏、蜂鸣器和指示灯；真空系统包括有真空泵、充气泵、真空度检测元件、氧含量...

本实用新型公开了一种真空烤盘炉，本实用新型涉及烤炉盘技术领域，包括有炉体、前炉门、后炉门、温度检测和控制系统、真空系统、控制器，炉体包括有外壳和内腔，外壳与内腔之间以及前炉门、后炉门与内腔之间形成供气体流通的通道，内腔的前、后端均开设有...

本实用新型公开了一种全自动高真空除气炉，本实用新型涉及真空除气炉技术领域，包括除气炉本体，除气炉本体包括设置在其内从左向右的装卸腔、过渡段、加热腔和对原料加热完成后的回推腔，且装卸腔和加热腔之间通过过渡段连接，装卸腔和加热腔上均设置有对...

本发明公开了一种真空无氧固化炉，包括有炉体、炉门、炉膛、控制器、真空系统、风冷降温系统、温度控制系统、过风通道、多个进风口、出风口、托板、测温元件、加热器、触摸屏、蜂鸣器和指示灯；真空系统包括有真空泵、充气泵、真空度检测元件、氧含量分析...

本发明公开了一种真空烤盘炉，本发明涉及烤炉盘技术领域，包括有炉体、前炉门、后炉门、温度检测和控制系统、真空系统、控制器，炉体包括有外壳和内腔，外壳与内腔之间以及前炉门、后炉门与内腔之间形成供气体流通的通道，内腔的前、后端均开设有通风孔，...

本发明公开了一种全自动高真空除气炉，本发明涉及真空除气炉技术领域，包括除气炉本体，除气炉本体包括设置在其内从左向右的装卸腔、过渡段、加热腔和对原料加热完成后的回推腔，且装卸腔和加热腔之间通过过渡段连接，装卸腔和加热腔上均设置有对二者内部...

本实用新型公开了一种电脑式HMDS涂胶机，箱体、箱门、腔体、控制器、真空系统、供药液系统、温度控制系统、常闭型继电器、光电开关、加热元件、测温元件、触摸屏、蜂鸣器和指示灯，真空系统包括有真空泵、充气泵和真空度检测元件，供药液系统包括有药...

本实用新型公开了一种电脑式涂胶烤箱，包括机体，所述机体底部设有移动滚轮以及顶部设有报警器，所述机体包括控制箱，所述控制箱上设有智能化触摸屏，所述智能化触摸屏底部设有智能控温仪。本实用新型通过采用优质冷轧钢板制成的机体，采用SUS316医...

本发明公开了一种电脑式HMDS涂胶机，箱体、箱门、腔体、控制器、真空系统、供药液系统、温度控制系统、常闭型继电器、光电开关、加热元件、测温元件、触摸屏、蜂鸣器和指示灯，真空系统包括有真空泵、充气泵和真空度检测元件，供药液系统包括有药液蒸...